离子束抛光方法
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19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书21) 申请号 CN201510331466.422) 申请日 2015.06.1271) 申请人 中国科学技术大学地址 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96 号72) 发明人 吴丽翔;邱克强;曾思为;付绍军74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 曹玲柱51)Int.CI权利要求说明书 说明书 幅图(54)发明名称离子束抛光方法(57)摘要本发明提供了一种离子束抛光方法。该离子束抛光方法应用的离子束抛光设备包 括:工件台、离子束发生器和运动控制系 统。其中,工件放置于工件台上,离子束发 生器发出形状和大小实时可控的离子束束斑 (2);运动控制系统驱动工件台和/或离子束 发生器运动,离子束束斑(2)在工件表面移 动,实现对工件的抛光。本发明中,离子束 束斑的形状和大小均可控,从而提高了离子 束抛光设备的可控性和控制精度。法律状态
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