真空设备操作维护保养规程版

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1、1.目的：按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产, 提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生。2范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养3操作规程旋片泵操作规程 3.1.1性能规范型号：2X 70几何抽速：70L/S；极限压力：1帕；泵转速：450转/分；电机：Y132L-4 功率：;电机转速：1440转/分； 配用三角带；B/1600： 4根;冷却水消耗量：480L/H；润滑油：1#真空机械泵油（KK-1）储存量8Kg；口径：进气90mm 排气60mm。操作规范起动前的准备(1) 检查皮带的松紧程度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉

2、紧，以 减少起动力矩。(2) 检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。(3) 检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。(4) 对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活。(5) 检查冷却水是否正常(管路上水压表水压W )、润滑油是否正常。起动(1) 打开冷却水阀。(2) 合上电源的开关，起动电机。(3) 泵启动后，再缓慢打开进气阀，以免泵的负荷急剧增加。停车停泵时应先关断进气口阀门，打开放弃阀法对泵放气。汪意事项应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后换油一次，以后每2-3个月换油一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间。应经常保持泵及泵房的干燥清洁

3、。注意泵温及冷却水和油的温度，水温在20-40C之间，不应超过40C，即泵温不超 过环境温度加上40C。润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。入停车后泵温要下降至5C以下时，泵内冷却水必须除净。罗茨真空泵操作规程性能规范型号：RT0,300S;抽气速率：300L/S；极限压力：帕；进排气口径：160mm/100mm配用电机：3KW操作规范 起动前准备(1) 检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压W)。(2) 检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寝没34个齿高度为宜。电机侧油位应以寝没1/31/2油窗高度为宜。润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/31/2之 间。(3) 如果吸入

4、气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果吸入气体有腐蚀性，必须采取中和措施。(4) 检查各部分有无松动现象，较长时间不用后，应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。(5) 检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。起动(1) 起动前级泵。(2) 打开本泵的进气阀门。(3) 打开冷却水阀门，当容器压力达到工艺规定压力时，起动本泵。(4) 泵运转时应平稳，转子不得有冲击声。(5) 泵的轴封处不得有漏油现象。(6) 泵在运转过程中如局部升温过大，电流计读数突然发生变化，产生不规则的噪声或其它异常现象，应立即停泵检查。停泵(1) 停泵时，应先停罗茨泵，再停前及泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高

5、，负荷增大而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。或会导致前级泵倒转，前级泵泵油倒灌入管道或罗 茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境。(2) 停止本泵并关闭排气阀门。(3) 停止前级泵。(4) 关闭冷却水进水阀。汪意事项应经常保持使用环境清洁干净。应经常注意各部件的润滑情况，如发现润滑油不足时，应及时补充，如发现润滑油 不清洁时，应及时更换。润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。扩散泵操作规程性能规范型号：KT600600表示吸气口径;抽气速率：16000L/S；极限真空：； 加热功率：9KW； 装油量：6-7L(ks-3)；耗水量：W1000L/H； 进口/出口： 600/150。操作

6、规范起动前准备(1) 检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压W)；(2) 起动前，高真空阀门应处于关闭位置。起动(1) 起动前级泵，抽出扩散泵内的气体。(2) 接通冷却水(注意：急冷水套在扩散泵停机时才能通水)。(3) 接通扩散泵加热电源，对扩散泵加热60min后，当容器压力达到工艺规定压力时, 打开高真空阀门，扩散泵可以进入正常工作状态。停机(1) 关闭咼真空阀门；(2) 切断扩散泵加热其电源，停止加热。(3) 当泵底温度W60C关闭管道阀门。(4) 关闭前级泵，并向前级泵充气，以防返油。(5) 停止对扩散泵供水。汪意事项扩散泵出水温度应W40C，否则应立即检查处理。如果扩散泵在正常运行

7、中突然停电停水，应按照以下步骤处理：(1) 立即关闭咼真空阀和前级阀；(2) 迅速抽出加热器；(3) 马上接通急冷水路，并向扩散泵底部淋水；泵正常工作时，如性能突然变坏，应检查加热器是否损坏。泵在长期工作后，性能如果下降，应拆泵检查油量及泵油氧化情况，酌情加油或换油(扩散泵专用油)，在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗，然后在80100C 温度范围内烘干。并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓，确保其无 松动安全可靠。一般情况下，泵体应保持真空状态，以免大气进入泵内造成扩散泵油的氧化。分子泵操作规程 性能规范 型号：TYFB-1600抽气速率：1600 （L/S）极限真空：

8、V8X10-8/V5X10-7电机转数：24000 （rpm）冷却水流量：1（L/min）真空镀膜机操作规程开停机顺序：开机前，检查水，电，气是否符合要求，（水压表水压-）,（气压表气压W ）。开机：打开真空机和流量控制器电源开关，依次按下“维持泵”、“维持阀”、“扩散泵”、 按钮。大约30分钟后，扩散泵正常工作。（当分子泵电源频率达到225Hz时分子泵方 能正常工作）。在扩散加热同时打开炉门检查炉内绝缘情况，清理炉内卫生。装工件检查炉门密封圈，关炉门。开主抽泵、开粗抽阀门。至真空度到400 Pa时（此时罗茨泵转子为静止状态）。开前级阀。启动罗茨泵，至真空度到Pa时，关预抽阀、开前级阀、关罗茨

9、泵，开精抽阀。至真空度到X 10-3 Pa时开始镀膜。运行工艺流程 镀膜：开流量计按工艺要求充入气体、对工件进行离子清洗（清洗时间有不同工艺而定）。 关闭离子清洗真空度恢复至本底真空（X10-3Pa）。调整气体开始镀膜，（按工艺要求镀膜）。关机关闭真空计、关闭精抽阀。打开放气阀。放气结束。打开箱体大门。取出工件 装入工件。关闭放气阀。重复上述过程。设备维护.1日常保养(1) 开机前，检查水、电、气是否符合要求。(开启磁控靶前，检查靶水开关，每次开炉 门后，用酒精摖拭门胶条，并用吸尘器清理真空室内部。)(2) 检查循环水路各接口，保证无渗漏。(3) 检查循环水路进水温度是否在5 25C。回水温度

10、是否低于35C。进水压力为cm3 cm3(4) 检查水流量开关是否正常工作。(5) 检查压缩机管路各接口，保证无压缩空气外漏。(6) 检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水。(7) 设备运转时检查机械泵、罗茨泵、扩散泵有无过热和异响。(8) 在设备升温、镀膜过程中：检查设备阀门，侧壁，后壁，高阀等有无局部发热现象。(9) 检查门密封条有无伤痕。(10) 用吸尘器仔细清洁炉体内部。(11) 视污染情况更换观察窗保护片。(12) 检查机械泵油位是否正常。(13) 检查罗茨泵油杯油量，保证油杯量在1/2 1/3油杯高度即可。(14) 检查分子泵油池油量，保证油池油量处于油标上下限之间。(15) 检查溅射

11、靶与罐体之间的绝缘度，绝缘电阻大于200MQ为合格。(16) 检查转架绝缘度；绝缘电阻大于200MQ为合格。(17) 注意记录隔日真空，养成良好的习惯，便于及时发现设备的问题。.2定期维护下面的工作应每周进行一次：(1) 检查水路系统内各水表，阀门等出接口有无渗漏。(2) 检查压缩空气管路及气三联件，查看油杯中油量是否合适。及时放掉杯中残余水分。(3) 使用压缩空气清洁机械泵外部，防止灰尘过厚影响散热。(4) 以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部。(5) 清洁观察窗玻璃。(6) 检察各电源线是否有松动、发热现象。(7) 检查循环水各阀门接口有无渗漏。下面的工作应每月一次：(1) 以压缩空气和吸尘器较

12、为彻底的清洁炉体内部，内衬。(2) 检查罗茨泵泵油状况，如发现油质变色，変烯，乳化等情况，应立即换油。(3) 清理机械泵口过滤网。(4) 检查各靶材消耗状况。每更换一次靶材，用特斯拉计测量靶磁场强度。(当心强磁场、 手机、手表等精密仪器及电气请远离！带有心脏起搏器的人员请远离！)。下面工作应三个月进行一次(1) 以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套。(2) 更换机械泵油(或者考虑使用1000小时)。(3) 更换机械泵油过滤器。(4) 请打开各电源柜及控制柜外罩，以压缩空气清洁内部，检查紧固螺钉是否松动，机壳接地是否良好，各元器件有无异常。下面的工作应六月一次：(1) 将全部屏蔽板拆出清洗，彻底

13、清洗炉体内部，个别膜层较厚部分，可用抛光布轮或砂轮抛光清理。(2) 将高阀打开，检查清洗阀板下面。(3) 清洗抽气主管道。(4) 清洗充气阀过滤器。(5) 更换转动轴封。(6) 更换前门密封圈。(7) 更换炉体加热器密封圈。(8) 检查机械泵皮带松紧是否适当，每半年调整一次。下面的工作应一年进行一次：(1) 更换机械泵排气过滤网。(2) 检查PLC电池电量。(3) 更换分子泵润滑油(或者每4000小时)。(4) 检查设备动力线是否有老化现象，及时更换。大修：视设备工作情况，每两至三年大修一次，彻底清理炉体，更换全部真空系统密封圈, 检修全套设备大修完成后的设备性能应该接近全新设备。4 维护保养

14、真空系统较长时间以后，极限真空度下降，应进行对滑阀泵、罗茨泵、扩散泵进行检 修。必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修。泵不用时，应用橡皮塞把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。冷却水水压应保持MPMPa之间，出水温度W45C。压缩空气压力在Mpa之间。每次开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。经常检查设备各种仪表，保证完好；按照规定对仪表进行校验。设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把水冷 套内的循环水放掉。充入的保护性气体，纯度不应小于。机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把油放干净。

15、扩散泵换油时，内部如有氧化，把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气体。设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的 抹布擦拭。气动系统的气动三连件的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。设备的整机电压要保证在350V420 V范围内，三相要平衡。规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。设备工作时，注意观察仪表的显示情况及各泵的声音，以便及时发现异常找出问题。

16、设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10C40C。在拆修设备时各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。运行中的问题与对策问题原因解决方法1.油蒸汽返流至真空管路或1清洗泵后换符合要求的油系统中2清洗泵后换符合要求的油2.油蒸汽压不对3检查并更换截流阀真空管路或系统内返油3停泵时，油返流4.更换截流阀板4.截流阀板上的密封件损坏5更换抽气管路，修理密封5.抽气管路底部密封件腐蚀件或损坏1缺油1.加油系统工作时温度过高2.抽气口与排气口错误连接2抽气管线与抽气口连接3供油管线堵塞3断开泵连接，清洗并更换符合要求的油废气在泵附近泄漏烟尘或油雾过重油

17、颜色变深或浑浊5油泵中外来物堵塞6. 环境温度达到或超过油蒸汽压7. 油蒸汽压低于指标8. 工作气体温度过高1. 排气口 O型密封圈损坏2. 油箱表面密封垫损坏3. 泵体表面密封垫损坏1. 油量过多2. 气镇阀开启3滤油网损坏1. 油在肮脏工艺过程中受到污染2. 油不合适3. 油不足4.真空漏率过大5.清理油泵6降低环境温度并注意空气流通7. 更换符合要求的泵油8. 更改工艺或加冷却系统1. 更换新型密封圈2. 更换油箱表面密封垫3. 更换泵体表面密封垫1.减少油量2关闭气镇阀3.更换滤油网1.更换泵油或清洗2清洗后用规定的泵油3.加注足量泵油4修理泄漏处，或更换泵油5.工艺过程中含有腐蚀性、

18、5惰性保护气体不足危险性或放射性气体时必须加足量保护气体1.系统泄漏1修理部件停泵时系统中出现空气2.密封阀损坏2修理密封阀1.连接件损坏1.更换连接件2.缺油2.加油3.油泵磨损或损坏3修理或更换油泵异常噪音4叶片损坏4拆下油泵，更换叶片5排气阀板上无滤网5.加滤网6.电机轴承出现问题6.修理电机问题原因解决方法1.出油口密封圈磨损1.更换密封圈2.油封损坏或安装错误2更换新油封，检查进油管 线泵油消耗过多3. 油套损坏或腐蚀4. 进油口或出油口泄漏5泵体与油封间垫片泄漏3. 更换油套4. 更换新O型圈5. 更换垫片1.泵粘死1.拆泵修理2.泵油粘度过高2保持室温高于12C或换油泵不能启动3

19、.油泵磨损或外来物集聚3.更换损坏件或清理4.电机电压不符4.更换电机5.连线错误5.检杳并修理线路6.电机出错6.更换电机1.气镇阀开启1关闭气镇阀2.抽气管太细2.更换合适直径的抽气管3排气管直径小于排气口直3.更换合适直径的排气管径4.修理系统漏点泵达不到4.真空系统有泄漏处5修理主阀极限真空度5.系统主阀问题6使用符合规定的油6.油不合适7.换油或加油7.油被污染或油量太少8.拆开泵体维修8供油管堵塞9.更换油封9.轴上油封损坏10.拆下正确安装10. 挡板安装错误11. 排气阀破损12. 真空计损坏11. 更换排气阀12. 修理真空计排气速度太低1. 抽气与排气管直径太小或管长度太长

20、2. 油被污染3. 主阀破损4. 进气口滤网被堵塞5. 泵油不对6. 真空系统泄漏7. 泵指标低于系统要求1. 更换成符合要求管线2. 更换泵油3更换主阀4. 清洗滤网5. 更换成要求泵油6. 修理泄漏处7. 更换成满足要求泵1、新机操作系统:2、真空度：3、工件转动系统:4、烘烤系统：5、磁控靶:6、弧源:紧急情况处理5. 安全规范操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。操作人员在 设备的使用中，要严格执行设备的操作规程，杜绝违规操作。在设备的使用中，要严格遵守电气设施的使用管理制度，如有问题必须与电工或电气工程师取得联系。在运行中，如果出现故障，要按照正确的顺序进行停机，断掉电源，处理故障。在处理故障时，要两人以上进行配合，确保电源断开、有压力处泄压。经常检查并却保各安全防护装置的齐全、安全和有效。泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。注意不要用手直接接触靶水，应用温度计测量，防止烫伤。气瓶的使用要遵守压力容器管理制度。所有设备维护产生废油、废件等废弃物按照废水废液控制程序固体废物处理程序进 行处理。6. 形成文件无7. 相关文件废水废液控制程序固体废物处理程序设备点检管理制度压力容器管理制度起重机操作维护保养规程8. 形成记录真空机组日常记录表MS-040215/030401