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1、电子级三甲基铝请在使用本产品前认真阅读本安全产品说明书电子级三甲基铝作为化合物半导体沉积的铝源。应用于发光二极管、 激光 二极管、晶体管高性能和高效率太阳能电池中。它还用于硅半导体产业化学气 相沉积过程中。1物理性能分子式(CH3) 3Al分子量72.09CAS 号 75-24-1外观清亮透明液体沸点 127C(760mmHg)熔点 15C液体密度 0.752g/ml(20C)蒸气压力 at 10C (283.15 K)4.87 t orrat 15C (288.15 K)6.57 t orr蒸汽压方程 logP( torr)二B-A/T(K) A =2134 , B=8.2242. 危害识别
2、三甲基铝为易燃液体，遇水剧烈反应。接触皮肤时可能导致严重的烧伤。烟 雾可能会导致皮肤和眼睛不适。由于三甲基铝及其分解物属有毒物质，应避免吸 入。3. 建议急救接触大量三甲基铝和及其副产品后应立即就医。急救人员应配备相应的防护 装备（呼吸器具等），以防止三甲基铝在空气中自燃或与水反应发生的爆炸等潜 在危险。皮肤接触立即排出产品所在区域范围内的水，在未接触皮肤时尽可能快的装备好防护 用具。用肥皂和水清洁可能接触到的三甲基铝，包括头发和指甲下的肌肤等部位。 并立即就医咨询。眼睛接触戴隐形眼镜的人员，尽可能不要接触三甲基铝。三甲基铝误入眼睛时，应立 即用大量清水冲洗至少 15 分钟。并拨开眼睑以保证彻
3、底冲洗，同时立即就医咨 询。吸入吸入时可能导致过敏。作业人员应快速转移到安全区域，立即使用独立呼吸 器具。如呼吸困难，应给氧。 如呼吸已停止，应进行人工呼吸，并立即寻求医 疗援助。4. FIRE 灭火措施灭火器械金属有机化学材料发生火灾时，只能使用干粉、 纯碱或石灰灭火，绝对不 能使用水、 泡沫或卤代化合物灭火。为保险起见，三甲基铝在储运和使用过程 中应远离火源。暴露的危险在已控火灾中，三甲基铝在暴露的空气中或与水接触时会重新燃烧。 专用防护设备防火服装、 独立呼吸器具、 面罩、安全护目镜、 安全鞋和抗火手套。5. 意外泄露措施个人预防措施发生意外时，所有人员应撤离危险区域，并使用适当的防护设
4、备，确保足够 的通风。在尝试处理现场时应先用惰性气体保护设备。如果容器或阀门发生泄漏， 立即呼叫紧急电话。环境的预防措施 在确保安全的前提下，尽可能的试着处理泄露的区域。防灭火措施见第 4 节。清理方法具体方法请联系合林。6、包装和运输包装任何接触三甲基铝的设备都必须保证彻底清洁并保持密闭状态。使用前，必 须排除系统内所有的空气和水分。运输三甲基铝为金属有机化合物，液体，自燃，遇水剧烈反应。包装运输应符合 相关安全规则。7. 特殊保护呼吸保护 呼吸器具可供紧急使用。通风大型通风设备。废气排放 防止大量的铝氧化粉尘散入空气中防护手套耐火手套保护眼睛安全护目镜或面罩。其他保护安全鞋、 安全淋浴、
5、洗眼喷头和防火服。8、稳定性和反应性预防措施空气中易自燃。 避免与水、 空气或其它氧化剂接触。氧化分解产物铝氧化灰尘、CO、CO2，具有一定危险性。9、毒理学资料 铝氧化灰尘形成这种化合物氧化时可能会导致试验动物肝脏和肾脏的毒性 作用。铝氧化粉尘作业 （三甲基铝燃烧时） 不属是剧毒操作。IARC、NTP和OSHA并未将三甲基铝列为致癌物质或潜在致癌物质。TSCA 清单上列出三甲基铝为有毒物质。此材料安全日期表中包含的信息是，我们的知识和信仰，可靠的情况下，最 好但准确性，并不保证其完整性。处理和使用条件都超出我们的控制范围因，为 我们没有保证的结果，和不承担这种材料的使用造成损害所。有化学品可能存在 未知的健康危害，并应谨慎使用。某些危险本协议所述，虽然我们不能保证这些 都是存在的唯一的危害。化学的最终裁定是适宜性的用户的责任。
三甲基铝安全使用说明书
