真空泵在真空系统中所承担的工作任务

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真空泵在真空系统中所承担的工作任务由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点 之外,尚具有不 同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所 承担的工作任务是十分重要的, 泵在各种不同工作领域中所起的作 用归纳起来主要有如下几个方面。1、在系统中做主泵所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空,以获得满 足工艺要求所需 真空度的真空泵。2、粗抽泵粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统 可以开始工作 的真空泵。3、前级泵前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前 级压强以下的 真空泵。4、维持泵维持泵是指当真空系统抽气很小时,不能有效的利用主要前级 泵。为此, 在真 空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维 持主泵的正常工作或维持已抽 空的容器所需的低压的真空泵。 5、粗真空泵或低真空泵粗、低真空泵是指从大气开始,降低被抽容器的压强后工作在 低真空或粗真空 压强范围内的真空泵。6、高真空泵高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。7、超高真空泵超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。8、增压泵增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以提高抽气 系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空 泵。