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1、Shenzhen S.C Exact Equipment Co., LtdPECVD设备存在的问题一、净化台推舟部分1、平移堵转，运行不顺畅：故障原因：A ：平移导轨运行不顺畅（导轨时间长了要上油，但不易过多，因为防止润滑油滴至到净化台下面的电器接线上，造成线路短路。B：平移电机电流过小（加大电流）C：平移电机接线松动（建议平移电机上的连接线全部换成细小的电线，因 为电机上的接头小，但线头多，电线又粗，这样接线容易造成虚接、断路。D：桨上有舟时，桨平移运行时，有抖动的现象2、平移马达连接障碍：故障原因：A：平移马达皮带轮松动（由于皮带轮松动，桨在回后限位时有一种运动 惯性，这时电机拉不住平移桨
2、座，所以平移就很容易冲到了后极限位。建议更换好一点的皮带轮，因为皮带轮上的那个“几米”小螺丝很容易 滑丝。B：电机连接线松动（平移电机上的接线端口都是自带的，孔好小，但线粗 又多，容易造成虚接及断路，建议更换小号的电线连接。3、桨下垂现象：设备运行长时间后，碳化硅桨由于承受石墨舟的取、放舟时的重力和在高温环境下的使 用，发现桨的前端会有下垂的现象，有时严重会出现磨石英管壁（提议对碳化硅桨座进行硬 件改进，加大桨座对桨的一个支点力。；4、上、下马达光电遮光片：由于我们后来的程序添加了保护步骤，对于带机械手的PECVD，在取、放舟时，上下马 达必须是在上限位，但有时光电遮光片会遮不住光电，导致上限
3、位达不到OK”状态，最终 机械手是不会取、放舟（我们的设备上安装的遮光片上的那个角大部分是个弧形的，因为光电传感器它是一个感 光元件，必须全部遮住红外三极管之间的通信，所以建议遮光片上的角在加工时都改成直角的。二、炉门故障1、炉门松动：炉门长时间进行反复开、关状态，会出现松动的故障，最终导致真空压力报警，其实最主 要的原因来之于炉门固定螺丝，因为螺丝太细小，支撑不住那重重的炉门（建议更换炉门固定 螺丝，把那三个支撑的螺丝加粗，在关炉门时，为了减少炉门对支撑杆的冲击力，我们应把炉 门转动关的CDA的压力调小一些）2、炉门平移不顺畅：炉门平移气缸两根滑轨不在同一水平上，最终导致炉门在开关时运行不顺
4、畅，有时滑轨上 平移气缸螺丝松动了不好拧紧（建议废气室的侧板不应全封闭死，应设计一个可拆卸的门 板，方便调节炉门气缸的水平和拧紧里面的螺丝。三、机械手机械手运行状况比以前是要稳定多了，但是机械手机械部件上还是存在些许的问题：1、机械手一轴丝杆：运行时噪音比较大，经常会出现“吱吱”的声音（有时的原因是固定螺丝松动了，定期要 给丝杆导轨上打上润滑油）2、机械手手抓：机械手在上舟的时候，有时小车上的台面位置不正，然而导致机械手抓石墨舟时会抓偏， 我们机械手虽然每边手抓上都有个舟检测，但每个手抓上只有一个有舟检测开关，有时石墨舟 的位置偏了，但石墨舟还是会把两个检测点都压下去了，这样机械手还是会运行，
5、这样的情况 是存在很大的安全隐患，建议在每个手抓上多加一个检测开关。3、伺服电机报警：故障原因 A：伺服放大器某根连接线松动（建议更改伺服放大器的连接线，也应更换成 小号的电线，在与伺服电机连接处不要用公母线插，最好搞成直接用烙铁牢， 更改伺服放大器的安装位置，将其安装至侧旁，这样在盖门板时就不会压到 伺服放大器的连接线。B：伺服放大器故障（有时伺服电机与伺服放大器型号安装错误，比如：A4 电机用了 A5的放大器，有时是伺服放大器设置上的错误。四、小车小车推起来真的很费劲，这是客户对我们小车的评价！A：小车车轮：应更换材质硬一点的车轮，减少与地面的摩擦。B：小车的重量：其实小车不应该做的那么笨重，下面的那些厚钢板底座应该把它改薄一点, 减轻小车本身的重量，推起来就没有那么费劲了。C：小车台面：小车台面下的调节螺丝和减震器容易松动，最终导致小车台面左右不在统一 水平，建议增加一些固定硬件，一面小车台面在旋转时松动。工程课：聂灵敏2010年11月23日
PECVD设备存在的问题
