《韩一机操作规程》由会员分享，可在线阅读，更多相关《韩一机操作规程（2页珍藏版）》请在装配图网上搜索。
1、韩一真空镀膜机操作规程1. 机械检查关键此工程为检查Inter-lock（报警系统）.设备安装后需进行，请检查操作按装阀 （冷却水压键贴在水冷系统），按照水冷方法，水压价值变化大。控制设备后面 的气压6kgf/cm 2.加热结束后一般扩散甭的冷却水温度为22-28C。2. 检查工程1）不供应冷却水2）供应主电源。3）W-PS灯闪动时，报警工作。4）供应冷却水。5）冷却水灭灯时，报警停止。灯为“on”和冷却水供应状态下报警不工作时， 设定冷却水压键大。冷却水供应时状态灯还继续闪动时请检查适当的冷却水量和 设定适当的价值最少2.2Kg f/cm2。6）被气体控制器气压设定为6Kg f/cm2时需供
2、应6Kg f/cm2以上。气压键要设定 最少 5Kg f/cm2.3. 设备操作1）供应设备主电源。2）供应压缩气体。3）供应冷却水。4）按电源键和拨上控制箱（操作箱）里面的主键，通过此电源会供应。电源供应 时，此以自动操作为设计。报警工作时停门铃后请检查错误。5）按RUN操作键（设备准备状态）.按RUN操作键时，机械甭，萝茨甭（Mechanical booster pump）,低真空阀（Fore line valve）扩散甭（Diffusion pump）自动为ON状态，并且扩散甭（Diffusion pump）灯会闪动。主扩散甭加热器为加热主扩散甭的加热工作50分钟内灯会闪 动。过50分钟
3、，主加热器自动会停而不再闪动。只要扩散甭的主加热器工作， 扩散甭灯为ON.4. 真空室真空排气及自动操作电源供应后自动操作方式会选择。上述的准备状态结束后请开始自动操作，而 真空室为真空状太时请按入下开门方法进行操作。1）真空室真空排气1）按RUN操作键（5秒后，低真空阀为off 和粗真空阀为ON。）2）R/V（粗真空阀）为ON时，按RUN键。R/V（粗真空阀）将会关闭约5秒后 F/V（低真空阀）会打开而低真空阀打开后又过5秒后L/V（充气阀）将会打开。真 空室VENT结束后真空室门会自动打开而L/V将关闭。2）自动运行把设备准备以后开始自动运行。把产品安装在架，按如下顺序进行工作。操作之 前
4、，选择下面键为AUTO。（ROTATION, POCKET, SHUTTER, HEATER,电子束EXT 方 式）1）把产品安装在真空室内部的架上，关闭真空室门后按RUN键。（此时报警响 长一次，确认真空室门会感知门深头与否。自动运行真空工程（关上真空室门而 按RUN键）为如下。（F/V OFF （5秒后）n R/V ON（真空室低真空完成真空度5 x 10-2 Torr 真空计接点B2）n R/V OFF（5 秒后）n F/V ON（15 秒后）n M/V ON（5秒后）n加热器为ON，架旋转的过程自动会进行。2）自高真空蒸镀信号出来（蒸镀真空镀为2.0x10-5，真空计接点D4） IC-
5、5自 动开始，电子束自动点灯着蒸镀全自动地进行。3）蒸镀完成后从IC-5收到蒸镀完成信号阀门会自动工作如下（M/V关闭， HEATER关闭,ROTATION关闭n （冷却时间设定状态）冷却计时器工作结束n V/V ON的过程自动进行。4）VENT结束后真空室门自动打开。5）真空室门打开后把产品拿出。5. 排气工程1）按VENT S/W 键时，DELAY TIME 后排气。6. 工作结束后关上设备电源时，工作结束后关上设备时按如下方法关闭。1）使真空室真空化。2）使真空室真空化过程中到高真空使真空，真空室真空度达到约2.0 E-4Torr， 按S/OFF键，根据如下顺序阀会工作。M/V关闭，D/P关闭（50分钟后）n F/V关闭（5秒后）n R/P , MBP关闭（5秒后）n电源断绝
韩一机操作规程
