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1、干涉检测的基本原理干涉检测技术是以光波干涉原理为基础进行测量的一门技术,干涉检测是基于 光波叠加原理，在干涉场中产生亮、暗交替的干涉条纹，通过分析处理干涉条纹 获取被测量的有关信息。当两束光亮度满足频率相同，振动方向相同以及相位差恒定的条件，两束光就会 产生干涉现象。常见的干涉仪有迈克尔逊干涉仪、斐索干涉、泰曼一格林干涉。 迈克尔逊干涉仪的原理为；G2是一面镀上半透半反膜，Ml、M2为平面反射镜， M1是固定的，M2和G1精密丝相连，使其可以向前后移动，最小读数为10-4mm, 可估计到10-5mm, Ml和M2后各有几个小螺丝可调节其方位。当M2和Ml 严格 平行时，M2会移动，表现为等倾干
2、涉的圆环形条纹不断从中心“吐出”或向中心 “吞进”。两平面镜之间的“空气间隙”距离增大时，中心就会“吐出” 一个个 条纹；反之则“吞进”。M2和Ml不严格平行时，则表现为等厚干涉条纹，在 M2移动时，条纹不断移过视场中某一标记位置，M2平移距离d与条纹移动数N点衍射干涉仪的原理点衍射干涉仪的基本原理就是用小孔产生接近理想的波前作为参考波，与测量 波面干涉，形成条纹，如图所示，当入射波一前经过会聚透镜时，会在小孔处形 成一个弥散斑，小孔或者不透明圆盘的吸收膜片使其中一部分光线衍射产生参考 球面波；另一部分光线直接透过小孔或者膜片，其波前形状不发生变化而振幅被 膜片所衰减，这部分保持原来入射波前波
3、形的光束作为测量光束，两束光在点衍 射板的后方发生干涉形成干涉条纹。与传统的干涉仪相比有以下的优点:(1)由于参考光波与被检光波是共光路的，所以受机械振动、空气扰动和温度变 化等环境因素影响小；(2)系统结构简单，不容易产生杂散光，便于操作；(3)在点 衍射干涉仪中，不需要标准镜，因此测量结果不受标准镜头加工精度的限制，这 就为达到高精度的光学球面检测提供了非常广阔的前景。不足：其自身的结构的特点决定了获取干涉图的局限性，例如移相技术引入难度高，倾 斜和离焦量调整不易，小孔高精度对准难。改进： 为了克服这些缺点，人们对如何改进其结构以及如何实现移相干涉测量作了大量 研究，相继出现了液晶点衍射干涉仪(LCPDI)、光栅点衍射干涉仪、偏振点衍射 干涉仪(PPSPDI)、镀膜小孔点衍射干涉仪、光纤点衍射干涉仪等多种类型的移相 式点衍射干涉仪。干涉场的计算方法
点衍射干涉仪
