洁净厂房设计规范

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1、 .wd.干净厂房设计标准中华人民共和国国家标准GBJ73-84主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家方案委员会施行日期：一九八五年六月一日关于发布?干净厂房设计标准?的通知计标19842483号根据原国家建委78建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的?干净厂房设计标准?已经有关部门会审。现批准?干净厂房设计标准?GBJ7384为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。本标准由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。国家方案委员会一九八四年十二月一日编制说明本标准是根据原国家 基本建设委员会78建发设字第562号文的要求，

2、由我部负责主编的。具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色治金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。在编制过程中，标准编制组进展了广泛的调查研究，认真总结了我国干净厂房建设和使用的实践经历，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。最后，由我部会同有关部门审查定稿。本标准共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气干净度等级、

3、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。鉴于本标准系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经历，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。电子工业部一九八四年八月二十七日干净厂房设计标准目录第一章 总则第二章 空气干净度等级第三章 总体设计第一节 干净厂房位置选择和总平面布置第二节 工艺布置和设计综合协调第三节 噪声控制第四节 微振控制第四章 建筑第一节 一般规定第二节 人员净化和物料净化设施第三节 防火和疏散第四节 室内装修第五节 装配式干净室第五章 空气净化第一节 一般要求第二节 干净室正压控制第三节

4、气流组织和送风量第四节 空气净化处理第五节 采暖通风第六节 风管和附件第六章 给水排水第一节 一般标准第二节 给水第三节 排水第四节 消防设施第七章 工业气体管道第一节 通常规定第二节 管道材料、阀门和附件第三节 管道连接和清洗第四节 安全技术第八章 电气第一节 配电第二节 照明第三节 控制、通信和防护附录一名词解释附录二干净室空气干净度的测试附录三干净厂房生产的火灾不安全性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本标准用词说明第一章 总则第101条 干净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经

5、济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。第102条 本标准适用于新建和改建、扩建的干净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物干净室。本标准有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层干净厂房和地下干净厂房的设计。第103条 在利用原有建筑进展干净技术改造时，干净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。第104条 干净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。第105条 干净厂房设计除应按本标准执行外，尚应符合现行的国家标准、标准的有关要求。第二章 空气干净度等级第201条 空气干净度应按表2

6、01规定划分为四个等级。空气干净度 表201注: 对于空气干净度为100级的干净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进展屡次采样，当其屡次出现时，方可认为该测试数值是可靠的第202条 干净室空气干净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。干净室空气干净度的测试，应符合附录二规定。第三章 总体设计第一节 干净厂房位置选择和总平面布置第311条 干净厂房位置的选择，应根据以下要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域，如不能远离严重空气污染

7、源时，那么应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地区。第312条 对于兼有微振控制要求的干净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精细设备、精细仪器仪表允许环境振动值进展分析比较。第313条 干净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，干净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第314条 干净厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。第315条 干净厂房周围宜设置环形消防车道可利用交通道路。如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。第316条 干净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材新。第317

8、条 干净厂房周围应进展绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区，但不得防碍消防操作。第二节 工艺布置和设计综合协调第321条 工艺布置应符合以下要求：一、工艺布置合理、紧凑。干净室或干净区内只布置必要的工艺设备以及有空气干净度等级要求的工序和工作室；二、在满足生产工艺要求的前提下，空气干净度高的干净室或干净区宜靠近空气调节机房；空气干净度等级一样的工序和工作室宜集中布置；靠近干净区入口处宜布置空气干净度等级较低的工作室；三、干净室内要求空气干净度高的工序应布置在上风侧易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置；四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安

9、装口和检修口；五、应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入干净区之前必须进展清洁处理。第322条 干净厂房内宜少设隔间，但在以下情况下可予以分隔：一、按生产的火灾不安全性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者；二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者；三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。第323条 干净厂房的平面和空间设计，宜将干净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进展分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。第32

10、4条 干净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和坚向标高。第325条 干净厂房内各种固定技术设施如送风口、照明器、回风口、各种管线等的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。第三节 噪声控制第331条 干净室内的噪声级，应符合以下要求：一、动态测试时，干净室内的噪声级不应超过70分贝A。二、空态测试时，乱流干净室的噪声级不宜大于60分贝A；层流干净室的噪声级不应大于65分贝A。注：由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置人离开的测量值。对于变动噪声，那么取一样位置处在一个正常工作日内的等效连续声

11、压级。第332条 干净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压级值不宜大于表332的规定。噪声频谱限制 表332第333条 干净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护构造应有良好的隔声性能，并宜使各局部隔声量相接近。第334条 干净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过干净室允许值的设备，应设置专用隔声设施如隔声间、隔声罩等。第335条 净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外，应对干净室内的排风系统进展减噪设计。第336条 净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按以下规定选用：一、总风管为6-10米秒；二、无

12、送、回风口的文风管为68米秒；三、有送、回风口的文风管为36米秒。第337条 干净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气干净度要求，不用因控制噪声而影响干净室的净化条件。第四节 微振控制第341条 干净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备包括水泵等及其通往干净室的管道，应采取积极隔振措施。第342条 对干净厂房内外各类振源，应测定其对干净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经历对综合振动影响进展评价。并应与精细设备、精细仪器仪表的允许环境振动值进展比较，以确定对其采取必要的田振措施。第343条 精细设备、精细仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发尘量、保持干净室内合理的气流组织等要求。当采

13、用空气弹簧隔振台座时，应对气温进展处理，使其到达干净室的空气干净度等级。第四章 建筑第一节 一般规定第411条 干净厂房的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。干净区的主体构造不宜采用内墙承重。第412条 干净室的高度以净高控制，净高应以100毫 基本模数。第413条 干净厂房主体构造的耐久性与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能地震区应符合抗震设计规定。厂房变形缝应防止穿过干净区。第414条 送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。第415条 对兼有一般生产和干净生产的综合性厂房，其方案设计

14、和构造的处理，应防止在人流与物流运输以及防火方面对干净生产带来不利影响。第二节 人员净化和物料净化设施第421条 干净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。第422条 人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、干净工作服室和空气吹淋室等。厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和枯燥间等其他用室，可根据需要设置。第423条 人员净化用室和生活用室的设计，应符合以下要求：一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。二、存外衣室和干净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和干净工作服柜应按设计人数每人设一柜。三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙

15、头应按最大班人数每10人设一个。四、干净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。五、空气吸淋室应设在干净区人员入口处，并应与干净工作服室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流干净室时，可改设气闸室。干净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。第424条 人流路线应防止往复穿插。人员净化用室和生活用室的布置，一般按图424的人员净化程序进展布置。第425条 根据不同的空气干净度等级和工作人员数量，干净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按干净区设计人数平均每人46平方米计算。第426条 干净工作服室内，对空气净化应有一定的要求。第4

16、27条 干净室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。第三节 防火和疏散第431条 干净厂房的耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体，其耐火极限不宜小于025小时。第432条 干净厂房内一般的生产工作间的火灾不安全性，可按附录三进展分类。第433条 甲、乙类生产的干净厂房，宜采用单层厂房。其防火墙间最大允许占地面积，单层厂房应为3，000平方米，多层厂房应为2，000平方米。第434条 甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式干净室，其顶棚和壁板包括内部填充物应为非燃烧体。第435条 在一

17、个防火区内的综合性厂房，其干净生产与一般生产区域之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小时，隔墙上的门窗耐火极限不应低于06小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙应采用非燃烧材料严密填塞。第436条 技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井壁上检查门的耐火极限不应低于06小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应采用相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线周围空隙，应采用非燃烧材料严密填塞。第437条 干净厂房每一生产层、每一防火分区或每一干净区的安全出口的数量，均不应少于两个。但符合以下要求者，可设置一个安全出口：一、甲、乙类生产

18、厂房每层的总建筑面积不用过50平方米，且同一时间内的生产人员总数不用过5人；二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行的?建筑设计防火标准?的规定者。安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不用经过曲折的人员净化路线。第438条 干净区与非干净区和干净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启。安全疏散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控自动门。第439条 当干净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房干净区的门窗，其洞口间距大于80米时，那么应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。专用消防口的宽度不应小于750毫米，高度不应小于1800毫米，并应有明显标志。楼层的专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设

19、爬楼。第四节 室内装修第441条 干净厂房的建筑围护构造和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。第442条 干净室内墙壁和顶棚的外表，应符合平整、光滑、不起灰、防止眩光、便于除尘等要求；应减少凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采用于操作；如为抹灰时，应采用高级抹灰标准。第443条 干净室的地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、防止眩光、并有舒适感等要求。第444条 干净厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，

20、应采用防水或防潮、防霉措施。建筑风道和回风地沟的内外表装修标准，应与整个送、回风系统相适应，并应易于除尘。第445条 干净室和人员净化用室设置的外窗，应采用双层玻璃金属窗，并应有良好的气密性。第446条 干净室内的密闭门宜朝空气干净度较高的房间开启。无窗干净室的密闭门上宜设观察窗。第447条 干净室门窗、墙壁、顶棚、地楼面的构造和施工缝隙，均应采取可靠的密封措施。第448条 干净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各外表材料的光反射系数，顶棚和墙面宜为0608；地面宜为015-035。第五节 装配式干净室第451条 在新建或改建的干净厂房设计中，对于面积不大、层高较低、要求空气干净度较高的生产环境可采用

21、装配式干净室。第452条 装配式干净室所在的房间应有空气净化要求，并应与装配式干净室的空气干净度等级相适应。外围建筑的耐火等级不得低于二级。第453条 装配式干净室顶棚可由装配式干净室本身内壁板或支柱支承，也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑的地面以下。第454条 装配式干净室设计应满足在该室室内安装壁板的要求。装配式干净室的构配件应做到：连接构造的整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、包装和运输。第455条 装配式干净室的四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外围建筑的墙壁。紧贴时，壁板与墙壁之间的安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清扫距离。当装配式干净室时,壁板外侧设有技术夹道

22、时，壁板与外围建筑内墙面之间净宽不宜小于600毫米。第五章 空气净化第一节 一般要求第511条 干净厂房内各干净室的空气干净度等级确实定，应符合以下要求：一、干净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气干净度等级。二、在满足生产工艺要求的前提下，干净室的气流组织，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。第512条 层流干净室和乱流干净室以及运行班次和使用时间不同的干净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。第513条 干净室内的计算温、湿度，应符合以下规定：一、满足生产工艺要求；二、生产工艺无温、湿度要求时，干净室温度为2026，湿度小于70；三、人员净化用室和生活用室

23、温度为1628。第514条 干净室内应保证定的新鲜空气量，其数值应取以下风量中的最大值：一、乱流干净室后送风量的1030，层流干净室总送风量的24；二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。第515条 干净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。干净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。第516条 在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。第二节 干净室正压控制第521条 干净室必须维持一定的正压。 不同等级的干净室以及干净区与非干净区之间的静压差，应不小于05毫米水柱；干净区与室

24、外的静压差，不应小于10毫米水柱。第522条 干净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：Qa(qL) 522式中Q一维持干净室正压值所需的正压风量立方米时，a一根据围护构造气密性确定的安全系数，可取lll2；q一当干净室为某一正压值时，其围护构造单位长度缝隙的渗漏风量立方米时米；L一围护构造的缝隙长度米。第523条 围护构造单位长度缝隙的渗漏风量 可按表523采用。围护构造单位长度缝隙的渗漏风量 表523第524条 送风、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时，联锁程序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时，那么联锁程序应相反。第525条 非连续运行的干净室，可根据生产工

25、艺要求在置值班风机，并应对新风进展处理。第三节 气流组织和送风量第531条 气流组织的选择，应符合以下要求：一、干净工作区的气流速度，应满足空气干净度和人体安康的要求来。并应使干净工作区气流流向单一；二、回风口宜均匀布置在干净室下部；三、余压阀宜设在干净室气流的下风侧，不宜设在干净工作区高度范围内。第532条 干净室的气流组织和送风量，宜按表532选用。气流组织和送风量 表532注：.垂直层流干净室采用相对两侧墙下部均匀布置回风口方式，仅适用于两对侧侧墙间距不大于5米2.乱流干净室送风量确实定，宜考虑室内含尘浓度不均匀扩散的因素第533条 乱流干净室的送风量，应取以下规定的最大值：一、为控制室

26、内空气干净度所需要的送风量；二、按表532规定的送风量；三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量；四、按空气平行所需要的送风量。第534条 当生产工艺仅要求在干净室内局部工作区到达更高的空气干净度时，其气流组织设计应使干净气流首先流经该工作区，或在干净室的不同区域形成不同气流流型和空气干净度等级的干净工作区，其型式可分别按图5341、图5342选用。第535条 层流干净室内不宜设置干净工作台；乱流干净室内可设置干净工作台，但其位置应远离回风口。第536条 干净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。第四节 空气净化处理第541条 各等级空气干净度的空气净化处理，均应采用初

27、效、中效、高效空气过滤器三级过滤。注：100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。第542条 确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和干净室空气干净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、干净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的干净室，宜采用集中式净化空气调节系统。第543条 净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，那么不应利用回风。第544条 净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入干净室内的防倒灌措施。第54

28、5条 空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合以下要求：一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调节系统末端；四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一干净室内；六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。第546条 送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进展选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。第547条 净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有

29、防火安全措施。第五节 采暖通风第551条 干净室的采暖型式，应按以下不同情况确定：一、100级、1000级、10，000级干净室，不应采用散热器采暖；l00，000级干净室，不宜采用散热器采暖。二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进展间接采暖，或采用间歇运行净化空气调节系统、值班风机系统进展热风采暖。第552条 散热器应采用外表光滑、不易积尘、便于清扫的型式。第553条 干净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置，排风罩的操作口面积应尽量缩小。第554条 局部排风系统在以下情况下，应单独设置：一、非同一净化空气调节系统；二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸不安全性；三

30、、所排出的有害物毒性相差很大。第555条 干净室的排风系统设计，应采取以下措施：一、防倒灌措施；二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。第556条 换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风措施。其室内的静压值，应低于干净区。第557条 干净室事故排风系统的换气次数，应采用每小时1520次。事故排风装置的控制开关，应分别设在干净室和室外便于操作的地点，并应与净化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。第六节 风管和附件第561条 风管断面尺寸确实定，应考虑能对风管内壁进展清洁处理，并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。第562条 净化空气调节系统的新风管、回风

31、总管，应设置密闭调节阀。送风机的吸入口处和需要调节风量处，应设置调节阀。干净室内的排风系统，应设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必须设置防火阀。第563条 净化空气调节系统的风管和调节阀以及高效空气过滤器的保护网、孔板和扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应根据输送空气的干净要求及其所处的空气环境条件确定。干净室内排风系统的风管、调节阀和止回阀等附件的制作材料和涂料，应根据排除气体的性质及其所处的空气环境条件确定。第564条 在中效和高效的空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管和送回风总管以及需要调节风量的支管上，应设置风量测定孔。第565条 排除腐蚀性气体的风管，可采

32、用塑料风管。其他风管以及风管的保温和消声材料及其粘结刑，应采用非燃烧材料或难燃烧材料。第六章 给水排水第一节 一般标准第611条 干净厂房内的给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、地沟管槽内或地下埋设。干净室内应少敷设管道。引入干净室的支管宜明敷，但对空气干净度等级要求高的干净室可暗敷。第612条 干净厂房内的管道外外表，如可能结露，应采取防结露措施。第613条 管道穿过干净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。第514条 管道不宜穿过防火墙。如必须穿过时，穿墙管及其套管应为非燃烧体管材。第二节 给水第621条 干净厂房内的给水系统设计，应根据生产、生活和消防等

33、各项用水对水质、水温、水压和水量的要求，分别设置直流、循环或重复利用的给水系统。高纯水系统应设置循环管道。第622条 管材的选择，应符合以下要求：一、纯水管、高纯水管应采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管；二、冷却循环给水和回水管宜采用镀锌钢管；三、生产用水设备与管道的连接宜采用优质软管；四、管道的配件应采用相应的材料。第623条 干净厂房内可设置开水供应设施；盥洗室内的盥洗盆宜供应热水；软化水、纯水管适应预留清洗口；纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。第624条 干净厂房的周围，应设置洒水设施。第三节 排水第631条 干净厂房的排水系统设计，应根据生产排出的废水性质、浓度、水量等特点确定排水

34、系统，并应有废水处理或综合利用设施。第632条 干净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，并应有防止水封被破坏的设施。第633条 100级、1000级干净室内，不宜设置地漏；如必须设置时，应采用有盖地漏，并不应设排水沟。10，000、100，000级干净室内允许穿过排水竖管，但在竖管上不得设置检查口。第634条 干净厂房内应采用不易积存污物、易于清扫的卫生器具、管材、管架及其附件。第四节 消防设施第641条 干净厂房应根据生产的火灾不安全性分类和建筑物耐火等级等因素确定消防设施。第642条 干净厂房室内消火栓给水系统的消防用水量不应小于10升秒，每股水

35、量不应少于5升秒；第643条 干净厂房的消火栓设置，应符合以下要求：一、消火栓的水枪充实水柱，不应小于10米。二、消火栓的栓口直径应为65毫米，配备的水带长度不应超过25米，水枪喷嘴口径不应小于19毫米。第644条 干净室及其技术夹道和技术夹层内，均宜同时设置卤代烷或二氧化碳等灭火设施和消防给水系统。对设有贵重设备仪器或生产的火灾不安全性较大的干净室，以及当火灾发生时消防人员难以进入扑救的技术夹层和技术夹道等部位，应同时设置卤代烷或二氧化碳等固定灭火装置和消防给水系统。第七章 工业气体管道第一节 通常规定第711条 工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道宜明敷；如敷设

36、在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好的通风措施。引入干净室的支管宜明敷。第712条 高纯气体管道设计，应附合以下要求一、根据计算确定管径；二、管道系统应尽量短；三、不宜设预留口；四、不应出现“盲管等不易吹除的部位；五、干管和支管上应设置吹除口；六、在管道系统上应设置必要的取样口。第713条 穿过干净室墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。第714条 氢气和氧气管道末端或是高点宜设放散管。放散管应高出屋脊1米，并应设在防雷保护区内。第715条 气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求进展选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点

37、处。第716条 气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进展选择。高纯气体管道应装设高气体过滤器。第二节 管道材料、阀门和附件第721条 根据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按以下规定选用：一、气体纯度大于或等于99999时，应采用不锈钢管；二、气体纯度大于或等于9999时，直采用不锈钢管、铜管、无缝钢管；三、气体纯度小于9999时，可采用无缝钢管；四、管道与设备的连接段，宜采用金属管道；如为非金属软管时，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳胶管。第722条 高纯气体管道应采用密封性能好的阀门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采

38、用聚四氟乙烯材料。第723条 高纯气体管道与附件连接的密封垫,应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。第三节 管道连接和清洗第731条 管道连接应采用焊接。高纯气体管道应采用承插焊。第732条 管道与设备、阀门的连接处，宜采用法兰、螺纹或其它密封性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。第733条 高纯气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进展清洗、脱脂等预处理。第四节 安全技术第741条 工业气体管道设计的安全技术，应符合以下规定：一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器；二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置；三、各种气体管道应设明显标志。第742条 干净室内使用氢气时

39、，宜在室内设置报警装置。第743条 各种气瓶应集中设置在干净厂房外。当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在干净室内。第八章 电 气第一节 配电第811条 干净厂房的电力负荷等级，应根据生产工艺要求确定。净化空气调节用电负荷、照明负荷，应由变电所专线供电。第812条 电源进线不包括消防用电应设置切断装置，并宜设在非干净区便于管理的地点。第813条 干净室内的配电设备，应选择不易积尘的设备，并宜暗装。大型配电设备不宜设在干净室内。第814条 干净室内的电气管线宜暗敷，管材应采用非燃烧材料。由非干净区进入干净区的电气管线管口，应采取可靠的密封措施。第二节 照明第821条 干净室内的照明光源，宜采用荧光

40、灯。如达不到照明设计的技术经济指标要求时，也可采用其他光源。第822条 干净室内一般照明灯具宜明装。如灯具嵌入顶棚暗装时，其安装缝隙应采取可靠的密封措施。干净室内不应采用格栅型灯具。第823条 无采光窗干净区工作面上的照度值，不应低于表823的规定数值。无采光窗干净区工作面上的照度值 表823第824条 无采光窗干净区混合照明中的一般照明，其照度值应该按等级混合照明照度值的10l5采用，并不应低于150勒克斯。第825条 干净厂房内应设置供人员疏散用的事故照明。在应急安全出口和疏散通道转角处应设置标志灯。在专用消防口处应设置红色应急照明灯。第826条 干净室内一般照明的照度均匀度不应小于07。

41、第三节 控制、通信和防护第831条 干净厂房的净化空气调节控制系统，应满足生产工艺对温度、湿度和正压的要求。净化空气调节系统所采用的电加热器，应设置无风断电保护。第832条 干净厂房内应设置与厂房内外联系的通信装置。第833条 干净厂房包括技术夹层应单独或组合设置感温、感光、感烟等形式的火灾探测器。报警器受讯台应设置在有人值班的地点，供电应可靠。第834条 干净区内应设紧急按钮。如发生火灾不安全时，应能发出报警信号，并应同时切断风机电源。附录一 名词解释附录二干净室空气干净度的测试一、干净室的空气干净度，应进展以下测试：一空态、静态测试空态测试：干净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态

42、，室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。静态测试：干净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进展测试。二动态测试干净室已处于正常生产状态下进展测试。二、干净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。三、空态、静态测试一测试前的准备1、应对干净室及其净化空气调节系统进展彻底清洁。2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进展检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内或风管内粒径大于或等于05微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒升。如假设不够，可引入烟雾，然后开场检漏。将粒子计数器或检漏装置的采样口距离

43、高效空气过滤器2-3厘米处，可以24厘米秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面 封头胶处和安装框架处进展扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于05微米的尘粒超过3粒分升或其穿透率大于001即认为该处有明显渗漏，必须进展堵漏。二测试内容1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；2、干净室压力值；3、层流干净室断面风速和气流流向；4、干净工作区的干净度；5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试；6、干净室内噪声。三干净工作区空气干净度的测试方法对于粒径大于或等于05微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法：1、光散

44、射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或等于1升。l，000级l0,000级：每次采样量大于或等于03升。100，000级：每次采样量大于或等于01升。对于100级干净室，宜采用大流量粒子计数器进展测试；如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。2、采样本卷须知1采样管必须干净，连接处严禁渗漏。2采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于15米。3采样管口的流速，宜与干净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。4采样顺序应按含尘浓度从低到高进展。3、测点布置l检测在干净工作区内进展。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米。2层流干净室测点总数

45、不小于20点，测点间距为0520米，粒径大于或等于05微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流干净室测点仅布置在第一干净工作区内。3乱流干净室可按干净面积小于或等于50平方米布置5个测点附图2。每增加2050平方米，增加3-5个测点。4、数据整理1每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。2对于大于或等于05微米的尘粒数确定：层流干净室取各测定点最大值，乱流干净室取各测点的平均值。四正压值测定应采用精度可达001毫米水柱的微压计。四、动态测试。在干净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进展，测试方法同空态、静态测试。附录三 干净厂房生产的火

46、灾不安全性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求一、风管、静压箱和附件的施工，应符合以下要求：一施工现场应保持清洁。风管及其附件、静压箱、空气调节器、技术夹层、机房以及其它设备、装置等的清洁工作应边施工边进展；二风管、静压箱和附件等制作后，应存放在清洁、枯燥的地点，并应采取防止积尘的措施；三采用复合钢板、镀锌钢板制作的风管，在加工、安装、施工过程中造成的破损应补涂涂料；四清扫、擦拭应选用不产尘、不掉纤维的工具和材料。二、高效和亚高效空气过滤器的安装，应符合以下要求：一必须在土建施工、净化空调系统初效、中效空气过滤器安装完毕，全系统进展检查、擦试、吹洗运转12小时前方能进展；二高效空气过

47、滤器必须在安装时方可从保护袋中取出，同时应进展透光目视检查。凡滤纸破损、漏胶和外框变形者，不得安装；三过滤器与安装框架之间，必须采取密封措施；四过滤器安装就位后，必须进展检漏和堵漏。三、装配式干净室、空气吹淋室、气闸室、余压调节阀等净化设备和部件的安装，应严格按照产品的安装、施工要求进展。附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求一、干净室的空气，宜按附表规定进展监测干净室的空气监测频数 附表5附录六净化空气调节系统风管壁厚风管壁厚 附表6附录七本标准用词说明一、执行本标准条文时，对于要求严格程度的用词说明如下，以便执行中区别对待。1、表承很严格，非这样作不可的用词：正面词采用“必须；反面词采用“严禁。2、表示严格，在正常情况下均应这样作的用词：正面词采用“应；反面词采用“不应或“不得。3、表示允许稍有选择，在条件许可时，首先应这样作的用词：正面词采用“宜或“可；反面词采用“不宜。二、条文中指明必须按其他有关标准和标准执行的写法为：“应按执行或“应符合要求或规定。非必须按所指定的标准和标准执行的写法为，“可参照。