等离子刻蚀机

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1、等离子刻蚀机1、紧凑的台式设备、可调节的RF 功率、符合CE 安全标准。2、清洗舱：长6.5 (165mm) 英寸，直径6 (152mm) 英寸；3、常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等4、 1/8英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力5、 1/8英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换6、整机尺寸：11H x 18W x 9D（ 279mm x 457mm x 228mm）档位功率设置：输入功率200W* 7、功率为低、中、高档可调，应用射频线圈，产生的等离子功率对应表：低档功率范围：电压 716V DC 电流 10 mA DC 工作功率 7.16W中档功率

2、范围：电压 720V DC 电流 15 mA DC 工作功率 10.15W 高档功率范围：电压 740V DC 电流 40 mA DC 工作功率 29.6W 8、真空托盘石英材质托盘，调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。9、需配置采购高级无油真空泵系统支持各类活性气体的等离子体清洗处理；附带软管、软管箍、进气道适配器，定心环和摆动钳等连接套件。10、气体流量混合器各路气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入技术规格1、等离子清洗机主机1.1 台式设备、功率为低、中、高档可调，符合CE 安全标准。1.2腔体材质：圆柱形派热克斯玻璃舱； 1

3、.3 腔体尺寸：长 6.5 (165mm) 英寸，直径 6 (152mm) 英寸；1.4腔体容积： 3 升；1.5应用最大到30W 的射频线圈；1.6 1/8英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力；1.7 1/8英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换；1.8档位功率设置：输入功率200W；1.9应用射频线圈，产生的等离子功率对应表：1）低档功率范围：电压716V DC 电流 10 mA DC 工作功率7.16W2）中档功率范围：电压720V DC 电流 15 mA DC 工作功率10.15W3）高档功率范围：电压740V DC 电流 40 mA DC 工作功率29.6W

4、 2. 、真空油泵 Vacuum Pump2.1 峰值抽速： (60 Hz)5.1 m3/h 3、气体流量混合控制器3.1气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入处理样品。4. 、HQT-1扩展型样品托盘Vacuum Tray4.1石英材质托盘，调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。5、原装进口针型阀三通阀套装6、 RF 测试荧光灯管差示扫描量热仪技术规格一、 设备名称： 差示扫描量热仪二、 用途： 在程序温度控制下，测量样品的吸放热与温度（或时间）的函数关系，表征材料相变过程的特征温度及热焓。三、 交货期： 合同签订后三个月四、技术指标

5、和参数： 1.1温度范围 : -170600C 1.2制冷方式：双制冷系统，液氮制冷和机械制冷同时安装，使用时无需插拔，只需软件切换 1.3升 /降温速率： 0.001 500/min 1.4温度准确度 :0.1 C（标准金属） 1.5热焓准确度： 0.5%（标准金属1.6）温度重复性： 0.011.7热焓重复性： 0.1%1.8灵敏度： 0.1 w1.9测量范围： 750mW1.10 基线漂移： 10w（-50 300）1.11温度 /热焓校正：多点标样，非线性校正技术1.12 气流控制：内置式3 路质量流量计，软件自动切换1.13 自由转换的中英文智能控制/分析软件，支持Win 10 。1

6、.14 附件1）校准标样 : 1 套用于标定热焓和温度(含 6 个标样 , 全量程 )2）液氮制冷系统3）机械制冷系统4）配备 concavus 铝坩埚五、技术服务要求5.1 供应商必须提供仪器的现场安装调试并达到投标书指标要求的技术性能，并同时在现场对用户进行操作培训。5.2 仪器在调试验收合格后，提供壹年免费保修服务，在保修期内，所有服务及配件全部免费，保修期外，仪器终身维修。5.3 供应商在中国应设有保税库，保证能更及时地为用户提供备品备件。*5.4 供应商在国内必须设有分析仪器培训，免费为用户提供仪器的基本原理、操作、日常维护及基础分析仪器理论课程，并为用户不少于两人的国内免费培训。*

7、5.5 供应商提供为用户提供免费的电话咨询及技术服务。六、售后服务6.1 投标方应具有可靠的供货实力，在中国境内有维修站，并具有高素质的专业维修队伍。6.2 在接到用户维修请求后，应能在24 小时内作出快速响应，并在72 小时内到达现场。6.3 仪器整机保修期为12 个月（从最终验收合格后起）。七交货地点：客户指定地点LB膜分析仪1、工作原理：威廉法；* 2、内置微量天平的分辨率优于0.2 g；*3、测量传感器：直径0.51 mm ，特殊合金材质，能够测量粘稠样品的表面张力/表面压力； 测量传感器抗化学腐蚀，本仪器能够测量硫酸等强酸性样品；* 5、测量探针不含铂金，可被阳离子化合物充分润湿。测

8、量含阳离子化合物的样品时，阳离子化合物不会在测量传感器上吸附沉积。* 6、测量传感器不产生传统的信号滞后现象；也不会出现采用滤纸时的干燥和盐累积现象，那会产生很大的误差；* 7、压缩速度： 0.004 280 mm/min ；* 8、测量范围： 0 300 mN/m ；9、测量误差：小于0.1 %；10、检测器精度：高于0.01mN/m ；*13 、最大镀膜冲程：150 mm ；镀膜速度范围：0.06 300 mm/min ；*14 、最大镀膜样品（基片）载荷:500 g;最大样品（基片）厚度:3 mm;15、保护罩材质为丙烯酸，用于阻止气流对薄膜的扰动、灰尘积累到界面中；可利用保护气体来减少

9、荧光显微法和光谱法时的氧化和光漂白；16、外接气体连接头，用于向操作环境通入指定气体；17、模块化设计：可有表面势能测量、Brewster 角显微镜等多种功能配件选择；18、可沉积多层膜，并可做交替；19、主机尺寸：33 146 (h) cm ( 135.5 2.4英寸 )；20、总重量：3.55 kg (7.8 lbs)；21、样品需要量少：测量特殊样品的表面张力时只需300 L，测量表面势能时只需20 mL ；22、带石英玻璃（UV-VIS）窗的测量槽：测量生物样品时，记录膜的分子表面积A 与表面张力或表面压力 之间的函数关系；离子溅射仪一、主要组成：主机，靶材，机械泵，变压器、元素测定系

10、统二、工作条件：环境温度： 15-30相对湿度： 75%适用电源： AC100V,或者单相 220240V，50HZ 或 60HZ 接地电阻： 100三、技术参数：3.1 样品仓：硼硅酸盐玻璃工作腔，100mm（内径） x 125mm（高）；3.2 靶面至样品台距离：可调范围为20-50mm，3.3 溅射电流： 0-40mA3.4 溅射时间： 0999s3.5 溅射速率：（在压力为 7Pa,放电电流 40mA，靶材距离样品30mm 时） Au ：35nm/min，3.6 最大样品尺寸：直径60mm，高度 20mm3.7 靶材：根据需要，可选配Au， Pt，Au-Pd， Pt-Pd3.8 真空系

11、统：机械泵，转速135L/min3.9制冷方式：电制冷3.10能量分辨率（ MnKa 处）：探头优于 133eV3.11检测元素范围： Be4-Pu943.12有效晶体活区面积： 10mm23.13计数率：输出最大计数率500,000 CPS输入计数率 1000,000 CPS峰背比优于 20000:13.14最大图像采集分辨率40964096 像素3.15最大面分布分辨率40964096 像素*3.16面分布 3D 浏览模式*3.17 图像 3D 浏览模式*3.18 与微型 X 射线管集成在电镜上，能够实现全整合的EDS 和 XRF 分析，并且能够整合 EDS分析和 XRF 分析为一个定量分

12、析程序*3.19 图像获取与信号处理结合在一个模块*3.20 具有 8 个程序可选时间常数的数字信号处理器,可选时间为 0.25, 0.5, 1, 2, 4, 8, 16, 32（微秒）*3.21 能谱仪相关软件：要求软件功能完备，配备能谱仪专业分析软件及智能分析系统软件，包含以下标配内容：一键式自动采集谱图、标定、定量自动和峰及逃逸峰扣除高质量图像抓取面分布分析线扫描无标样定量分析数据管理与报告导入和导出 EMSA谱图格式 (ASCII 格式 )一个图像中可同时实现采谱以及点线 面分析线扫描与面扫描的定量分析有标样以及无标样ZAF定量分析徒手画随意选择分析区域图像处理 ( 注释、分割、拼图等 )X 射线面分布线扫描叠加相分析形态学自动颗粒物分析电子束漂移校正四、 质保4.1 仪器设备的保修期为一年。4.2 在保修期内，供货厂商在接到用户要求对所购仪器设备进行维修时，应在24 小时之内给予答复，并派出维修人员在七日内到达用户现场进行维修服务。4.3 提供仪器设备的安装、操作手册。4.4 提供仪器设备的维修保养手册。