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1、直拉单晶工艺试卷一、填空题 1. 自然界的物质通常以三种形态存在：固体、液体和气体。根据物质粒子排列结构，物质又可以分为晶体和非晶体。而晶体又可以分为单晶和多晶。2.硅晶体是金刚石结构，晶胞是正方体。单位晶胞占有的原子数为 8 个，原子配位数为3.晶体具有规则的外形，一定的熔点和各向异性。4. 人工制取单晶过程中，有时发生晶变就可能生成孪晶或者多晶。5.（100）晶面生成的单晶具有 4 条棱线6.熔化是指指固体变成液体的过程，凝固，也称结晶，与熔化相反，是液体向固体晶体转化的过程。7.液体必须有一定的过冷度，结晶才能自发进行。8.拉速的设定是逐渐下降的。9.温校曲线的设定规律是降温恒温升温升温
2、渐快。10.晶体学中，通过晶体中原子中心的平面叫作晶面 ，而晶向是晶面的垂直方向。11.晶体生长时，晶面指数不一样，生长速度不一样。12.晶粒之间的界限，称为晶界。二、单项选择题1. 下面四种硅单晶冷却曲线中，哪种过冷度是错误的 （C）2.固体变为液体的过程是（A）A 熔化 B气化 C 升华 D凝固3.液体变为固体的过程是（D）A 熔化 B气化 C 升华 D凝固4.下面那中硅片是单晶硅片（A）A B三、多项选择题1.硅晶体是（AB）A 金刚石结构 B正方体晶胞结构 C四面体晶胞结构 2.晶体具有（ABC）A 规则的外形 B一定的熔点 C各向异性 D各向同性3.晶体和非晶体的区别是（）A 晶体具
3、有规则的外形，非晶体没有规则的外形。B 晶体具有一定的熔点，非晶体没有确定的熔点C晶体没有确定的熔点，晶体具有一定的熔点D晶体的各向异性，非晶体在各个方向上的性质相同。三、判断题1.晶体具有一定的熔点。对2.硅单晶具有一定的熔点，硅多晶没有一定的熔点。3.硅单晶具有规则的外形，硅多没有规则的外形。4. 熔体过冷是自发结晶的必要条件。对5.单晶硅片有很多晶粒，晶粒之间具有明显的晶界。6.多晶硅片有很多晶粒，晶粒之间具有明显的晶界，由于晶向各不相同，呈现出深浅不用的色差。对7.熔化也就是指固体变成液体的过程。对四、简答题1.画出直拉单晶硅工艺流程图。2.设坩埚外径为508mm、壁厚10mm，当拉制
4、晶体直径为8”时，试问埚跟比应为多少？若转肩时拉速为1.6mm/min，那么埚跟速度为多少？答： 8”=25.48=203.2mm，埚跟比=0.932203.2203.2/（508-10）（508-10）0.155，埚跟速度=埚跟比拉速0.1551.6=0.248 mm/min。3.发现整只晶体有逐渐缩小的趋势时，埚跟速度应如何修正?答：埚跟速度可升一点。4.画出理想晶体的熔化，凝固曲线。5.画出Si的晶体结构，并标注（111）晶面。6.如何计算合适的坐标长度来满足拉速、温校曲线的设计要求？答：根据公式其中：L-坐标长度，mm；D-晶体直径，mm-硅的密度，2.33g/cm3；W-晶体重量=装料量-埚底剩料量7.温校曲线的特点是什么？答：温校曲线的设定规律是降温恒温升温升温渐快。降温的一段晶体不长，恒温的一段更短一些，以后就转入升温过程。
直拉单晶工艺
