等离子体基本原理ppt课件

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1、认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目等离子体应用技等离子体应用技术术认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目参考教材：参考教材：1.等离子体技术与应用等离子体技术与应用 许根慧等许根慧等 化学工业出版社化学工业出

2、版社2.等离子体技术及应用等离子体技术及应用 赵青赵青 刘述章刘述章 童宏辉童宏辉 国防工业出版社国防工业出版社认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目目录目录等离子体基本原理等离子体基本原理等离子体的化学行为等离子体的化学行为等离子体发生技术等离子体发生技术介质阻挡放电等离子体技术与应用介质阻挡放电等离子体技术与应用电晕和辉光放电等离子体技术与应用电晕和辉光放电等离子体技术与应用微波放电等离子体技术与应

3、用微波放电等离子体技术与应用等离子体在薄膜制备中的应用等离子体在薄膜制备中的应用等离子体在高分子化学中的应用等离子体在高分子化学中的应用等离子体显示技术等离子体显示技术等离子体在隐身技术中的应用等离子体在隐身技术中的应用等离子体应用技术进展等离子体应用技术进展认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目霓虹灯霓虹灯认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经

4、展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目太阳等离子体喷流太阳等离子体喷流认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目电晕放电实例电晕放电实例认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对

5、扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目部分气体辉光放电的颜色部分气体辉光放电的颜色GasCathode LayerNegative GlowPositive ColumnHeNe(neon)ArKrXeH2N2O2Airredyellowpink-red-brownpinkredpinkpinkorangedark-bluegreenorange-greenthin-blueblueyellow-whiteblueRed-pinkred-browndark-redblue-purplewhite-greenpinkred-yellowred-yellowred-yellow认

6、识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目介质阻挡放电（介质阻挡放电（DBD）认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目 滑动电弧放电等离子体滑动电弧放电等离子体 认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病

7、除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目激光激光认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目第一章第一章 等离子体基本原理等离子体基本原理1.1 等离子体概念：等离子体概念：由大量的带电的正粒子、负粒子（其中包括正由大量的带电的正粒子、负粒子（其中包括正离子、负离子、电子、自由

8、基和各种活性基团等）组成的集合体，离子、负离子、电子、自由基和各种活性基团等）组成的集合体，其中正电荷和负电荷电量相等，故称等离子体。其中正电荷和负电荷电量相等，故称等离子体。注意：注意：q非束缚性：非束缚性：异类带电粒子之间相互异类带电粒子之间相互“自由自由”，等离子体的，等离子体的基本粒子元是正负荷电的粒子（电子、离子），而不是其基本粒子元是正负荷电的粒子（电子、离子），而不是其结合体。结合体。q粒子与电磁场的不可分割性：粒子与电磁场的不可分割性：等离子体中粒子的运动与电等离子体中粒子的运动与电磁场（外场及粒子产生的自洽场）紧密耦合，不可分割。磁场（外场及粒子产生的自洽场）紧密耦合，不可分

9、割。q集体效应起主导作用：集体效应起主导作用：等离子体中相互作用的电磁力是长等离子体中相互作用的电磁力是长程的。程的。认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目1.1.1 等离子体存在处：等离子体存在处：宇宙中宇宙中90物质处于等离子体态。由地球表面物质处于等离子体态。由地球表面向外，等离子体是几乎所有可见物质的存在形式向外，等离子体是几乎所有可见物质的存在形式，它与众所周知的物质三态也就是气态、液态、，它

10、与众所周知的物质三态也就是气态、液态、固态并列称为物质的第四态固态并列称为物质的第四态,即等离子体态。如大即等离子体态。如大气外侧的气外侧的电离层电离层、日地空间的、日地空间的太阳风、太阳日冕太阳风、太阳日冕、太阳内部、星际空间、闪电、极光、星云及星、太阳内部、星际空间、闪电、极光、星云及星团团，毫无例外的都是等离子体。，毫无例外的都是等离子体。认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目什么保护了地球：等离

11、子体什么保护了地球：等离子体空间天体等离子体空间天体等离子体认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目北极光北极光空间天体等离子体空间天体等离子体认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目逃离太阳的等离子体逃离太阳的等离

12、子体 空间天体等离子体空间天体等离子体认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目星系：巨大的聚变反应堆星系：巨大的聚变反应堆 空间天体等离子体空间天体等离子体认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目密度密度(cm-3)

13、温度温度(度度)太阳核心太阳核心 磁约束磁约束聚聚 变变霓虹灯霓虹灯 北极光北极光 火火 焰焰闪电闪电日冕日冕 氢弹氢弹星际空间星际空间荧光荧光气体气体液液 体体固固 体体人类居住环境人类居住环境惯性聚变惯性聚变星星 云云太阳风太阳风等离子体参数空间等离子体参数空间认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目地球上，人造的等离子体也越来越多地出现在我们的周围。地球上，人造的等离子体也越来越多地出现在我们的周围

14、。日常生活中：日常生活中：日光灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发日光灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发生器生器 典型的工业应用：典型的工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理 高技术应用：高技术应用：托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率微波器件、离子源、强流束、飞行器鞘套与尾迹微波器件、离子源、强流束、飞行器鞘套与尾迹认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，

15、然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目核聚变反应核聚变反应聚变等离子体聚变等离子体D+T=n+4HeD+T=p+3He认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目实现聚变的三种途径实现聚变的三种途径聚变等离子体聚变等离子体认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下

16、药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目托卡马克装置托卡马克装置(JET)聚变等离子体聚变等离子体认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目美国激光聚变装置美国激光聚变装置认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视

17、，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目美国国家点火（美国国家点火（NIF）激光聚变装置）激光聚变装置认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目激光聚变电站激光聚变电站认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目神光神光I

18、I、星光、星光II激光聚变装置激光聚变装置认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目1.1.2 等离子体是物质第四态等离子体是物质第四态固体固体 冰冰液体液体 水水气体气体 水汽水汽等离子体等离子体 电离气体电离气体温度温度00C1000C100000C认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药

19、到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目放电是使气体转变成等离子体的一种常见形式放电是使气体转变成等离子体的一种常见形式普通气体普通气体等离子体等离子体放电放电需要有足够的电离度的电离气体才具有等离子体需要有足够的电离度的电离气体才具有等离子体性质。性质。“电性电性”比比“中性中性”更重要更重要 (电离度电离度 10-4)认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目1.2

20、等离子体特征等离子体特征1.2.1 等离子体的整体特征等离子体的整体特征 等离子体是一种导电流体。等离子体是一种导电流体。对于洛仑兹等离子体，把等离子体看作微观粒子对于洛仑兹等离子体，把等离子体看作微观粒子的集合，可以把等离子体的整体导电率的集合，可以把等离子体的整体导电率写为写为21ee cee nm v认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目 对于电子只与每个电荷数均为对于电子只与每个电荷数均为z的带

21、电粒子碰撞的的带电粒子碰撞的情况，等离子体整体电导率情况，等离子体整体电导率s为为 为库仑对数，为库仑对数，23 21 20251.6()()lnesekTe zmln3 20231 212()lnlneekTz e n 认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目在等离子体在等离子体内部内部，正、负电荷数几乎相等，正、负电荷数几乎相等准中性准中性 ne ni 1.2.2 等离子体的准电中性等离子体的准电中性

22、认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目 就等离子体本身而言，它具有变成为电中性的强烈就等离子体本身而言，它具有变成为电中性的强烈倾向，故离子和电子的电荷密度几乎相等，此种情况称倾向，故离子和电子的电荷密度几乎相等，此种情况称为准中性，是带相反电荷粒子间的强电作用的结果。为准中性，是带相反电荷粒子间的强电作用的结果。等离子体中电荷分离仅可能由外加电场或等离子体等离子体中电荷分离仅可能由外加电场或等离子体本

23、身的内能（热能）来维持，可由等离子体动力学温度本身的内能（热能）来维持，可由等离子体动力学温度维持的对电中性的最大偏离估算出来。维持的对电中性的最大偏离估算出来。一个密度几乎相等，每立方米一个密度几乎相等，每立方米n0个粒子的电子和单个粒子的电子和单电荷正离子构成的含能等离子体，在半径为电荷正离子构成的含能等离子体，在半径为r的球形区域的球形区域内，此体积内的静电能由其所包围的剩余电荷量决定，内，此体积内的静电能由其所包围的剩余电荷量决定，此球表面的静电位为：此球表面的静电位为：rQV04认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识

24、到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目 Q=e Q=en n，为球内静电荷，其中，为球内静电荷，其中e e为电子电荷，此时球表为电子电荷，此时球表面的静电位为面的静电位为被推进净负电荷小球区域的一个电子所得到的能量可由被推进净负电荷小球区域的一个电子所得到的能量可由上式的静电位乘以电荷得到：上式的静电位乘以电荷得到：此能量仅来自与有限的动力学温度此能量仅来自与有限的动力学温度T有关的动能有关的动能可得到与电中性的相对偏离：可得到与电中性的相对偏离：320043()43nnrer eVVr2203nr eUe

25、V1122UKTeT02032nTner n认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目在等离子体中引入电场，经过一定的时间，等离子体中在等离子体中引入电场，经过一定的时间，等离子体中的电子、离子将移动，屏蔽电场的电子、离子将移动，屏蔽电场德拜屏蔽德拜屏蔽屏蔽层厚度：德拜长度屏蔽层厚度：德拜长度 D特征响应时间：特征响应时间：p D/vT1.2.3 等离子体鞘层等离子体鞘层认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开

26、始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目德拜屏蔽鞘层德拜屏蔽鞘层n 静电势满足静电势满足 Poisson 方程：方程：20eiennn 设想在等离子体中插入一电极，试图在等离子体中建立电场设想在等离子体中插入一电极，试图在等离子体中建立电场电子将向电极处移动，离子则被排斥，电极所引入的电场仅局限电子将向电极处移动，离子则被排斥，电极所引入的电场仅局限在较小尺度的在较小尺度的“鞘层鞘层”中中n 热平衡时电子、离子密度满足热平衡时电子、离子密度

27、满足 Boltzmann 分布：分布：n 当当 ，有，有1101518cm-3稀薄等离子体稀薄等离子体n101214cm-31.4 等离子体分类等离子体分类认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目按热力学平衡分类按热力学平衡分类完全热力学平衡等离子体（高温等离子体）完全热力学平衡等离子体（高温等离子体）例如：太阳内部，核聚变和激光聚变例如：太阳内部，核聚变和激光聚变局部热力学平衡等离子体（热等离子体）局部

28、热力学平衡等离子体（热等离子体）例如：电弧等离子体，高频等离子体例如：电弧等离子体，高频等离子体非热力学平衡等离子体（冷等离子体）非热力学平衡等离子体（冷等离子体）例如：电晕放电，辉光放电，火花放电例如：电晕放电，辉光放电，火花放电 介质阻挡放电，微波放电及射频介质阻挡放电，微波放电及射频 放电等放电等冷等离子体冷等离子体TeTi，Tg热等离子体热等离子体Te=Ti，Tg10000oC1eV低低 温温等离子体等离子体高高 温温等离子体等离子体聚变、太阳核心聚变、太阳核心按热力学平衡分类按热力学平衡分类完全热力学平衡等离子体（高温等离子体）完全热力学平衡等离子体（高温等离子体）例如：太阳内部，核

29、聚变和激光聚变例如：太阳内部，核聚变和激光聚变局部热力学平衡等离子体（热等离子体）局部热力学平衡等离子体（热等离子体）例如：电弧等离子体，高频等离子体例如：电弧等离子体，高频等离子体非热力学平衡等离子体（冷等离子体）非热力学平衡等离子体（冷等离子体）例如：电晕放电，辉光放电，火花放电例如：电晕放电，辉光放电，火花放电 介质阻挡放电，微波放电及射频介质阻挡放电，微波放电及射频 放电等放电等电弧、碘钨灯电弧、碘钨灯极光、日光灯极光、日光灯电晕放电等离子体电晕放电等离子体DBD等离子体等离子体认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到

30、了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目1.5 等离子体的应用等离子体的应用等离子体的应用等离子体的应用等离子体化学等离子体化学等离子体工程：研究等离子体的发生以及等等离子体工程：研究等离子体的发生以及等 离子体发生装置的学科离子体发生装置的学科等离子体物理等离子体物理等离子体环境方面的应用等离子体环境方面的应用等离子体生物方面的应用等离子体生物方面的应用磁流体动力学磁流体动力学电流体动力学电流体动力学微电子中的等离子体过程微电子中的等离子体过程等离子体强化化学气相沉积等离子体强化化学气相沉积无机物等离子体沉积

31、及硬覆盖无机物等离子体沉积及硬覆盖等离子体化学合成等离子体化学合成等离子体溅射及材料加工等离子体溅射及材料加工等离子体源等离子体源等离子体辅助燃烧等离子体辅助燃烧认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目等离子体物理发展简史等离子体物理发展简史19世纪世纪30年代起年代起 放电管中电离气体，现象认识放电管中电离气体，现象认识 建立等离子体物理基本理论框架建立等离子体物理基本理论框架20世纪世纪50年代起年代

32、起 受控热核聚变受控热核聚变 空间技术空间技术 等离子体物理成为独立的分支学科等离子体物理成为独立的分支学科20世纪世纪80年代起年代起 气体放电和电弧技术发展应用气体放电和电弧技术发展应用 低温等离子体物理发展低温等离子体物理发展认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目等离子体化学发展简史等离子体化学发展简史n等离子体化学源自等离子体化学源自18世纪世纪n1758年火花放电产生臭氧年火花放电产生臭氧n1

33、785年利用气体放电制备了氧化氮年利用气体放电制备了氧化氮n20世纪世纪60年代，利用等离子体技术实现了许多前年代，利用等离子体技术实现了许多前所未有的化学反应，形成了低温等离子体化学，所未有的化学反应，形成了低温等离子体化学，在半导体材料、表面刻蚀、薄膜制备方面取得瞩在半导体材料、表面刻蚀、薄膜制备方面取得瞩目的成绩。目的成绩。认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目 如何获得拥有不同电子密度及电子温度

34、的、大范如何获得拥有不同电子密度及电子温度的、大范围均一的等离子体区域，是目前等离子体工程所面临围均一的等离子体区域，是目前等离子体工程所面临的主要问题。的主要问题。认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目1.5.1 等离子体物理研究领域等离子体物理研究领域低温应用等离子体低温应用等离子体高温聚变等离子体高温聚变等离子体空间和天体等离子体空间和天体等离子体认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然

35、后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目冷等离子体应用冷等离子体应用等离子体的化学过程等离子体的化学过程刻蚀刻蚀化学气相沉积（成膜）化学气相沉积（成膜）等离子体材料处理等离子体材料处理表面改性表面改性表面冶金表面冶金光源光源冷光源（节能冷光源（节能）认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精

36、准扶贫精准扶贫”项目项目毫米级厚金刚石片制备研究毫米级厚金刚石片制备研究纯金刚石片纯金刚石片（直径（直径30mm）半透纯金刚石半透纯金刚石热沉片热沉片10 x10 mm2 带带Si衬底的金刚石厚膜衬底的金刚石厚膜认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目纳米尺度上纳米尺度上针尖状表面针尖状表面特征类金刚石表面制造特征类金刚石表面制造纳米尺度上纳米尺度上波纹状表面波纹状表面树枝状表面树枝状表面大面积正弦表面大

37、面积正弦表面认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目等离子体军事及高技术应用等离子体军事及高技术应用军事应用军事应用等离子体天线、等离子体隐身、等离子体减阻、等离子体等离子体天线、等离子体隐身、等离子体减阻、等离子体鞘套、等离子体诱饵鞘套、等离子体诱饵高技术高技术大功率微波器件、大功率微波器件、X射线激光、强流束技术、等离子体推射线激光、强流束技术、等离子体推进进返回返回认识到了贫困户贫困的根本原因，才能

38、开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目热等离子体应用热等离子体应用高温加热高温加热冶金、焊接、切割冶金、焊接、切割材料合成、加工材料合成、加工陶瓷烧结、喷涂、三废处理陶瓷烧结、喷涂、三废处理光源光源强光源强光源返回返回认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫

39、”项目项目无线电波在电离层的反射无线电波在电离层的反射截止层：截止层：f =fc =9 ne1/2 返回返回认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目总总 结结等离子体科学涵盖了受控热核聚变、低温等离子体物理及应用、国等离子体科学涵盖了受控热核聚变、低温等离子体物理及应用、国防和高技术应用、天体和空间等离子体物理等分支领域。防和高技术应用、天体和空间等离子体物理等分支领域。等离子体科学在能源、材料、信息、环

40、保、国防、微电子、半导体等离子体科学在能源、材料、信息、环保、国防、微电子、半导体、航空、航天、冶金、生物医学、造纸、化工、纺织、通讯等领域、航空、航天、冶金、生物医学、造纸、化工、纺织、通讯等领域有广泛的应用。有广泛的应用。等离子体研究领域对人类面临的能源、材料、信息、环保等许多全等离子体研究领域对人类面临的能源、材料、信息、环保等许多全局性问题的解决具有重大意义。局性问题的解决具有重大意义。认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开

41、了“精准扶贫精准扶贫”项目项目 等离子体辅助加工被用来制造特种优良性能的新材料、研制新的化学物等离子体辅助加工被用来制造特种优良性能的新材料、研制新的化学物质和化学过程，加工、改造和精制材料及其表面，具有极其广泛的工业质和化学过程，加工、改造和精制材料及其表面，具有极其广泛的工业应用应用-从薄膜沉积、等离子体聚合、微电路制造到焊接、工具硬化、超从薄膜沉积、等离子体聚合、微电路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等离子体喷涂、等离子体冶金、等离子体化工、微波源。微粉的合成、等离子体喷涂、等离子体冶金、等离子体化工、微波源。等离子体辅助加工已开辟的和潜在的应用领域包括：等离子体辅助加工已开辟的和潜

42、在的应用领域包括：半导体集成电路及其它微电子设备的制造半导体集成电路及其它微电子设备的制造工具、模具及工程金属的硬化工具、模具及工程金属的硬化 药品的生物相溶性包装材料的制备药品的生物相溶性包装材料的制备表面防蚀及其它薄层的沉积表面防蚀及其它薄层的沉积特殊陶瓷（包括超导材料）特殊陶瓷（包括超导材料）新的化学物质及材料的制造新的化学物质及材料的制造金属的提炼金属的提炼聚合物薄膜的印刷和制备聚合物薄膜的印刷和制备有害废物的处理有害废物的处理焊接焊接磁记录材料和光学波导材料磁记录材料和光学波导材料精细加工精细加工照明及显示照明及显示电子电路及等离子体二极管开关电子电路及等离子体二极管开关等离子体化工

43、等离子体化工(氢等离子体裂解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体氢等离子体裂解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体裂解重烃、等离子体制炭黑、等离子体制电石等裂解重烃、等离子体制炭黑、等离子体制电石等)认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫精准扶贫”项目项目对上述某些部分领域的目前潜在市场估计：对上述某些部分领域的目前潜在市场估计：半导体工业约为半导体工业约为260260亿美元亿美元等离子体电子学约为等离子体电子学约为400400亿美元亿美元工具及模具硬化约为工具及模具硬化约为2020亿美元亿美元作记录和医用聚合物薄膜领域约为几十亿美元的市场作记录和医用聚合物薄膜领域约为几十亿美元的市场对一些新的有活力的市场估计：对一些新的有活力的市场估计：金属腐蚀防护约为金属腐蚀防护约为500500亿美元亿美元优质陶瓷约为优质陶瓷约为5050亿美元亿美元 在废物处理、金属提练、包装材料及制药业中的应用在废物处理、金属提练、包装材料及制药业中的应用约为几十亿美元市场。约为几十亿美元市场。