SIC与GAN的发展中存在的问题

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1、SiC和GaN功率器件发展中存在的问题近年来,Si功率器件结构设计和制造工艺日趋完善，已经接近其材料特性决定的理论极限, 依靠Si器件继续完善来提高装置与系统性能的潜力十分有限。随着SiC和GaN外延材料和 器件制造工艺技术取得重大进展，各种SiC和GaN功率器件的研究和开发蓬勃开展起来。尽 管SiC和GaN功率器件取得了令人鼓舞的进展，已经有了许多实验室产品，而且部分产品已 经进入市场，但是SiC和GaN产品的大规模应用还需做大量工作。1 SiC功率器件发展中存在的问题在商业化市场方面： 昂贵的SiC单晶材料。由于Cree公司技术性垄断，一片高质量的4英寸SiC单晶片 的售价约5000美元，

2、然而相应的4英寸Si片售价仅为7美元。如此昂贵的SiC单晶片已经 严重阻碍了 SiC器件的发展。(2) Cree公司的技术垄断。由于Cree公司在世界各国申请了许多专利，严重制约了其 他公司在SiC领域的发展。在技术方面：(1) SiC单晶材料虽然在导致SiC功率半导体性能和可靠性下降的致命缺陷微管密度降 低和消除方面近年来取得很大进展，但位错缺陷等其他缺陷对元件特性造成的影响仍未解 决。(2) SiC器件可靠性问题。SiC MOSFET器件目前存在两个主要技术难点没有完全突破： 低反型层沟道迁移率和高温、高电场下栅氧可靠性。与Si MOSFET相比，体现不出SiC MOSFET 的优势。(3

3、) 高温大功率 SiC 器件封装问题。2 GaN 功率器件发展中存在的问题在商业化市场方面：GaN 单晶生长技术还不成熟，在一定程度上阻碍了 GaN 功率器件的广泛应用。由于受其 外延片结构的限制，使得基于硅基的GaN功率器件击穿电压多低于1200 V，从而限制了 GaN 功率器件在更高工作电压领域内的应用。蓝宝石衬底的 GaN 功率器件由于衬底低的热传导系数而限制了在大功率方面的应用。相 对昂贵的SiC单晶片同样会阻碍基于SiC衬底的GaN功率器件的广泛应用。GaN 功率器件在技术方面，同样存在着诸多挑战。(1) GaN材料不成熟：材料缺陷导致临界击穿电场下降、衬底漏电等是GaN功率器件 无

4、法达到其材料理论极限的主要原因之一。(2) 制造工艺不成熟：首先是增强型A1GaN/GaN HEMT制造工艺技术不过关，离商用 化还有一定的距离。其次是缺乏高质量的绝缘栅生长技术。再者，缺乏实用的掺杂技术。目前只有EPC、Transform、Tl、Navitas公司在低压IC技术方面获得商业化突破。(3) 电流崩塌效应的理论研究不成熟。(4) GaN 器件可靠性问题。(5) 大功率 GaN 器件封装问题。总结碳化硅和氮化镓在功率电子应用方面的发展都获得了很多重大的成就。600V-1200V 的碳化硅二极管技术已经成熟并商业化。虽然碳化硅三端功率器件在技术上还是存在一些问题，但某些企业已经可以提

5、供三种 碳化硅晶体管(SiC BJT, SiC JFET和SiC MOSFET)初步的产品，成熟的碳化硅晶体管将在未来几 年进入功率器件市场。据估计，在2018年和2019年，碳化硅功率器件市场份额将分别达到5亿美元和18 亿美元，而市场主流将从低压领域(1.2kV )转移到中压领域(1.2-1.7kV)。同时，由于基于硅衬底的氮化镓技术的巨大潜力，既能够大大降低成本，又能够保 持宽禁带半导体器件的优越性能，氮化镓二极管和氮化镓HEMT器件在较低电压领域拥有 巨大的潜力。从以上介绍的SiC材料生长及其器件研制的现状可以看出,SiC是非常有潜力的材料.SiC所 具有的卓越性能使其成为高频、大功率、耐高温、抗辐照的半导体器件的优选材料可广泛 应用于地面核反应堆的监控、石油勘探、环境监测及航空、航天、雷达、通信、大功率的 电子转换器、多色光信息显示系统及光集成电路等领域中