非晶纳米晶合金材料的工艺技术、产业化和应用

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1、非晶纳米晶合金材料的工艺技术、产业化和应用自从1960年Duwez教授等人发明液态金属快淬技术制取Au-Si非晶合金和1966年发明Fe-P-C 非晶软磁合金以来，美国、日本、德国、前苏联和中国等相继开展了非晶合金的研究工作， 并在20世纪7080年代形成非晶合金研究开发的第一次热潮。由于非晶合金制备工艺简单独 特、材料性能优异等显著优点，应用范围不断扩大，四十多年来一直是冶金和材料领域的研 究热点之一。尤其在1988年日本Yashizawa教授等人在非晶化的基础上发明了纳米晶合金， 从而开创了软磁材料的新纪元，大大促进了非晶材料制备设备、工艺技术的发展和材料开发 应用，推动了非晶纳米品产业的

2、发展u3, 8。目前，利用快淬金属工艺技术制备的非晶材料已被广泛地应用于工业领域，除我们熟悉 的磁性材料外，还有非品钎焊材料、非品催化材料、磁敏及传感器材料等；应用的材料形态 有带材、丝材、粉末及薄膜等。现代科学技术的发展，也大大促进了非晶纳米品产业的发展， 不仅提高了非晶合金制带设备和工艺技术水平，使其生产设备和技术更加自动化、现代化， 保证了产品的质量，提高了产品的技术含量，从而满足现代电子技术发展的需要，而且也促 进了新技术新材料研究、开发、应用E。1国外非晶纳米晶产业概况美国曾是世界上最大的非晶材料制造商，Honeywell公司Metglas业务部（前身为Allied Signal公司

3、），是非晶材料制造技术的平板流技术专利所有者，年生产能力3万吨以上，实 际年产12万吨，带材生产实现自动控制和自动卷取。2003年被日本日立金属公司收购。 Honeywell公司Metglas业务部拥要两个独资工厂：美国Conway非品金属制带厂和印度 Gurgaon电子铁芯元件厂，两个合资公司：日本非品质金属公司（NAMCO）和上海汉威非晶金 属公司（SHZAM）。在美国Conway非品金属制带厂，有年产万吨级非晶带材生产线两条，主 要生产Metglas2605SA-1，最大带材宽度为250mm，配有自动在线卷取设备及年产千吨级和百 吨级非晶带材生产线各一条，主要生产电子材料、钎焊材料和新材

4、料，最大带材宽度为220 mm 和100 mm，配有自动在线卷取设备6, 7。日本主要有Hitachi（日立金属公司）和Toshiba （东芝公司）。Hitachi公司是利用快 淬技术在非晶化基础上制备纳米晶软磁合金材料的发明者，2003年收购了 Honeywell公司的 非晶金属部分（Metglas业务部），今后将是世界上最大非晶纳米品材料生产供应商，产品 包括目前所有的市售商品，尤其以铁基纳米品（Finemet）的系列化产品占据世界非晶纳米品领 域的重要地位，它拥有一条配有自动在线卷取设备的非晶带材生产线，年生产能力达百吨， 最大宽度为150 mm。Toshiba公司主要生产Co基非品产品

5、，带材质量和性能居世界领先地位， 尤其是磁放大器类产品，在市场上占有相当地位。带材生产实现自动化，最大宽度在100 mm 左右7。德国的真空熔炼公司（VAC）通过购买非晶纳米品软磁合金专利许可证的方式获得生产 许可，主要生产用于电子产品的Co基非品和Fe基纳米品材料，并在专利基础上研制开发出 不同用途的新型合金材料。也是非晶纳米品材料重要制造商之一。带材实现自动化生产，非 品带材最大宽度为150mm7。在俄罗斯（前苏联），主要开发一些Co基非晶合金产品，近几年同韩国的由由公司合 作开发应用Co基产品，虽然生产规模不太大，但设备及自动化技术水平不低。国外非晶合金的自动化生产线如图1所示们。A朝炉

6、：&中问炉 C陛却建：D1，说推测系统：卷简 图I菲晶合金的自动化生产统佃2国内非晶纳米晶产业概况中国非晶材料研究工作始于20世纪70年代中期，8090年代国家科委、原冶金部等组 织钢铁研究总院（转制企业为安泰科技）、上海钢铁研究所（转制企业为上海安泰全高）以 及有关高校院所进行多次联合科技攻关，使我国非晶纳米品材料产业从无到有、从小到大， 逐渐发展成为非晶纳米晶合金研究开发生产的大国。尽管我们的制带设备和工艺技术的自动 化、现代化程度与国外先进设备技术相比还存在一定差距，但这些自主开发的工装设备在我 国非晶纳米晶合金产业化中发挥了很大的作用。二十多年来，我国的冶金材料工作者在非晶 带材生产设

7、备方面研制出实验室制带机组、中试生产线、年产百吨千吨级非晶带材生产线； 目前正在自主开发高精度、高质量非晶纳米品薄带生产线。在材料方面开发出多种非晶纳米 品软磁材料、非品钎焊材料、非品催化材料、建筑用快淬材料及非晶纳米品传感材料等；并 研究开发出各种各样的非晶纳米品铁芯器件，应用在电子工业中，还研究了用于电力工业的 非晶配电变压器1，8, 12, 13。国内具有完整非品纳米品生产线的生产企业主要是安泰科技股份有限公司（非晶制品分 公司和控股公司橐上海安泰全高非晶金属有限公司）、首钢冶金研究院、江西大有、北京冶 科、上海爱晨，此外就是若干生产规模不大、品种相对较少的民营或集体企业；还有一些购 买

8、带材加工制作非晶纳米品磁性器件的企业，生产规模有限。但在这些企业中，真正具有研 究开发技术力量的单位也只有安泰科技股份有限公司。3非晶纳米晶材料的生产工艺及性能特点3.1生产工艺非晶合金材料的生产由于其冷却速度高达106C/s，必需采用独特的冷却方式才能实现。 纳米晶合金材料是在非晶材料的基础上通过特殊的热处理工艺使之部分品化形成的，因此快 淬技术制备非晶合金的生产工艺技术都可以借用来生产制造纳米品合金材料。通常非晶带材的制备方法是外圆法，这一方法已发展成为工业生产应用最广泛的实用方 法橐单辊制带法，国外和国内的千吨级非晶带材生产线都是采用此方法制取非品薄带的，生 产工艺流程如图1所示。国内还

9、自主开发了没有在线卷取设备的单包、三包法制带机组，如 图2所示（三包法），该设备简单实用，工艺流程短，自动化程度不太高，适合小规模生产， 符合我国国情1，2。1中鞭炉：3.盛昂g 3液位测控：&脱用包：5-推嘴间距测盟，&车副：麻磨器；8-冷却曜：9卷观机 图2单辗三包法非晶制带装置示意图非品丝材的制备方法研究不少，比较实用的是采用内圆水纺法原理的喷丝法(50 150产m) 和玻璃包覆拉丝法。前者适合规模化工业生产，后者适合研究开发工作。就目前来讲，丝材 生产应用不太广泛，工艺装备发展有限B9。非品粉末的制备方法有雾化法、高能球磨法及非晶带材破碎法等。由于目前设备工艺条 件的限制，使用雾化法要

10、想获得105，C/s的冷却速度并满足大规模工业生产及成本要求，确 实非常困难；高能球磨法也同样面临工业生产及成本问题；根据我们的国情，非晶带材破碎 法适合大规模工业化生产需要2, 1214。非晶薄膜的制备方法有真空蒸镀法、溅射法、化学气相反应沉积法等，由于它们与快淬 技术制备非晶合金的技术工艺差异很大，其现状不太清楚。3.2性能特点、组织结构及机理通过添加Si、B等元素利用快淬技术制成Fe基、Fe-Ni基和Co基非晶合金材料，其组 织特征是原子排列呈现短程有序(1.50.1nm)，长程无序。该类合金具有饱和磁感应强度 高、磁导率高和高频损耗低等优异软磁性能。从铁磁学的有关理论知道，各向异性常数

11、是影 响软磁性能的关键因素。非晶合金中不存在磁晶各向异性；虽存在形状各向异性，但由于厚 度薄(0.02 0.04mm )形状各向异性常数很小；没有晶界和夹杂；应力-磁致伸缩各向异性通 过后退火工艺消除；电阻率高，高频特性好；感生各向异性存在，有利于通过横向和纵向磁 场处理来充分利用非晶合金性能1, 2, 5, 11。Yoshizawa等人首先发现，在Fe-Si-B非晶合金的基体中加入少量Cu和M (M=Nb、Mo、 W、Ta等)，经适当温度晶化退火以后，可获得一种性能优异、具有bcc结构的超细品粒(约 10nm )软磁合金，这就是纳米品软磁合金。由于纳米晶合金的磁性更加优异，尤其是它的初 始磁

12、导率高和高频特性好，引起国内外学者的大量研究，研制开发成各种各样的磁性器件应 用于电力、电子技术领域。而合金起始磁导率p j=P. J：/. 0K, K值越小，矫顽力H正比于Dn (n =6, 2),纳米品软磁合金的组织是在非晶组织基础上部分晶化而成的，其最终组织为bcc Fe(Si) +非晶的双相组织。纳米晶软磁合金材料具有优异软磁性能的机理尚未完全清楚，但诸多学 者研究认为晶粒尺寸细小使局域各向异性变小和磁致伸缩系数低于铁基非晶合金是两个关键 因素。磁致伸缩系数变小是与它主相为含Si、B的bccFe固溶体有关。当品粒尺寸达到纳米 量级而小于交换长度L时，则这些无规则取向的小晶粒的磁晶各向异

13、性将被平均而表现出很 低的有效各向异性述揭示了纳米晶软磁合金具有优良软磁特性的重要原因。有效各向异性 常数K值变小是由于有效各向异性K正比于Dn(n1)，品粒尺寸D减小，导致VK变小，D 值小，H 小2, 10, ii。非晶纳米晶合金材料的优异软磁性能与其他软磁合金性能比较参见图3。Q 0.3 M IS2-5MT理3非扁纳米路合金与其他软成金性催比较e3.3研究开发动态由于现代电子技术的发展，对电子元器件产品尺寸和性能的要求越来越高，尤其高频技 术及电磁兼容技术的发展，给非晶纳米晶合金材料的广泛应用带来良好的商机，也促使非晶 纳米品行业通过研究开发，不断开发新材料、新产品，并努力提高现有非品带

14、材及制品质量。 主要研究开发工作有以下几个方面：改进生产工艺技术装备，提高带材质量，使其达到剪切水平；开发新型铁基非晶合金，形成高B、低B，满足大型脉冲电源需要；开发新型钻基非晶合金，满足电电子找术和高频电子技术需要；开发新型FeCuMSiB系纳米晶合金，满足不同性能需要；开发新型FeMB系纳米晶合金，进行技术储备；非晶纳米品软磁合金粉末及粉末制品；开发具有巨磁阻抗效应的钻基非晶和纳米晶合金磁敏材料；非晶纳米品薄膜磁性材料，即借助镀膜技术制成磁性薄膜；大块铁磁性非晶合金，解决合金材料的成本高、需要添加Zr（易氧化）、Ga（贵且少）等 元素及块体尺寸太小等问题29, 1广15。4非晶纳米晶材料的

15、应用非晶纳米晶合金材料的大规模工业生产应用除化学法制备的纳米粉末及粉体材料外，就 是快淬技术制备的非晶纳米晶合金材料，一般先制成非品薄带，再加工成各种各样的磁性器 件，广泛应用于电力、电子工业领域，图4归纳了非晶纳米晶合金在国内的应用情况。也a耕电竖罪互惠蹿虹您电祖若电变Ffi3L性却囚1成波电3*电机ik hU its 和 电芯电嚣芸狷电快-rtf电E科4非晶始*品轩女在国内的宜禺情思作者认为在以下几个方面应用前景看好：非晶电力变压器铁芯；精密电流互感器铁芯；大功率开关电源和逆变电源用变压器铁芯；开关电源用变压器、滤波器及互感器等磁性器件；各种电抗器和滤波器用铁芯；磁放大器及尖峰抑制器铁芯；抗EMI和抗噪声干扰器件；在高灵敏度场合下使用的各种磁性器件。