表面电阻计量标准技术报告

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1、 计量标准技术报告 计 量 标 准 名 称 表面电阻测试仪校准装置 计 量 标 准 负 责 人 姜 山 建标单位名称（公章） 宿迁市计量测试所 填 写 日 期 目 录一、 建立计量标准的目的（ ）二、 计量标准的工作原理及其组成（ ）三、 计量标准器及主要配套设备（ ）四、 计量标准的主要技术指标（ ）五、 环境条件（ ）六、 计量标准的量值溯源和传递框图（ ）七、 计量标准的重复性试验（ ）八、 计量标准的稳定性考核（ ）九、 检定或校准结果的测量不确定度评定（ ）十、 检定或校准结果的验证（ ）十一、 结论 （ ）十二、 附加说明 （ ） 一、建立计量标准的目的 为了满足我市对表面电阻测试

2、仪的校准需求，保证其量值的准确可靠，我所特申请建立该项目的校准装置二、计量标准的工作原理及其组成将表面电阻测试仪放入屏蔽装置中接入可调式高阻箱,调节高阻箱电阻值,使表面电阻测试仪显示对应的电阻值或停留在对应的LED灯上，从可调式高阻箱上读出电阻表示值对应的电阻值。从而确定被检表面电阻测试仪的示值误差。被测物LEG+-接地电阻表检定装置屏蔽装置三、选用的计量标准器及主要配套设备计 量 标 准 器名 称型 号测量范围不确定度或准确度等级或最大允许误差制造厂及出厂编号检定或校准机构检定证书号兆欧表检定装置ZX119-10电阻：0.011012电压：010000V电阻：0.22.0级电压：（1%RD+

3、2D）镇江市计量实验工厂江苏省计量科学研究院 主 要 配 套 设 备 主 要 配 套 设 备游标卡尺0-150mm0150mm0.02mm哈尔滨量具刃具厂1792宿迁市计量测试所耐压测试仪CC2672电压：0-5kV，电流：0-200mA,时间：0-99s5级南京长创科技有限公司04180宿迁市计量测试所兆欧表ZC25-30500M10级杭州征达仪器仪表有限公司宿迁市计量测试所电子天平LE6202S06200gII级Sartorius宿迁市计量测试所四、计量标准的主要技术指标电阻输出相关技术参数如表1：表1步进盘档位（）10210310410510610710810910101011步进盘位数

4、10101010101010101010准确度%0.20.20.20.20.20.51222电压测量相关技术参数如表2：表2量程（V）自动量程（四位半直读显示）测量范围0V1999.9V10000V最大允许误差（1%RD+2D）五、环境条件序号项目要 求实际情况结论1温度20523合格2湿度40%60%50%合格六.计量标准的量值溯源和传递框图上一级计量器具高压高阻检定装置测量范围： 电阻：1021012 M 电压：05000V准确度等级：电阻：0.052级 电压：0.1级保存机构：江苏省计量测试所 直接法本本级计量器具比较法计量标准名称:：表面电阻测试仪校准装置准确度等级：电阻：0.22.0

5、级电压：（1%RD+2D）测量范围：电阻：0.011012电压：010000V下一级计量器具计量器具名称:：表面电阻测试仪准确度等级：2.0级及以下测量范围：01012七、计量标准的重复性试验M选取一被检表面电阻测试仪在该装置正常工作的条件下，等精度重复测量106上限点10点，各次测量值如下（单位M）序号测量值U 213.190.0040.23.200.0140.33.18-0.0060.43.18-0.0060.53.190.0040.63.190.0040.73.18-0.0060.83.18-0.0060.93.18-0.0060.103.190.0040.3.186小于测量不确定度评定

6、中所采用的重复性数据，符合JJF1033-2008要求。八、计量标准的稳定性考核根据要求,在规定时间内对一台性能稳定的表面电阻测试仪，在106上限这一点，测量10次，每次测量间隔均大于1个月,测量日期和结果如下:（M） 时间测量值序号2014年8月 2014年9月 2014年10月13.193.193.1923.203.183.1933.183.173.1943.183.183.1753.193.183.1763.193.193.1773.183.193.1883.183.193.1893.183.183.18103.193.183.19 3.1863.1833.181 Pmax = 3.18

7、6 Pmin =3.181 |Pmax-Pmin|= 0.005M MPE =0.00637M 测量结果平均值的最大值减去最小值小于计量标准的扩展不确定度九、检定或校准结果的测量不确定度评定1 概述1.1测量依据：依据JJF1285-2011表面电阻测试仪校准规范1.2环境条件：要求 室温205oC, 相对湿度（4060）%。1.3测量标准：表面电阻测试仪校准装置。1.4测量对象：2.0级以下表面电阻测试仪。1.5测量方法：采用直接法2.数学模型 式中：R被检表的标准值； R0标准装置的指示值；Em被表示值与接地电阻仪检定装置的差值。3标准不确定度分量的评定3.1输入量R产生的标准不确定度分量

8、u1评定输入量R标准不确定度分量u1的来源主要是被检表的测量不重复引起的，采用A类评定方法。取一台ACL380被检表对其109的上限点，连续独立测量10次，得到测量列为：单位：G序号123456789105.195.185.185.185.195.195.185.175.185.18 G单次实验标准差：G实际测量中是取3次测量的平均值，故G以相对误差的形式表示7.0410-43.2输入量R0产生的标准不确定度分量u2输入量Ro产生的标准不确定度分量，主要由表面电阻测试仪校准装置误差引起的不确定度分量u(Rn)，采用B类方法进行评定，该装置经上级检定合格，制造厂说明书给出109示值最大误差为2.

9、0%，在区间内为正态分布，p=99%，k=2.58,则有 u2=a1/k1=2.0%/2.58=7.75-33.3由测量系统，环境条件等其他因素引起的测量不确定度分量u3经实验得出的结论是湿度对于表面电阻的高电阻测量影响显著，电阻值随湿度的增加而减小且变化非线性，我所恒温恒湿实验室的湿度变化可控制在2%RH内，引入的误差为2.0%，在区间内均匀分布，k=，则有 u3=1.0%/=5.7710-34 合成标准不确定度评定9.6910-35 扩展不确定度的确定及表示取置信概率P=95%，查t分布表得包含因子k取2扩展不确定度U为 Urel = k u c=29.6910-3=1.910-2（k=2）十、检定或校准结果的验证 取一台表面电阻测试仪经自检，测得一组数据与兄弟所（同级标准）测得一组数据比对，结果如下： 标称值Y本级计量标准测量的结果(Y1)修正值上级或同级计量标准测量的结果(Y0)修正值比对结果之差的绝对值Y1-Y0106上限0.030.050.02比对结果均符合 Y1-Y0U上述测量结果表明，符合JJF1285-2011要求。十一、结论经过上述对计量标准的测量重复性、稳定性进行考核以及测量不确定度的分析、评定及验证，认为本计量标准符合国家计量检定系统表和表面电阻测试仪校准规范，可开展表面电阻测试仪的校准。十二、附加说明