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1、MicroSense电容式位移传感器产品名称: MicroSense电容式位移传感器产品型号: 4810, 5810,6810,6360等产品展商: 岱美有限公司, 简单介绍基于电容式感技术专利，MicroSense电容式位移传感器 提供高准确度，高带宽测量精度电容式位移传感器设备，为满足客户高准确度的应用要求,MicroSense 优化传感器的操作性能以达到高稳定性和线性方案、高分辨率、高带宽测量方案，用于测量硬盘驱动马达，气动轴承转子，X-Y样品台精确度，光盘，汽车零部件和机床等测量。MicroSense电容式位移传感器的详细介绍精密电容式位移传感器非接触式高分辨率近距离位移测量Micro
2、Sense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。特性1.完全非接触式电容式微位移测量最准确的电子感应技术, 无损样品测量2.最优化的近距离测量测量距离在10微米到5毫米 3.高准确性，高灵敏性测量，最高精度可达0.5nm。4.可探测任何可传导性、接地的测量目标表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响 5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Rad
3、ial, Spindle runout),精密仪器工作平台定 位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备)测量表（Gauge）型号4800系列 8800系列 5800系列 6800系列 6360厚度测量系统 4800系列 以最优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备8800系列 以拥有最好的线性和稳定性系统著称，测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率，超低噪声完美的伺服定位反馈系统设计5800系列 以高动态测量著称-高分辨率测量，可达100Khz 带宽测量，可靠性测量甚至达触地物例如气动转子和马达 6800系列 拥有皮米级别噪声分辨率 Mini系列 迷
4、你压缩型传感器测量系统 6360系列 非接触式，高精度测量硅片、CD、DVD、光盘厚度测量探头(Probe)形状圆柱型测量探头 45倾角测量探头 矩型测量探头 直角型测量探头圆柱型测量探头 探头直径0.5mm 到5mm 可选45倾角测量探头 可紧贴圆柱形被测物测量 矩型测量探头 测量马达及轴向转动物时可提供最大分辨率直角型测量探头 用于测量受限空间测量 设备应用定位测量系统应用 远程位置调节器的伺服反馈系统应用 间距和位移测量应用 空间测量及检测 轴向位移测量转动测量系统应用 马达精度和转轴转动测量 转轴测量计精度校准测量 直线和平面平台精度测量厚度测量系统应用 磁性介质厚度测量 光盘厚度测量自动聚焦和归零测量应用 半导体硅片测量 振动测量系统应用 样品台精度振动测量 转轴振动精度测量 主动性防震系统反馈测量设备性能及主要参数量程 25m 到1000m满量程测量分辨率 优于2 nm (r.m.s.) 1 kHz带宽 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选
MicroSense电容式位移传感器
