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1、上一页 回首页 下一页 回末页 回目录 第 六 章 激 光 在 精 密 测 量 中 的 应 用 6. 1 激 光 干 涉 测 长 6.1.1 干涉测长的基本原理 1. 激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪 ,如图 6-1示 ,用干涉条纹来反 映被测量的信息。两束光的光程差可以表示为 j M J j N i ii lnln 11 图 6-1 激光干涉测长仪的原理图 2NL 2.被测长度与干涉条纹变化的次数和干涉仪所用光源波长之间的关系是 3.从测量方程出发可以对激光干涉测长系统进行基本误差分析 NLNNLL 即 上一页 回首页 下一页 回末页 回目录 第 六 章 激 光 在 精 密 测 量
2、 中 的 应 用 6. 1 激 光 干 涉 测 长 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 1. 除了迈克尔逊干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源，可移动平台， 光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。 2.迈克尔逊干涉仪是激光干涉测长系统的核心部分，其分光器件、反射器件和总 体布局有若干可能的选择。 3. 移相器也是干涉仪测量系统的重要组成部分。常用的移相方法有机械移相（图 6-4），翼形板移相，金属膜移相和偏振法移相。 图 6-4 机械法移相原理图 上一页 回首页 下一页 回末页 回目录 第 六 章 激 光 在 精 密 测 量 中 的 应 用 6. 1 激 光 干 涉 测 长 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 7.干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差 /2的干涉条纹的光强信号，该信号 经放大，整形，倒向及微分等处理 ,可以获得四个相位依次相差 /2的脉冲信号 （图 6-5）。 图 6-5 判向计数原理框图 上一页 回首页 下一页 回末页 回目录 第 六 章 激 光 在 精 密 测 量 中 的 应 用 6. 1 激 光 干 涉 测 长 6.1.3 激光干涉测长的其它方法 1. 第三反射镜系统的激光干涉测长仪 图 6-6 第三反射镜系统仪的激光干涉 2.利用两个激光器输出的两束激光的干涉来测量非常微小的移动的测量装置。 图 6-7 利用两束激光的干涉测量微小移动
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