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1、单晶炉技术说明书ZM451.03.SM14.设备的安装与要求4.1.设备安装环境本设备应在清洁、减震的工作环境中运行，应放置在专用的混凝土基础上，环境条件应选在恒 温、恒湿车间。也可在能与空气中粉尘、振动和冲击波隔离的较好环境中工作，地面应尽量平整， 并且有自然排水管孔，使回水能自然排放。突然的外界较强烈的冲击振动，有可能影响晶体的内在质量。因此，厂房应尽量选择在避开振 源的地方。当条件限制而不能避开时，则要做必要的隔振措施。其具体要求是：室温205C相对湿度W65%外界振源当大于10HZ时，振幅应小于0.003mm可腐蚀性气体尽量杜绝。本设备在氩气环境中工作，开炉时应通风使氩气扩散后再进行操
2、作，厂房应保持良好的通风 条件，防止氩气沉积。4.2 .冷却水源与排水本设备主体的进水共分3路，一路冷却主机下部各冷却部位，一路冷却主机上部，一路冷却电 缆及机械泵。水管与主机相连时，以软胶管连接，以防止振动干扰主机。排水相应地也有3路， 连接管路终端为开式管路，以免炉室及各冷却部分水压过大而造成管路变形，排水管如为多台共 用时，应为无压排水，总排水管应畅通无阻，水质应以软水质循环供水为好。其具体要求为：压力：0.10.2MPa流量：$20m3 /hPH值：79电阻值：104106Q/cm硬度：W8de氯离子：W10ppm铁离子：W0.1ppm进水温度：W25C本设备电源部分单独供水，要求水压
3、0.20.3MPa，水质要求同设备主体部分。编制校对批准更改数量更改单号签名日期更改数量更改单号签名日期单晶炉技术说明书ZM451.03SM第2页 共2页4.3. 电源电压：3 相 380V 10%,50HZ容量：230KVA/台配电盘开关容量为500A，配500A熔丝。厂房内不应有会对单晶炉机电系统正常运行造成不良影响的射电干扰和电磁干扰。建议用户为本设备的“热场加热电源驾己备谐波抑制装置，以利于提高电能利用效率，减少干 扰。4.4. 氩气源氩气应使用纯度$99.999%的氩气源，与设备连接部位应采用专用接口，管道为不锈钢材 料。其具体要求为：氩气纯度：99.999%氩气压力：0.050.2MPa氩气流量：100L/min氩气管道泄漏率：v0.01Pa/min4.5. 泵组系统泵与主机之间设置有电动阀及除尘器，中间用波纹管连接，以减少振动传递。泵与主机之间最好设隔断墙、并具备良好的废气排放及防污染工作环境。更改数量更改单号签字日期更改数量更改单号签字日期更改数量更改单号签字
七星单晶炉水电气技术要求
