电子工厂特种气体

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1、目次1. 总 则 12. 基本规定 23. 特种气体配送设施设计 33.1特种气体站房 33.2特种气体工艺系统 33.3特种气体管道输送系统 43.4生命安全系统 44. 化学品配送设施设计 64.1化学品站房 64.2化学品供应及回收系统 74.3化学品监控及安全系统 75. 配套设施设计 95.1建筑与结构 95.2给水排水与消防 95.3采暖通风与空气调节 105.4电气与防雷 116. 施工与验收 126.1一般规定 126.2特种气体系统工程施工与验收 126.3化学品系统工程施工与验收 137. 运行与维护 147.1一般规定 147.2 运行与维护 148. 废弃与拆除 168

2、.1 一般规定 168.2特种气体设施的拆除 168.3化学品设施的拆除 17起草说明 错误!未定义书签。1. 总 则1.0.1 为了在电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与 验收、运行与维护、废弃与拆除工程中保障人身健康和生命财产安全、 生态环境安全，满足经济社会管理的基本要求，依据有关法律、法规、 技术措施制定本规范。1.0.2 新建、扩建和改建的电子工厂特种气体和化学品配送设施的 设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程中必须遵守本规范。1.0.3 当电子工厂特种气体和化学品配送设施在设计、施工与验收、 运行与维护、废弃与拆除工程中采用的技术措施与本规范的规定不一 致，经过合

3、规性评估符合本规范的基本规定时，应允许使用。1.0.4 电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与验收、 运行与维护、废弃与拆除工程中除应符合本规范的规定外，尚应符合 国家现行有关规范的规定。2. 基本规定2.0.1 电子工厂特种气体和化学品配送设施的施工与验收、运行与 维护、废弃与拆除时，主体部门应建立系统的安全评估和风险管理制 度，消除安全事故隐患。2.0.2 电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与验收、 运行与维护、废弃与拆除中涉及的压力容器、压力管道等特种设备应 符合国家有关特种设备监察管理规定的要求。2.0.3 特种气体和化学品生产储存单元应进行重大危险源辨识，危 险化学

4、品重大危险源的设计、施工与验收、运行与维护应符合国家有 关重大危险源监管的规定要求。2.0.4 特种气体和化学品配送设施达到设计使用年限或遭遇重大事 故、灾害后，必须对其进行安全及其它性能进行验证与评估，合格后 方能继续使ZB土建设计室用。2.0.5 特种气体和化学品配送设施设 v 加 shejiyuan8 计、施工与验 收、运行与维护、废弃与拆除工程中应采取技术措施减少污染，对产 生环境污染的废气、废液、固体废物进行处理。2.0.6 特种气体和化学品配送设施的设备和管道应有标识，在施工 与验收、运行维护、废弃与拆除等场所应设置明显的安全警示标识。2.0.7 电子工厂涉及的剧毒化学品、易制爆化

5、学品、易制毒化学品 配送设施的设计、施工与验收、运行与维护应符合国家管理规定的要 求。2.0.8 输送可燃气体和甲、乙类液体的管道穿过防火隔墙时，应采 用不燃烧体材料填塞空隙。2.0.9 特种气体和化学品系统设备、管道、管件应选择与介质性质 相容的材料、并根据工艺生产要求对介质接触面进行处理。3. 特种气体配送设施设计3.1 特种气体站房3.1.1 特种气体应按照物理化学特性分类存放，特种气体间的设计 应符合下列规定：12特种气体间应设置排风系统，房间应运行在负压状态；特种气体间用防火隔墙相互隔离；3易燃易爆特种气体间应进行防爆设计。3.1.2大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑，开敞

6、式建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不得大于三面。3.1.3 硅烷站内大宗容器之间以及大宗容器与工艺气体盘之间的距 离小于9m时，应设置2h以上的防火隔断。3.1.4 硅烷系统气体设备不得建在地下室的室内。3.1.5 剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风装 置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。3.1.6 剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人 员入侵的技防设施。3.2 特种气体工艺系统3.2.1 不相容特种气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中；3.2.2 液态气体钢瓶加热应配置温控系统，钢瓶表面温度应满足安 全要求。3.2.3 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性

7、特种气体系统的吹扫氮气应 与独立的氮气源连接，并设置止回阀，不相容性特种气体系统的吹扫 氮气不得共用同一氮气源。3.2.4 不相容特种气体排气管道不得接入同一排气系统；3.2.5 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体的排气必须经过尾 气处理装置处理或排入安全位置。3.2.6 气瓶柜闭门时应保持负压，柜内的负压和排风换气次数应保 证泄漏的特种气体不得进入室内。3.2.7 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体气瓶柜和阀门箱应 在排风出口设置固定式气体泄漏探测器。3.2.8 硅烷钢瓶侧连接管道应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安 全出口应设置手动紧急切断按钮。3.3 特种气体管道输送系统3.3.1 生

8、产厂房洁净室内的易燃性和毒性特种气体管道应明敷，并 采用焊接。穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管 道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。3.3.2 易燃性、氧化性特种气体管道，应设置防静电接地。3.3.4 特种气体管道必须进行管道标识。3.4 生命安全系统3.4.1 应用多种特种气体的生产厂房应设特种气体管理系统，系统 应实现特种气体的连续检测、指示、报警的功能，并应能够记录、存 储和打印。3.4.2 储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气 体泄漏探测装置：1 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门 箱的排风管口处；2 生产工艺设备的自燃性、易

9、燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气 体阀门箱及排风管口处；3 生产工艺设备的特种气体的废气处理设备排风口处；4 惰性气体间可能产生窒息的区域；5 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间；6 其它可能发生泄漏的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀 性气体的环境。3.4.3 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体检测装置报警设定值应 符合下列规定：1 自燃性、可燃性气体的一级报警设定值应小于等于25%可燃 性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值应小于等于50%可燃性气体 爆炸浓度下限值；2 剧毒性、毒性气体的一级报警设定值应小于等于 50%空气中 有害物质的最高允许浓度值-时间加权平均容许浓度(TLV-T

10、WA),二级 报警设定值应小于等于 100%空气中有害物质的最高允许浓度值-时 间加权平均容许浓度(TLV-TWA)；3 设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值应大于等于19.5%氧气体积浓度(V/V)，二级报警设定值应大于等于18%氧气 体积浓度(V/V)。3.4.4 硅烷排风管道的气体泄漏探测器的报警设定值，应等于或小 于50 ppm，并与硅烷气源的自动切断阀联锁。3.4.5 特种气体探测系统确认气体泄漏时，应自动启动相应的事故 排风装置，自动关闭相关部位的气体切断阀，并应能接受反馈信号； 自动启动泄漏现场的声光报警装置，该声光报警应有别于火灾报警装 置，并应启动应急广播系统。3.4

11、.6 室外大宗硅烷系统的钢瓶区域内必须设置紫外红外火焰探测 器；室内自燃性气体输送系统应采用火焰探测器或感温探测器，火焰 探测器或感温探测器应与报警系统和自燃性气体气源的紧急切断阀 联动。4. 化学品配送设施设计4.1 化学品站房4.1.1 化学品应按照物理化学特性分类储存，不相容的化学品应布 置在不同的房间，房间之间应采用实体墙分隔。4.1.2 危险性化学品储存在单独的储存间或储存分配间，与相邻房 间的防火隔墙的耐火极限应不小于 2.0h。4.1.3 生产厂房应设计储存桶槽或储罐，储存桶槽或储罐的容量为 该化学品一个运输周期的消耗量，当设计日用桶槽时，日用桶槽的容 量为该化学品 24h 的消

12、耗量。4.1.4化学品的液体储罐区域，应设置溢出保护设施，并应符合下列规定：1 有机溶剂、氧化性化学品储罐应设置防火堤，防火堤容积应 大于堤内最大储罐容积；2 酸碱类化学品、腐蚀性化学品液体储罐应设置防护堤，防护 堤容积应大于堤内最大储罐容积；3 氧化性、腐蚀性化学品液体与有机溶剂储罐之间、相互接触 会引起化学反应的有机溶剂储罐之间应设置隔堤，隔堤容积应大于隔 堤内最大储罐容积的 10%；4 防火堤及隔堤应能存受所容纳液体的静压，卧式储罐防火堤 的高度，不应低于500mm，隔堤高度应比防火堤低200mm，并应在防 火堤适当位置设置人员进出的踏步。4.1.5 化学品储存、分配间四周应设置泄漏废液

13、收集沟，沟内应设 置废液收集坑，不同性质的化学品泄漏废液收集沟不应联通。4.2 化学品供应及回收系统4.2.1 化学品配送设施的部件应设置于箱柜内，并与箱柜门有自动 联动功能;还应设排气连接口并与相应的排气处理系统连接，并安装 排气压力监控装置。4.2.2 化学品配送设施应设有危险性标识及安全操作手册。4.2.3 易燃和氧化性化学品配送设施应设防静电接地，静电接地线 必须连接各类化学品桶、泵、过滤器及槽车单元。4.2.4 化学品配送设施应设置运行的状态指示灯，且配送设施在运 行状态下具备门自锁功能以提高运行安全性。4.2.5 酸碱类、腐蚀性溶剂化学品应设计双套管，内管应无焊接点 任何接头的连接

14、点的部位都应安装在箱体内。4.2.6 化学品回收系统应根据工艺排放物的性质确定，严禁将发生 化学反应的两种或多种物质合并一个系统进行回收。4.2.7 化学品回收应采用集中处理系统，通过管道送至废水处理站 回收利用设施、或收集桶槽外运专业处理。4.2.8 化学品的废液集中回收系统的设置应符合下列规定1. 有机化学品回收系统应与无机化学品回收系统分区域放 置；2. 回收化学品桶槽应能储存大于一周的废液量；3. 易燃和氧化性化学品回收系统应有防静电装置。4.2.9 对于物化性质易受温度影响的化学品，应采取措施对其环境 设备与管道系统进行温度控制。4.3 化学品监控及安全系统4.3.1 储存、输送、使

15、用化学品的下列设备或场所应设置漏液或气 体探测器，并在泄漏时发出声光报警。1 使用化学品的工艺设备；2 化学品供应单元、化学品补充单元、化学品稀释单元设备箱柜；34化学品供应系统的阀门箱； 化学品储罐的防火堤、隔堤。4.3.2化学品系统的气体探测器应设置一级和二级报警，在二级报警的同时，输出接点信号供联锁保护系统使用，报警设定值应符合下 列规定：1 易挥发可燃化学品的一级报警设定值应小于或等于25LEL,二级报警设定值应小于或等于50%LEL；2 易挥发有毒化学品的一级报警设定值应小于或等于50TLV-TWA,二级报警设定值应小于或等于100%TLV-TWA。4.3.3 易燃性和自燃险化学品的

16、探测器应符合下列要求：1 易燃性化学品设备内应设置泄漏探测器，并在发生泄漏时 发出声光报警；2 自燃性化学品供应设备应设置漏液探测器和火焰侦测器，并 在发生泄漏时，发出声光报警并联动切断供应。4.3.4 特种化学品没有相对应泄漏探测器时，应设置该化学品的衍 生产物泄漏侦测器对其进行探测。4.3.5 自燃性化学品的尾气不得排入排风管道，必须接入专用的处 理装置，装置应具备应急状况处理能力。5.配套设施设计5.1 建筑与结构5.1.1 有爆炸危险的特种气体和溶剂化学品间的承重结构应采用钢 筋混凝土或钢框架、排架结构。钢框架、排架结构应采用防火保护措 施，腐蚀性特种气体间的钢结构、排架结构应采用防腐

17、蚀保护措施。5.1.2 有爆炸危险的特种气体和溶剂化学品房间应设置泄压设施， 其泄压面积按计算确定。5.1.3 布置于生产厂房的甲、乙类特种气体和化学品间的耐火等级 不应低于二级。5.1.4 特种气体和化学品房间内顶棚、墙面、地面、隔断的装修材 料，其燃烧性能等级均为A级不燃性。5.1.5 有爆炸危险的特种气体和溶剂化学品间与无爆炸危险房间之 间，应采用耐火极限不低于 4h 的不燃烧体防爆墙分隔，防爆墙上不 应开设门窗洞口；设置双门斗相通时，门应错位布置，门应为甲级防 火门。5.2 给水排水与消防5.2.1 特种气体及站房、化学品系统及站房排出的有害废水，应排 入废水处理站处理达标后排放，不得

18、直接排至市政管网。5.2.2 毒性、剧毒性、腐蚀性气体的特种气体间、化学品间或周边 应设置紧急冲身洗眼器。5.2.3 与水发生剧烈反应的特种气体和化学品房间严禁采用水消防 系统进行灭火作业。5.2.4 硅烷站的消防系统设计应符合下列规定：1 发生硅烷火灾时，严禁直接扑灭硅烷火焰;发生硅烷火灾时，应用水对钢瓶储罐等进行冷却；3 不应使用卤代烷类及二氧化碳灭火器。5.2.5 存放、输送可燃气体和可燃化学品的柜体或设备中应设置自 动灭火设施。5.3 采暖通风与空气调节5.3.1 特种气体站房、化学品站房应设置连续的机械通风，通风量 应满足气瓶柜的排风要求。5.3.2 特种气体气瓶柜、特种气体阀门箱、

19、化学品泵箱、化学品阀 门箱应设置连续机械排风装置。5.3.3 大宗特种气体站房、化学品站房应设置事故通风，事故通风 量宜根据事故泄漏量计算确定，但房间换气次数不应小于每小时 12 次。并应在特种气体站房、化学品站房外设置事故通风紧急按钮。5.3.41 算；25.3.5硅烷气瓶柜、阀门箱的排风量计算应符合下列规定： 气瓶柜内、阀门箱的硅烷泄漏量应按照硅烷最大储存压力计排风量应满足气瓶柜内的硅烷体积浓度小于 0.4%。可燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜及化学品泵箱、阀门箱的排风 口与主排风管道连接的支管应采用刚性风管，不得使用柔性风管或软 管。气瓶柜、化学品泵箱、阀门箱的排风管路上不应设置防火阀。5.3.

20、6 特种气体、化学品设备排风和站房排风，应根据排风的危害 性和浓度设置处理装置。5.3.7 特种气体站房、化学品站房内的空气不得循环使用。5.3.8 空调风管不得穿越特种气体站房、化学品站房之间的分隔墙。5.3.9 特种气体、化学品供应设备及站房排风管道及空调风管应采 用不燃材料制作，保温应采用不燃或难燃材料。5.3.10 特种气体和化学品站房排风系统不得与火灾报警系统连动控制；火灾发生时，严禁关闭排风系统。5.4 电气与防雷5.4.1 电子工厂特种气体和化学品配送设施的电力负荷的等级应符 合下列规定：1 为特种气体和化学品配送设施服务的站房除检修插座电源外 应与主厂房最高负荷等级相同，且不应

21、低于二级负荷；2特种气体和化学品控制管理系统以及探测系统应配置UPS不 间断电源。5.4.2 架空敷设的易燃性特种气体和化学品管道，在进出建筑物处 应与防雷电感应的接地装置相连，距建筑物 100米内的特种气体管 道，每隔25m接地一次，其冲击接地电阻不应大于20Q。5.4.3 易燃性和氧化性特种气体和化学品配送设备与管道应采取防 静电接地措施，在管道进出建筑物处、不同分区的环境边界、管道分 岔处及直管段每隔50m-80 m处应设防静电接地一次。防静电接地为 单独接地时每组接地电阻应小于100 Q。5.4.4 易燃性和氧化性特种气体、化学品设备的排风管道、配送站 房通风管道及空调风管应设置防静电

22、接地装置。6. 施工与验收6.1 一般规定6.1.1 特种气体和化学品系统工程专项施工方案必须经过业主及相 关单位审核批准方可进行施工。6.1.2 特种气体和化学品系统设备及材料进场验收合格后才能在工 程中使用，当需要材料代用时，必须经原设计单位同意，并应出具书 面文件。6.1.3 特种气体和化学品系统的不锈钢工艺管道应采用全自动轨道 焊机焊接，高纯氩气保护。6.1.4 特种气体和化学品系统设备及材料进场检验应提供产品合格 证和质量保证书，以及安装、使用、维护和试验要求的技术手册。6.1.5 特种气体和化学品系统在验收前必须已完成管道和设备标识 的粘贴。6.1.6 泄漏性试验应按设计文件的规定

23、进行，输送极度和高度危害 介质以及可燃性介质的管道，必须进行泄漏性试验。6.2 特种气体系统工程施工与验收6.2.1 特种气体管道面密封接头的密封垫片应根据气体特性使用不 锈钢垫片或镍垫片，严禁将使用过的垫片再次使用，严禁在同一密封 面上使用两个及以上的垫片，严禁将垫片及面密封部件端面划伤。6.2.2 在掌握材料的焊接性能后，必须在工程焊接前进行焊接工艺 评定，焊接前应绘制系统的单线图并编制焊接作业指导书。焊接过程 应做好焊接记录并不得中断保护气体，所有焊缝应检查合格。6.2.3 改建、扩建特种气体管道工程施工前应将管道内的特种气体 用高纯氮气置换尽，且应将管道系统抽真空处理,被置换出的气体必

24、 须经过尾气处理装置处理,达标后排放。6.2.4 特种气体管道气压试验温度严禁接近金属材料的脆性转变温 度。6.3 化学品系统工程施工与验收6.3.1 PVC外套管采用热煨弯工法时必须使用专用工具，管道不得 产生不规则变形，外套管施工完成后应进行压力试验。632 PFA软管内管应采用整根管道贯穿，中间不得有接头。大口 径PFA硬管应采用红外热熔焊机进行焊接。6.3.3 溶剂化学品用不锈钢金属管道，应采用氩弧自动焊机进行焊 接。6.3.4 化学品系统的管路应依据设计文件规定进行强度试验、严密 性试验、泄漏性试验、洁净度测试、电气性能测试等检验。6.3.5 电子工厂化学品系统工程的竣工验收应在施工

25、单位自检合格 的基础上进行，同时做好验收记录。7. 运行与维护7.1 一般规定7.1.1 电子工厂应明确特种气体和化学品系统的管理部门和负责人 员,并配置具有特种气体和化学品系统专业知识的人员或委托具有相 应专业能力的企业进行运行与维护。7.1.2 电子工厂的特种气体和化学品系统应制定岗位责任制和工作 标准,明确人员岗位职责和工作流程。7.1.3 电子工厂应建立特种气体和化学品系统运行与维护管理制度 和操作规程。7.1.4 电子工厂的特种气体和化学品系统应建立、健全职业卫生管 理制度。7.2 运行与维护7.2.1 电子工厂的特种气体和化学品系统试车前,供应系统和泄漏 侦测设施应调试、测试合格，

26、同时应制定试车方案及应急预案。7.2.2 电子工厂的特种气体和化学品系统应设置特种气体和化学品 系统监控中心，监控中心应安排人员 24h 值班。7.2.3 电子工厂的特种气体和化学品系统应规范交接班管理，并做 好交接班记录；事故应急处理时，不得进行交接班。7.2.4 电子工厂的特种气体和化学品系统应开展日常定期点检和非 定期点检，并明确定期点检和非定期的内容，保存相关记录并对问题 点进行处理。7.2.5 电子工厂的特种气体和化学品系统应对设备进行编号，建立 设备台账、技术档案和备品配件管理制度，编制设备操作和维护规程， 及时处理相关故障。7.2.6 电子工厂的特种气体和化学品系统应定期开展隐患

27、排查工 作，隐患的根据严重程度进行分类合理处理。7.2.7 电子工厂的特种气体和化学品系统的变更与改造应开展系统 变更改造可行性研究、制定设计方案，选择具有相关资质的施工单位、 施工过程应符合设计和规范要求，变更改造竣工后，应根据国家及行 业相关法规和标准开展验收，验收和技术资料应归档完整。7.2.8 电子工厂应编制特种气体、化学品事故应急预案，配备应急 救援人员和应急救援器材，并定期进行应急演习。7.2.9 电子工厂的特种气体和化学品系统应组织开展岗位培训工作, 提高人员安全和操作技能。7.2.10 电子工厂的特种气体和化学品系统应建立风险管理体系、制 定危险源辨识、评价、控制管理制度。8.

28、 废弃与拆除8.1 一般规定8.1.1 废弃与拆除特种气体和化学品配送设施应进行技术和风险评 估，制定完善的施工方案与废弃物处理方案。8.1.2 待拆除系统应采取隔离措施，拆除作业不得影响其他设备的 正常运行，并明确标识有害因数识别，做好保护措施。8.1.3 拆除作业活动监护人员应具备基本救护技能和作业现场的应 急处理能力，作业过程中不得离开监护岗位，发生异常情况，需立即 停止拆除作业，启动应急处置流程，指挥人员疏散及抢险救灾。8.1.4 拆除人员需进行岗前培训，针对拆除方案要点进行现场确认， 并提前配备可靠的个人防护器具。拆除作业中一旦发生火灾、危险物 质泄漏等事故，所有人员必须服从统一指挥

29、，按逃生路线依次撤离。8.1.5 配送设施拆除后如发现存在严重隐患，无改造、维修价值或 者超过安全技术规范规定的使用年限的，使用单位应及时按相关规定 予以报废并作为固体危害废弃物进行处理。8.2 特种气体设施的拆除8.2.1 特种气体设施拆除前应确认特种气体的气源已经移除。8.2.2 拆除的特种气体设施应先利用氮气等惰性气体对特种气体设 施进行彻底吹扫，分析检验合格后方可进行拆除作业。8.2.3 特种气体设施拆除过程须保证施工现场空气流通，不得在密 闭环境进行拆除工作。8.3 化学品设施的拆除8.3.1 化学品配送设施拆除前应确认储罐和管道系统内的介质和冲 洗用介质已经排空。8.3.2 企业需

30、拆除的化学品设施应先对设施进行彻底冲洗，分析、 检验合格后方可进行拆除作业。8.3.3 有机溶剂设施在拆除前须持续氮气吹扫，以降低可燃性物质 浓度，避免切断过程高热产生火灾。三术语1 特种气体 specialty gas 电子工厂电子产品生产中外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中 使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特 殊气体的统称。2 气体探测系统 gas detector system(GDS) 设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其它特种气体输送设 备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度 来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供

31、探测数据的系 统。3 特种气体间配送设施 specialty distribution facilities 电子工厂中自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性 等特殊气体供应系统管道和设备的统称。4 特种气体站 specialty gas station电子工厂放置卧式气瓶、气瓶集装格、ISO标准集装瓶组、长管拖车、 尾气处理装置等气体设备，并通过管道向用生产厂房气设备输送特种 气体的独立建、构筑物。5 气瓶柜 gas cabinet (GC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。6 气瓶架gas rack (GR)特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。7 阀门箱va

32、lve manifold box (VMB)特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多 个工艺设备提供特种气体。8 阀门盘 valve manifold panel (VMP) 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多 个工艺设备提供特种气体。9 尾气处理装置 local scrubber 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现场处理 装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。10 不相容性 incompatible 不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用 的特性。11 吹扫 purge 用氮气或惰

33、性气体对特种气体系统内的本质气体或工作气体进行置 换的过程。12 排气 vent 特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体。13 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL) 易燃性气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。14 最高允许浓度值 threshold limit value(TLV) 毒性气体在空气中的浓度小于该值时, 充分且持续暴露于该环境中 的作用人员的健康不会受到损害。15 化学品 Chemical电子工厂电子产品生产中湿法刻蚀、光刻、CMP等生产工艺中使用的 酸性化学品、碱性化学品、溶剂化学品、研磨液化学品、特种化学品 的统称。16 化学品配送设

34、施 Chemical distribution facilities 电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品供应系统管道与 设备的统称。17 化学品回收系统 Chemical reclaiming system 电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品回收系统管道与 设备的统称。18 化学品槽车 Chemical lorry 电子工厂中用于运送大用量化学品的专业车辆。19 化学品桶槽 Chemical container电子工厂中用于储存化学品的小容积容器，放置在化学品储存、分配 间的化学品单元内部。20 化学品储罐 Chemical storage tank 电子工厂中用于储存

35、化学品的大容积容器，固定布置在化学品储存、 分配间内。21 阀门箱 Valve manifold box (VMB)指化学品通过供应管道可同时供应两台或以上的生产设备的阀门操 作箱。22 取样阀箱 Sampling Box (SB) 指化学品管道上用于化学品取样的阀门箱体。23 泄漏探测器 Leakage detector用于探测化学品单元、化学品储罐及化学品阀门箱等设备发生化学品 泄漏并给出信号的装置。24 化学品监控系统 Chemical monitor and control system 用来对化学品供应系统，化学品回收系统实现监控、显示、报警、数 据收集等功能的远程监控系统。25 化

36、学品稀释单元 Chemical dilution unit 电子工厂的化学品系统中用纯水稀释高浓度化学品设备的统称。26 化学品混合单元 Chemical Mixing unit 电子工厂的化学品系统中作为混合两种或以上化学品设备的统称。27 化学品供应单元 Chemical transfer unit 向电子工厂工艺系统供应化学品的设备。28 液位探测器 Level sensor 用于探测化学品储罐、化学品单元内桶槽的液位的测量元件。29 火焰探测器 Ultraviolet rays Infra-red rays （UV/IR） 可燃化学品发生泄漏起火时，探测所产生红外线或是紫外线的辐射热

37、感应装置。四、条文说明为便于政府有关管理部门和建设、设计、施工、科研等单位有关 人员在使用本规范时能正确理解和执行条文规定，规范研编组按照 条、款顺序编写本规范的条文说明。但本条文说明不具备与规范正文 同等的法律效力，仅供使用者作为理解和把握规范规定的参考。1. 总 则1.0.1条文来源为特种气体系统工程技术规范GB50646-2011第1.0.1条及电子工厂化学品系统工程技术规范GB50781-2012第1.0.1 条。本条说明本规范编制的目的，工程规范是政府及其部门依 法治理、依法履职的技术依据，是全社会必须遵守的强制性技术规定。 工程规范内容是工程建设的基本指南和底线要求，应严格限定在工

38、程 建设领域涉及保证人民生命财产安全、人身健康、工程质量安全、生 态环境安全、公众权益和公共利益，以及促进能源资源节约利用、满 足国家经济建设和社会发展的范围。1.0.2 本条说明本规范的使用范围，规范研编以技术专业为对象， 以各项目规范中重复的、具体的性能要求和关键技术要求为主要内 容。其内容涵盖设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除等工程 环节。1.0.3 由于工程实践情况复杂，包括施工方法、设计方法、检查方 法、新材料应用等技术在规范中没有涉及或与本规范不一致，为鼓励 新技术的应用，有关单位与技术专家依据研究成果、验证数据和国内 外实践经验等，对所采取的技术措施进行充分论证与评估，证明

39、能够 达到安全可靠、节能环保、并对论证结果负责，建设单位应将论证结 果报工程项目所在地行政主管部门备案，获得同意后，再进行实施。 在工程设计过程中可能会出现规范无相关要求或与规范不一致的情 况，这时应采取合规性判断，以保证项目的正常推进。1.0.4 工程规范是全社会必须遵守的强制性技术规定，是工程建设 的基本指南和底线要求。电子工厂特种气体和化学品配送设施在其全 生命周期内除了必须严格遵循本规范要求，同时为满足工程各专业全 生命周期的质量、安全等需求，还应遵守国家现行有关规范的规定。 本条也是技术规范的通用写法。2. 基本规定2.0.1 来源为中华人民共和国安全生产法第四条，生产经营单 位必须

40、遵守改法和其它有关安全生产的法律、法规，加强安全生产管 理，建立、健全安全生产责任制和安全生产规章制度，改善安全生产 条件，推进安全生产，推进安全生产标准化建设，提高安全生产水平， 确保安全生产。电子工厂特种气体和化学品配送设施涉及大量的危险 品物质，许多物质具有易燃、易爆、毒性、腐蚀性的特性，制定本条 的目的是为了在工程建设领域涉及保证人民生命财产安全、生态环境 安全、公众权益和公共利益。2.0.2 条文来源为固定式压力容器安全技术监察规程TSG 21-2016、压力管道安全技术监察规程-工业管道TSGD0001-2009、 移动式压力容器安全技术监察规程TSG R000-2011,这两个规

41、为 全文强制的国家标准，在特种气体和化学品配送装置中会使用到相当 数量的压力容器与压力管道,压力容器与压力管道属于国家监管部门 重点监管的特种设备,因此,在该通用规范规定配送设施中涉及的压 力容器和压力管道等特种设备应符合国家有关特种设备监察管理规 定的要求。2.0.3 电子工厂中大量使用的特种气体和化学品具有易燃、易爆、 毒性、腐蚀性的特性,符合危险化学品重大危险源辨识要求,规定当 生产储存单元到达现行国家标准危险化学品重大危险源辨识 GB18218规定的数量时，应按照国家规定要求，对重大危险源进行设 计、施工与验收、运行与维护。2.0.4 本条来源为中华人民共和国安全生产法，为保障特种气

42、体和化学品配送设施的安全性，当达到设计使用年限或遭遇重大事故 灾害后应进行系统的验证与评估，依据验证与评估结论确定继续使 用、进行改造或更换。继续使用应制定相应的安全保障措施。重大灾 害是指自燃灾害（地震、水灾等）和人为灾害（运行不当、火灾等）2.0.5 本条来源为电子工厂化学品系统工程技术规范GB50781-2012总则，电子工厂特种气体和化学品大多数为有毒、腐 蚀性、易燃、氧化性的气体和液体，且用量较大，这些配送设施的设 计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除过程中都会产生各种废气、 废液、固体废物，为此，应采用就地洗涤塔、中央洗涤塔、废液收集、 废水收集池等措施对废气、废液、固废进行处理

43、与收集，达标后排放 或外运由专业厂家处理。2.0.6 本条来源为电子工厂化学品系统工程技术规范GB 50781-2012第3.5节，电子工厂特种气体和化学品配送设施涉及大 量的危险品物质，许多物质具有易燃、易爆、毒性、腐蚀性的特点， 正确的标识可以减少运行与施工人员在工作中发生错误，保证工厂的 正常运行，防止易燃、易爆、中毒、化学性伤害事故的发生。同时， 管道标识也是国内外工程技术行业的通用做法。2.0.7 本条来源为剧毒化学品、放射源存放场所治安防范要求 （公安部 GA 1002-2012）第5.2条实体防范要求与5.3条技术防范要 求。易制爆危险化学品治安管理办法（公安部令第154号），易

44、 制毒化学品管理条例（国务院445号）。规范的编制是为了符合国家 相关法律法规、政策措施对项目建设的要求，包括公共安全、环保、 节能等，电子工厂中的剧毒化学品、易制爆化学品、易制毒化学品的 安全管控是为了保障人民生命财产安全、人身健康、工程质量安全、 生态环境安全、公众权益和公共利益。2.0.8 本条来源为氢气站设计规范GB 50177-2005 7.0.6条， 以大型集成电路和液晶面板为代表的电子工厂的FAB生产厂房的一 楼（部分在其它楼层）靠外侧的生产辅助区域布置有较多房间作为特 种气体和化学品供应间，特种气体和化学品必须就近通过管道系统供 应至机台工艺设备，许多可燃性特种气体和甲、乙类液

45、体化学品必须 穿过防火隔墙进入生产区域，为了防止特种气体和化学品供应间的火 灾事故蔓延至生产区，规定输送可燃气体和甲、乙类液体的管道穿过 防火隔墙时，应采用不燃烧体材料填塞空隙，这也是目前电子行业的 基本状况。2.0.9 本条来源为特种气体工程系统工程技术规范GB50646-2011 第6.2.1条，特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用 奥氏体不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。电子工厂 化学品系统工程技术规范GB50781-2012第3.4.1条，化学品供应 系统与介质接触的储罐、桶槽、管道、管道附件应采用不与化学品产 生反应、并不应向化学品介质渗透微量物质的材质。电子工厂使用的 特

46、种气体和化学品是工艺生产管件性介质，为保证其纯度，与特种气 体接触的储罐、阀门、管道、管道附件；与化学品接触的桶槽、储罐、 管道、管道附件的本体或内壁应采用不与介质起反应的材料，并不得 向介质渗透微量物质。3. 特种气体配送设施设计3.1.1 特种气体按照物理化学特性分类存放是为了防止不相容气 体之间发生反应带来的安全事故。特种气体间应设置排风系统，房间 应运行在负压状态是为了防止气体间泄漏的气体进入相邻房间或通 道，杜绝事故扩大；特种气体间应用防火隔墙相互隔离是为了房间的 火灾事故蔓延至相邻房间；易燃易爆特种气体间应进行防爆设计也是 主动防护设计，防止爆炸发生或在发生后减缓后果，这也符合现行

47、国 家标准建筑设计防火规范GB50016的有关规定，也符合行业的普 遍做法。3.1.2 本条来源为特种气体系统工程技术规范GB50646-2011，5.2.1条第5款，为强制性条文。条文规定大宗硅烷站应布置为独立 的开敞式建筑物，并规定了开敞式建筑屋顶、外墙及他们之间的特殊 设计和建设方法，如规定外墙面的遮挡部分不得大于三面，其目的是 防止因为墙体的设置不当，影响硅烷站的自然通风，防止硅烷积聚造 成安全事故，硅烷属于自燃性气体，自燃温度为-50C，燃烧热44,370kJ/kg（1kg硅烷相当于10kgTNT当量）。硅烷按化学当量与空 气混合时（硅烷占9.51%），局限空间（定容）环境下硅烷的爆

48、燃产生 的压力是10.21a tm，而爆炸情况下是19.81a tm。如此强大的压力冲 击波，会对周围的人员和建筑物带来灾难性的损失。许多大型电子工 厂硅烷储存量达到1215吨，一旦发生爆炸，危险性极大，该条规定 是为了通过独立式的开敞式建筑及相关措施，通过自然通风和机械通 风的方法防止事故状态下的硅烷堆积，减少事故发生，并在万一发生 事故时，将事故危害减少至最小程度。3.1.3 本条来源于特种气体系统工程技术规范GB50646-2011，5.2.7 条，露天布置的硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺面板之 间的距离不应小于9m；露天布置的硅烷站内大宗容器之间以及容器 与工艺面板之间的距离小于9

49、m时，应设置2h以上的防火隔断，防火 隔断的设置不应影响自然通风。规定硅烷站内大宗容器之间以及容器 与工艺气体盘之间的距离要求的目的是为了在事故状态下保护操作 人员的安全，同时考虑了工厂的实际情况，又规定单硅烷站内大宗容 器之间以及容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置2h以上 的防火隔断，目的是通过防火隔墙控制火灾范围，保护操作人员的安 全。3.1.4 本条来源于国内外长期的工程经验，硅烷为易燃易爆物质， 非大宗硅烷站可以建在室内，为了防止在硅烷泄漏时硅烷的堆积，应 加强对硅烷储罐机械连接部分进行强制通风。由于地下室不能够设计 出足够的泄压面积，通风排气不能满足硅烷系统的要求，硅烷一旦

50、发 生燃烧或爆炸事故，事故后果会持续放大，规定不得建在地下室就是 为了进一步防控安全风险。3.1.5 本条来源于液氯使用安全技术要求AQ 3014-2008第8.3 条，为强制性条文。瓶体泄漏点为孔洞时，可使用堵漏器材（如竹签、 木塞、止漏器等）处理，并注意对堵漏器材紧固，防止脱落。处理无 效时，应迅速将泄漏气瓶浸没于备有足够体积的烧碱或石灰水溶液吸 收池进行无害化处理。为了防止剧毒性特种气体（如氯气、砷烷等气 体）发生泄漏时造成人员伤亡事故，最大程度的减少对工厂和周边人 员生命健康的影响，迅速防止剧毒其扩散，规定，剧毒性特种气体供 应间应配置专用容器堵漏工具、排风装置和事故状态下的剧毒性特种

51、 气体排风处理装置，目的是尽快终止事故的影响。事故排风处理装置 包括就地洗涤装置、就地吸附装置、中央洗涤装置、房间内喷淋装置 和氯气间室外设置的碱液池等，碱液池的有效尺寸应大于卧式氯气液 化气瓶，在紧急状况下，佩戴生命保护系统的工作人员借助工具将泄 漏氯气的气瓶推入碱液池。在工程中设置一种或多种的剧毒性特种气 体吸收处理装置还应考虑安全评价报告的意见。3.1.6 本条来源于剧毒化学品、放射源存放场所治安防范要求GA 1002-2012 第 5.5.2 条，存入场所（部位）的防盗安全门应符合 GB17565 的要求,其防盗安全级别为乙级（含）以上，防盗锁应符合 GA/T73的要求，防盗保险柜应符

52、合GB10409的要求。制定本条是为 了防止，剧毒及易制毒化学品被人盗取，造成对社会及人民健康的危 害，本条规定，剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和 防止人员入侵的技防设施。3.2.1 本条来源于特种气体系统工程技术规范 GB50646-20114.2.1 条第2款，不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中。 由于同一气柜通常共用吹扫氮气、排气系统和排风系统，为了防止不 相容气体在非正常状态下相遇发生反应，酿成重大事故；同时也为了 防止更换特种气体瓶时因为误操作带来事故，特做此条规定。3.2.2 本条来源于特种气体系统工程技术规范 GB50646-20114.2.4 条第3款，液

53、态气体瓶的大宗特种气体系统应设计钢瓶加热与 保温装置。压缩气体钢瓶、容器和储罐，不论是满的还是部分满的， 都不应由能将容器、钢瓶或储罐的表面温度提高到125 F（52 C）以 上的装置加热，液体加热会有体积膨胀。钢瓶的最大充装量是按照最 高温度（52 C）下的液体体积小于钢瓶容积确定的。为了避免液体膨 胀对钢瓶的破坏，需要严格限定钢瓶表面加热温度。3.2.3 本条来源于特种气体系统工程技术规范 GB50646-20114.3.1 条，特种气体系统吹扫氮气的设置，应符合下列规定：1 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气应 与独立的氮气源连接，不得与公用氮气或工艺氮气系统相连；2 不

54、相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源；3 吹扫氮气管线必须设置止回阀。为了防止自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性等危险性特种气体系统 的吹扫氮气被本质特种气体污染，引发着火、中毒或设备损坏等事故， 防止不相容气体发生接触带来安全事故，规定危险性气体吹扫气体应 来自专用吹扫钢瓶，并应在吹扫氮气管线设置止回阀。3.2.4本条来源于特种气体系统工程技术规范GB50646-2011的4.1.3 条，不相容的特种气体排气管道不得接入同一排气系统。为防 止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，不相容的特种气体的 排气体管道不得接入同一排气系统，为此，作了本条的规定。3.2.5本条来源于特种气体系统工

55、程技术规范GB50646-2011第4.3.4 条第2款，自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体的排气必 须经过尾气处理装置处理。自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体 系统在抽真空或吹扫过程中排出的超过规定浓度的特种气体和特种 气体混合气对环境与人体将会造成着火、破坏设备、管路、污染环境、 人体中毒安全危害，因此这些特种气体及混合气应通过排气管道进入 尾气处理装置进行处理，达到规定浓度后才能排入厂务排气系统。对 于具有自燃、易燃单一危害特性的特种气体，如果环境评价文件许可， 也可以不经过处理设备排至安全位置。3.2.6 本条来源于特种气体系统工程技术规范 GB50646-20114.2.1 条第

56、 5 款，气瓶柜闭门时应保持不低于 100Pa 负压，柜内的排 风换气次数不得低于 300 次/小时。保持气瓶柜在负压下运行，发生 泄漏时，危险气体会进入排风系统，避免泄漏到环境，保障操作人员 的生命安全和附近设备的安全。3.2.7 本条来源于特种气体系统工程技术规范 GB50646-20114.2.1 条第 6 款，自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体应在排风 出口设置气体泄漏探测器。在危险气体泄漏开始时，在抽风口处能及 时探测到泄漏程度，规定在排风口设置气体探测器是为了能够及时报 警并采用切断措施，预防泄漏扩大导致发生事故。这是国内外电子工 厂运行经验和通用做法。3.2.8 本条来源于特种

57、气体系统工程技术规范 GB50646-20115.1.8 条，硅烷钢瓶出口应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出 口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送系 统的距离应大于4.6m。从安全操作的角度出发，规定钢瓶出口应设 置常闭式紧急切断阀，且至少有一个紧急切断按钮距离气源不小于 4.6m，每个气站入口外应设置手动紧急切断按钮。3.3.1本条来源于特种气体系统工程技术规范GB50646-2011第6.1.3条，生产厂房内的可燃性和毒性特种气体管道应明敷，穿过生 产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套 管与管道之间应采用密封措施。可燃性、毒性、腐蚀性气体管

58、道的机 械连接处，应置于排风罩内。为了防止易燃性、有毒特种气体泄漏后 聚积，引发着火、爆炸事故本条规定此类特种气体管道应架空敷设。 为了防止此类特种气体管道穿过生产区墙壁与楼板处的管段气体泄 漏后积聚，本条还规定在套管内的管道不应有焊缝。特种气体管道应 采用焊接连接。3.3.2本条来源于特种气体系统工程技术规范GB50646-2011第 6.1.6条，可燃性、氧化性特种气体管道，应设置导出静电的接地设 施。为避免管道内油脂与氧化性介质发生反应，产生燃烧等严重后果， 规定氧化性气体管道应经过严格的脱脂处理。【起草说明】本条来源于特种气体系统工程技术规范GB50646-2011 第 6.4.1 条

59、，特种气体管道必须进行管道标识。本节对特种气体管 道标识做出了规定，其目的是为特种气体管道的安装施工中管道的标 识提供依据和生产运行中使用标识特种气体管道内容物及其危险特 点，防止事故的发生或一旦发生事故时使作用人员，安全管理人员迅 速识别特种气体管道的内容物及其危险性。3.4.1 本条来源于特种气体系统工程技术规范 GB50646-2011 第9. 1 . 1条，特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报 警、分析的功能，并应能记录、存储和打印。本条是为保证电子工业 工厂特种气体管理规范、集中并且功能完善。3.4.2 本条来源于特种气体系统工程技术规范 GB50646-2011 第9

60、.2.1 条，为强制性条文。本条规定了电子工厂特种气体探测器布置 的位置与场所，目的是为保证特种气体探测器能够安装位置规范性、 从而最及时发现气体泄漏、报警并采用对应措施。3.4.3 本条来源于特种气体系统工程技术规范 GB50646-2011 第9.2.3 条。本条规定了自燃性、易燃性、毒性和惰性气体气体装置报 警设定值的要求，一旦泄漏超过规定值，可能造成火灾、人员中毒、 窒息等状况发生，为此，规定了一级报警和二级报警的要求，一级和 二级报警值设定是行业内的通常做法，既可以判断气体泄漏，泄漏的 气体浓度又不会引起安全事故，报警值设定，留有安全余量。3.4.4本条来源于特种气体系统工程技术规范

61、GB50646-20111第5.3.4条，硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应等于或小于 硅烷爆炸浓度下限值的 25%，并与硅烷气源的自动切断阀连锁；硅烷 站环境气体探测器的报警设定值应等于或小于5ppm，环境气体探测 器报警时，硅烷控制系统不应切断硅烷输送管路。在抽风管道中设置 泄漏探测器，并设定报警值和自动关闭输送系统，是为了硅烷系统做 到早期报警，防止事故产生。3.4.5本条来源于特种气体系统工程技术规范GB50646-2011第 9.4.1和9.4.2条，条文如下：特种气体探测系统确认气体泄漏时， 应自动启动相应的事故排风装置，自动关闭相关部位的气体切断阀， 并应能接受反馈信号。9

62、.4.2 特种气体探测系统确认气体泄漏时， 应自动启动泄漏现场的声光报警装置，该声光报警应有别于火灾报警 装置，并应自动启动应急广播系统。为确保生产车间和特种气体系统 的安全、应采取各项联动控制，一旦特种气体泄漏后，切断阀、事故 通风装置与气体探测器联动，自动启动相应的事故通风风装置、关闭 切断阀，切断气体来源。同时当气体探测系统确认气体泄漏时，应启 动泄漏现场的声光报警装置，提醒作用人员采取应急措施和迅速离开事故现场。3.4.6本条来源于特种气体系统工程技术规范GB50646-2011第5.3.5 条，室外大宗硅烷系统的钢瓶区域内必须设置紫外红外火焰探 测器；室内硅烷输送系统应采用火焰探测器

63、或感温探测器。火焰探测 器或感温探测器应与报警系统和硅烷气源的紧急切断阀联动。 本条规定了大宗硅烷系统与室内硅烷输送系统探测器的布置原则，规 定室外大宗硅烷系统必须设置紫外/红外火焰探测器，室内硅烷输送 系统应设置火焰探测器或感温探测器，目的是为了发现早期微量火 焰，及早报警并关闭气体供应系统，杜绝危险环境扩大，保护人员与 财产安全。4. 化学品配送设施设计4.1.1 本条来源于电子工厂化学品系统工程技术规范GB 50781-2012 第 3.1.2 条，化学品应按照物化特性分类储存，不相容 的化学品应布置在不同的房间内，房间之间应采用实体墙分隔。化学 品应按其化学物理特性分类储存，是为了防止不相容相互接触时发生 化学，造成安全事故，房间用实体墙隔开，是为了储存安全。4.1.2 本条来源于电子工厂化学品系统工程技术规范 GB 50781-2012 第 3.1.3 条，危险性化学品储存在单独的储存间或储存 分配间，与相邻房间隔墙的耐火极限应不小于2.0h,并应布置在生 产厂房一层靠外墙的房间内。本条规定的制定主要是考虑到化学品的 运输储存的便利与安全性，发生火灾不至于影响其他化学品房间，可 以将危险性降至最低。4.1.3 本条来源于电子工厂化学品系统工程技术规范 GB 50781-2012 第 3.1.4 条，生产厂房内的化学品储存、分配间的设计 应符合