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1、一、精细义务台概述 加工或丈量时承载被测零部件的平台。可以实现一个或多个方向的运动。在各个方向上的运动是独立的1、义务台的定义2、义务台的分类按义务台所实现运动轨迹在空间的位置来分，有一维义务台，二维义务台，三维义务台，甚至到六自在度 3、精细义务台的组成和分类4、精细义务台的用途 光刻机 .精细丈量.生物芯片技术 数控加工精细义务台是集精细位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术等多项技术为一体的有机综合体。在这些技术中，假设某一个方面得到改良或提高，将使精细义务台整体性能得到提高。二、精细义务台技术的开展概略 微纳米加工技术的开展，离不开精细义务台技术的开展和提高。主要表如今精度、速
2、度和行程等方面。在资料、丈量技术、驱动技术、控制技术等方面有了长足的提高，使义务台朝高精度、高速度、大行程的方向开展。1资料 2丈量技术 丈量手段主要有光栅丈量和激光干涉仪丈量。目前光栅丈量的分辨率可到达纳米量级，丈量精度为土0.01um，丈量范围为100mm。可实现非接触丈量。3.驱动技术 驱动技术直接决议了义务台的速度、精度、行程和整个设备的效率。驱动技术有间接驱动和直接驱动两种方式。间接驱动方式是驱动元件经过传动机构驱开义务台。这种方式存在的缺陷是：传动链较长，系统构造复杂，附加惯量大，刚度低，而且零部件的弹性变形会影响精度，此外，由于摩擦磨损将导致精度渐变等。驱动元件常采用直流伺服电机
3、、交流伺服电机，有时也采用步进电机。直接驱动方式：即利用电机直接驱开义务台，取消电机到义务台之间的传动环节，使传动链缩短为零，实现“零传动。与间接驱动方式相比，直接驱动方式更易于实现高速度和高加速度的运动，同时再配合高精度的导轨就可以实现亚微米和纳米级的定位精度。直接驱动元件有：直流无刷力矩电机、电磁式直线电机和压电直线电机。4.直线导向技术 导轨在义务台中起着承载和导向的作用，决议着义务台的导向精度、运动轨迹，直接影响着设备的作图精度。常用的导轨有滑动导轨、滚动导轨和静压导轨三种。此外，还有两种新型导轨：柔性铰链和悬浮导轨。5控制技术 计算机数字控制方式。控制系统主要由主控制系统、运动指令给定系统和位置伺服控制系统等组成。精细义务台的控制方式多采用闭环控制。三、精细义务台的构外型式 1、平面单层式构造机械式气浮式 气浮式 2、双层构造 3、大行程纳米级精细义务台的实现 4、回转义务台的实现四、精细义务台的设计 1、精细回转义务台技术要求有效负载：不小于4Kg；台面尺寸：不小于300mm；速率范围：0.1/s18000/s；速率控制精度：0.1/s0.5%；速率丈量精度：高于0.1/s；最大加速度值：18000/s2；位置控制精度：不低于0.02。L 3600Larctg
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