Alcatel-干泵产品-课件PPT

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1、Alcatel干泵发展路线图干泵发展路线图All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 2干泵产品范围干泵产品范围Alcatel干泵产品按工艺的难易和洁净程度区分有三类L/P/H：LIGHTMEDIUMHARSH集成式集成式 A100LRemote Series 2LMRemote Series 2PRemote Series 2HRemote A3P rangeRemote A3H rangeAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 3集成式干净工艺用集成式

2、干净工艺用L泵发展路线图泵发展路线图A100L V3100 m3/h 1.6 kWA120L 120m3/h 0.6kW能耗减少能耗减少 60%占地减少占地减少-40%抽速增加抽速增加+20%All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 4中等工艺用中等工艺用P泵发展路线图泵发展路线图Series 1Series 2A3P较高的抽速较高的抽速较少的占地面积较少的占地面积改善的改善的 MTBF(NF3)能耗减少能耗减少 40%占地减少占地减少-40%氮气消耗减少氮气消耗减少-30%All rights reserved 2007,

3、Alcatel Vacuum Technology2021/8/26-5苛刻工艺用H泵发展路线图 Series 1Series 2A3H最大处理流量最大处理流量 +90%较大的扭矩较大的扭矩 +100%温控范围温控范围 70C to 140CGeneration 4适应适应 8 500 units 现场实际证明的高可靠性现场实际证明的高可靠性 减少的减少的 hook-up 低噪音，低震动低噪音，低震动 许多大的许多大的OEM的标准用泵的标准用泵抽速抽速:95m3/h All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 7Remote

4、Series 2干泵干泵ADP/ADS Series 2应用于应用于Sub-Fab的干泵系统的干泵系统 优异的性能优异的性能 优异的稳定性优异的稳定性 安装台数超过安装台数超过 20 000 台台抽速:95m3/h to 1800m3/h 征对最苛刻工艺的经过现场应用证征对最苛刻工艺的经过现场应用证明的干泵技术明的干泵技术堆叠式集成安堆叠式集成安装方式装方式All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 8Remote A3P 系列干泵系列干泵抽速范围：抽速范围：100 to 1000 m3/h 1600 to 20 000 l/

5、mn 能耗减少能耗减少:-33%to-53%占地减少占地减少:-34%to-45%使用成本较使用成本较Series 2 的的P型泵有显著的降低型泵有显著的降低A103PA603PA1003P低能耗的系列干泵应用于中等工艺Etch(Dielectric,Poly)RTPAshing-StrippingImplant,.All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 9Remote A3H 系列干泵系列干泵抽速范围：抽速范围：600 to 1800 m3/h 10 000 to 30 000 l/mn 新的新的 functional

6、block A203H 可处理流量达到可处理流量达到 150 SLM 宽的温度控制窗口宽的温度控制窗口 对副产物粉尘的最大处理能力对副产物粉尘的最大处理能力征对最苛刻工艺征对最苛刻工艺大师级的设计大师级的设计A803HA1503HA1803H征对300mm的最苛刻工艺应用的干泵系列Metal EtchLPCVD,PECVD,HDPCVD,SACVD,MOCVD,ALD CVD.AlcatelAlcatel干泵技术及其优势干泵技术及其优势All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 11当前应用于半导体行业的干泵有三种技术:罗茨式

7、钩爪式螺杆式三种基本的干泵技术三种基本的干泵技术罗茨式钩爪式螺杆式All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 12从这三种技术中Alcatel选择多级罗茨技术作为设计和生产的核心技术和战略。(始于 mid 1980s).从设计到生产到服务，Alcatel 掌握多级罗茨技术的方方面面Alcatel 应用此技术于所有的干泵序列(抽速范围覆盖15 m3/hr to 3000 m3/hr)，而且得到现场的大量和长时间的使用证明可以可靠地适用于半导体各种工艺要求。Alcatel罗茨泵技术罗茨泵技术All rights reserved,

8、Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 13罗茨泵的工作原理All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 14 轴 +转子 +齿轮罗茨泵的工作原理All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 15无油连接无油连接(旋片泵旋片泵RVP含油含油)低压缩比低压缩比(5 to 50)在中真空时抽速较大在中真空时抽速较大总是与初级泵相连总是与初级泵相连(RVP or ADP).无法无法 承受热冲击承受热冲击不适用于高压条件不适用于高压条件(1

9、00 mbar)高压高压=生热生热=加速转子的热膨胀加速转子的热膨胀所以一般要达到一定压力（几个毫所以一般要达到一定压力（几个毫巴巴-几十毫巴）后才启动罗茨泵几十毫巴）后才启动罗茨泵罗茨泵的工作原理All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 16如果罗茨泵配置了旁通阀如果罗茨泵配置了旁通阀，则无需担心热冲击：，则无需担心热冲击：如果进气口压力过高，一部分如果进气口压力过高，一部分气体将会顶开旁通阀回流至进气体将会顶开旁通阀回流至进气口，维持而不超过罗茨泵的气口，维持而不超过罗茨泵的最大压差！最大压差！带旁通阀的罗茨泵可以和前级

10、带旁通阀的罗茨泵可以和前级泵一起在大气压下启动！泵一起在大气压下启动！可在大气压下启动的罗茨泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 17不带旁通阀的罗茨泵带旁通阀的罗茨泵可在大气压下启动的罗茨泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 18罗茨泵的马达通过一个电子变罗茨泵的马达通过一个电子变频器控制转速以控制压力频器控制转速以控制压力在进气口高压时，马达转低在进气口高压时，马达转低速旋转以限制气流量并控制速旋转以限制气流量并控制罗茨泵温度，来防止泵过热

11、，罗茨泵温度，来防止泵过热，而当达到低压时，还可以提而当达到低压时，还可以提高频率来获得更大的抽高频率来获得更大的抽速！速！可在大气压下启动的罗茨泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 19进气进气排气排气剖面图：2个半圆叶片全貌全貌干泵不需要前级泵干泵不需要前级泵.它可直接向大气排气它可直接向大气排气干泵的工作原理和构造All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 20进气口排气管冷却水工作原理工作原理干泵的工作原理和构造All rights reser

12、ved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 21Alcatel罗茨泵技术罗茨泵技术Alcatel 干泵设计构造：干泵设计构造：5 or 6 个压缩级设计每级竖向气体通路设计。宽大的中间级设计泵腔零件无特别涂层特别征对苛刻环境应用高级防腐材特别征对苛刻环境应用高级防腐材料料近三十年的经验近三十年的经验All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 22降低维修成本低的维修成本和高的可靠性低的维修成本和高的可靠性原创的原创的 Half Lobe 设计设计All rights reserved 200

13、7,Alcatel Vacuum Technology2021/8/26-23 宽的中间级宽的中间级从从Foreline过来的过量粉过来的过量粉尘可以通过此款的中间尘可以通过此款的中间级级Trap下来。延长泵的下来。延长泵的使用寿命。使用寿命。集成的中间级通路集成的中间级通路征对苛刻工艺的最优化设计征对苛刻工艺的最优化设计All rights reserved 2007,Alcatel Vacuum Technology2021/8/26-24跟其它技术的对比跟其它技术的对比螺杆式设计 为了达到要求的真空，为了达到要求的真空，内部需要很小的间隙，内部需要很小的间隙，转子需要很高的转子需要很高的

14、转速。转速。大量的螺旋式设计，大量的螺旋式设计，以防止气体的返流。以防止气体的返流。由于气体压缩集中在排气段，从而在排气端产生非常高的温度由于气体压缩集中在排气段，从而在排气端产生非常高的温度:从而在排气段需要直接的水冷，从而在排气段需要直接的水冷，这样导致温度控制非常困难，这样导致温度控制非常困难，易产生冷点。易产生冷点。由于气体压缩集中在高压排气段，非常高的能耗，即使泵工作在由于气体压缩集中在高压排气段，非常高的能耗，即使泵工作在极限压力。极限压力。All rights reserved 2007,Alcatel Vacuum Technology2021/8/26-25跟其它技术的对比跟

15、其它技术的对比Alcatel 罗茨泵跟螺杆泵的对比低的CoO(电能，水 )高可靠性(适中的转速,无特别涂层.)对苛刻工艺的适应性(宽的中间级,最优的温度控制,水平位置 )运行时膨胀运行时膨胀停泵时收缩，由于粉尘的累停泵时收缩，由于粉尘的累积，导致泵易卡死积，导致泵易卡死DustAll rights reserved 2007,Alcatel Vacuum Technology2021/8/26-26跟其它技术的对比跟其它技术的对比相互啮钩爪式设计 高压段高的压缩比，高压段高的压缩比，导致能耗高，导致能耗高，导导致局部热点。致局部热点。相对于罗茨气体通路径向设计和宽的中相对于罗茨气体通路径向设计

16、和宽的中间级，间级，钩爪式气体通路是轴向设计，钩爪式气体通路是轴向设计，粉尘沉积导致泵易卡死。粉尘沉积导致泵易卡死。气体存在内压缩，气体存在内压缩，导致压缩效率偏低。导致压缩效率偏低。相比于罗茨，低压段压缩效率低，相比于罗茨，低压段压缩效率低，导导致在低压段性能不足。致在低压段性能不足。为了达到高的压缩效率，为了达到高的压缩效率，需要很紧的需要很紧的间隙设计和特别的涂层。间隙设计和特别的涂层。All rights reserved 2007,Alcatel Vacuum Technology2021/8/26-27跟其它技术的对比跟其它技术的对比Alcatel 罗茨泵跟爪式泵的对比低的CoO(

17、电能，水 )高可靠性(较大的间隙,无特别涂层，简单的构造，优化的温度控制.)对苛刻工艺的适应性(宽的中间级,最优的温度控制,径向气体通路 )易维修(模块化设计,转子组装简单,)All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 28Alcatel低功耗的罗茨泵技术低功耗的罗茨泵技术Alcatel罗茨泵保持最低的功耗记录其它技术(claws,screw)在高压段高的压缩比导致搞得功耗。All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel 干泵 29AlcatelCoO的罗茨泵技术的罗茨

18、泵技术All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology干净工艺用泵功耗比较干净工艺用泵功耗比较 100 m3/h 500 m3/hIntegratedAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology中等工艺用泵功耗比较中等工艺用泵功耗比较 100 m3/h 500 m3/h 1000 m3/hAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology苛刻工艺用泵功耗比较苛刻工艺用泵功耗比较 500 m3/h 1200 m3/h 1800 m3/hAlcatel Series 2A

19、lcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyADP 122ADS 602ADS 1202ADS 1802600 m3/h 10 000 l/mn100 m3/h 1 600 l/mn1200 m3/h 20 000 l/mn1800 m3/h 30 000 l/mnADP/ADS 系列All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology集成式集成式A100，A300 系列A100LA300All rights reserved,Alcatel Vacuum Technolo

20、gy 3 种型号覆盖半导体所有工艺种型号覆盖半导体所有工艺LMLoad LockTransfer ChamberPVD SputteringAshing-StrippingDielectric EtchPoly EtchImplant sourceMedium CVDLPCVDMetal EtchPECVDPHAlcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology ADP122LM,ADS602LM 和和 A100L高强度机械设计，擅长反复循环抽速快无需氮气吹扫能耗低无温控LMA100L

21、Load LockTransfer ChamberPVD SputteringAlcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAshing-StrippingDielectric EtchPoly EtchImplant sourceMedium CVDPADP122P,ADS602P,ADS1202P,ADS1802P氮气稀释(最高可达60SLM)泵体温控（通过水冷系统）低COO，高可靠性Alcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights

22、 reserved,Alcatel Vacuum TechnologyLPCVDMetal EtchPECVDH ADS602H,ADS1202H,ADS1802H,A300H增强型氮气稀释回路（最高可达120slm）泵体温控(A300H双泵体温控)（通过水冷系统）粗真空组件采用特殊合金，有效抵抗最苛刻的副产品（高粉尘的有毒腐蚀成分）轴封保护（PTFE），隔离侵蚀性气体内置式加热带.罗茨泵自持高温.Alcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology监控系统监控系统Alcatel Se

23、ries 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology温度控制温度控制Alcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyADS干泵典型工作温度干泵典型工作温度Alcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyADS干泵在典型工艺干泵在典型工艺 LPCVD Nitride上的应用上的应用副

24、产品(氯化铵)始终维持在气相状态，防止了粉尘沉积Alcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology氮气吹扫系统氮气吹扫系统Alcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology真真空空泵泵的的接接口口Alcatel Series 2Alcatel Series 2干泵干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyTechnical

25、 specifications UnitsADP122ADS602ADS1202ADS1802Peak pumping speed 50 Hzm3/h9548010501700cfm55.82826171000l/mn158380001750028333Ultimate pressure Max(No Purge)50 Hzmbar3 10-22 10-32 10-39 10-4torr2.2 10-21.5 10-31.5 10-36.7 10-4Ultimate pressure Max(35 SLM Purge)50 Hzmbar9 10-29 10-39 10-36 10-3torr6

26、.7 10-26.7 10-36.7 10-34.5 10-3Power consumption at ultimate pressure 50 HzkW1.31.833.5max.continuouskW1.5357.5Cooling water,Quick connectors1/4 NPT1/4 NPT1/4 NPT1/4 NPTCooling water(min.)l/mn111.35gal/mn0.260.260.341.1Inlet connectionISO-K/KFDN50DN100DN100DN100Outlet connectionISO-KFDN40DN40DN40DN4

27、0Weightkg243378522540lbs54084011601190ADP/ADS 系列All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyLMPHMonitoringNo PurgePurge 0-60 SLMPurge 40-120 SLMStand-By PurgeFull protection against agressive gasesT regulationExhaust heatersClean process Medium processHarsh processAlcatel Series 2Alcatel Series 2干泵

28、干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology半导体工业常用干泵的设计是：半导体工业常用干泵的设计是：一个罗茨泵一个罗茨泵加加一个初级泵一个初级泵(干泵干泵)A300的设计理念All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA300 是罗茨泵与初级泵的整合体是罗茨泵与初级泵的整合体A300的设计理念All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology实现低成本与高性能的最佳匹配低能耗 1,5 kW低氮气消耗15 SLM for pump protection 低冷却水

29、消耗1,5 l/mn低维护成本无外加罗茨泵维修需要维修速度快润滑油用量很少A300的使用成本All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyTechnical specifications A300UnitsValuePeak pumping speed at 50Hz and 60Hz m3/h/cfm/l/mn320/190/5340Ultimate pressure(without N2 Purge)mbar/torr1.2 10-2/9 10-3Ultimate pressure(with 35 SLM N2 Purge)mbar/torr6

30、10-2/4.5 10-2Power consumptionat ultimate pressurekW1.5motor ratingkW2.2Power supply voltage200-208V/380-480V 3 phases 50/60 HzCooling water connection1/4 NPT quick connectors Cooling water(min.)l/h/gpm150/0.66Average Noise LeveldBA58Maximum Noise LeveldBA62Typical vibration levelG/mm.s-1/m0,6/4/5Di

31、mensions l x w x hmm844 x 310 x 323inches33.2 x 12.2 x 12.7Weightkg/lbs165/363Inlet/exhaust sizeISO-K/KFNW63/NW25A300的技术参数All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology干泵干泵A 100 LA 100 LAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA 100 L的技术参数的技术参数A 100 L中等工艺用新一代中等工艺用新一代A3P 干泵干泵All rights reserved,Al

32、catel Vacuum TechnologyRemote A3P 系列干泵系列干泵抽速范围：抽速范围：100 to 1000 m3/h 1600 to 20 000 l/mn 能耗减少能耗减少:-33%to-53%占地减少占地减少:-34%to-45%使用成本较使用成本较Series 2 的的P型泵有显著的降低型泵有显著的降低A103PA603PA1003P低能耗的系列干泵应用于中等工艺Etch(Dielectric,Poly)RTPAshing-StrippingImplant,.All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 干泵系列干泵

33、系列A103PA603PA1003P570 m3/h9 500 l/mn1000 m3/h20 000 l/mn120 m3/h2000 l/mnAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 系列系列 技术技术新的 A103P functional block6级罗茨设计新的马达低功耗集成的传输通路集成的消音器集成式设计，占地少大的进口级6级罗茨设计高得转速高抽速低底压All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 系列系列 技术技术 A103P block 应用于A3P系列所有泵运行于 50

34、/60 Hz or 100 Hz的大罗茨 以达到要求的抽气能力 A103PA603PA1003P相同的低功耗马达和变频器All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 系列系列:主要优点主要优点低功耗的系列干泵低功耗的系列干泵100 m3/h600 m3/h1000 m3/hPump modelunitsA103P ADP122P A603P ADS602P A1003P ADS1202PPower consumptionkW1,01,51,32,01,53,2Power consumption saving33%35%53%0,00,51,0

35、1,52,02,53,03,5100 m3/h600 m3/h1000 m3/h-33%-33%-35%-35%-53%-53%抽速范围：抽速范围：100 to 1000 m3/h 1600 to 20 000 l/mn 能耗减少能耗减少:-33%to-53%占地减少占地减少:-34%to-45%使用成本较使用成本较Series 2 的的P型泵有显著的降低型泵有显著的降低A103PA603PA1003PAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology低功耗技术低功耗技术:Alcatel的经验的经验功耗主要有三个因素:52%33%12%3%Compres

36、sionMotor/Frequency converterBearings/Gears/SealsOthers(Electronics,valves)All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology 气体压缩的功耗=每级的压缩功耗之和 每级的压缩功耗=P x 转子抽气容积V低功耗因素低功耗因素1:气体压缩气体压缩在一个集成的设计中泵的级数越多减少压差 P减少的容积V减少的压缩功耗All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology低功耗因素低功耗因素1:气体压缩气体压缩每一级的压缩功耗对比-35%010203040

37、5060708090100ADP122A103PCompression power(%)All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology新的高效率的马达用于Series 2干泵的真空密封的金属罐装马达被新的定子中填充树脂的马达代替。1。树脂2。填充树脂的定子 3。转子低功耗因素低功耗因素2:马达的改进马达的改进优点:减少能量耗散减少能量耗散减少定子与转子间的间距，提高了效率减少定子与转子间的间距，提高了效率减少了热损耗减少了热损耗超过15%的功耗节省All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 系列系

38、列功耗的节省功耗的节省功耗节省的例子 A3P Vs Series 2假设安装 400 台平均电价:0,05$/kWh年节省 6 MkWh=300 KUSD-53%All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology低的低的CoO电价:0,05$/kWh水:0,4$/m3N2:0,05$/m3-700$/year-300$/year每台泵节省Gen.2Gen.3All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 系列系列:低的占地面积低的占地面积显著的占地节省显著的占地节省Pump modelunits A103

39、P ADP122P A603P ADS602P A1003P ADS1202PDimension Lmm684830684830684995Dimension Wmm310390310390310390Dimension Hmm323580662875662985Footprint0,210,320,210,320,210,39Footprint Saving34%34%45%0,000,050,100,150,200,250,300,350,400,45100 m3/h600 m3/h1000 m3/h-34%-34%-34%-34%-45%-45%抽速范围：抽速范围：100 to 1000

40、 m3/h 1600 to 20 000 l/mn 能耗减少能耗减少:-33%to-53%占地减少占地减少:-34%to-45%使用成本较使用成本较Series 2 的的P型泵有显著的降低型泵有显著的降低A103PA603PA1003PAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology低的水消耗低的水消耗A3P水消耗跟Series 2 相近，但和竞争对手比，还是保持最低纪录Pump modelunitsADP122PComp.AComp.BADS602PComp.AComp.BADS1202PComp.AWater consumptionl/mn1,02

41、,03,5 to 81,34,03,5 to 81,35 to 8Water consumption saving74 to 84%60 to 84%50 to 88%All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology战略性的N2吹扫点设计，以防止：副产物的沉积。氟类物质的腐蚀。吹扫吹扫N2-68Dry pump presentation5 to 60 slm 可调可调Stand-BY 选项选项N2 supplyPressure regulatorPurge valveCalibrated jetsAnti-suck back valvesPressur

42、e sensorSeptember 2008All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology温度控制温度控制高效的温控管理，避免冷点泵体温度最高可设至 130C与泵体集成的排气消音器和单向阀可保持 较高的温度：不需附加的加热保温装置。不需单向阀的PM-69Dry pump presentationSeptember 2008All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology工艺上的适应性工艺上的适应性A3P 系列是由防腐蚀铸铁制造跟专用于Series 2H/A3的防腐材料相同。设及到的部分:定子&轴低压端轴承的防

43、化学气体腐蚀:Lip sealN2 吹扫保护-70Dry pump presentationSeptember 2008All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology电器界面电器界面OEM logical I/ORS232/485Lonworks and Devicenet interfaces connection网络连接A3P 应用同 Series 2 相同的电器界面All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 系列现场应用经验系列现场应用经验自 Q2 2006推出已有15%的交货占比应用:所有

44、中等工艺 如:Oxide/Poly etch(Amat,LAM,TEL,Mattson)Implant source(Axcelis,Varian)Ashing(PSK,Mattson)对其中的100台进行每日的监控数据表明有很高的可靠性(current MTBF 100 000 h)All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA103P 参考应用参考应用OEM 验证Implant source:Varian 810 HC(ESD version)Implant source Axcelis OHD&new OHELAM 2300 gas cali

45、bration chamberAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 系列技术参数系列技术参数-74Dry pump presentationSeptember 2008All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 系列抽速曲线系列抽速曲线-75Dry pump presentationSeptember 2008All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 与与 Series 2抽速比较抽速比较-76Dry pump present

46、ationSeptember 2008All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 与与 Series 2抽速比较抽速比较-77Dry pump presentationSeptember 2008All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 与与 Series 2抽速比较抽速比较-78Dry pump presentationSeptember 2008All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3P 与与 Series 2抽速比较抽速比较-

47、79Dry pump presentationSeptember 2008苛刻工艺用新一代苛刻工艺用新一代A3H 系列干泵系列干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyRemote A3H 系列干泵系列干泵抽速范围：抽速范围：600 to 1800 m3/h 10 000 to 30 000 l/mn 新的新的 functional block A203H 可处理流量达到可处理流量达到 150 SLM 宽的温度控制窗口宽的温度控制窗口 对副产物粉尘的最大处理能力对副产物粉尘的最大处理能力征对最苛刻工艺征对最苛刻工艺大师级的设计大师级的设计A8

48、03HA1503HA1803H征对300mm的最苛刻工艺应用的干泵系列Metal EtchLPCVD,PECVD,HDPCVD,SACVD,MOCVD,ALD CVD.All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology苛刻工艺用苛刻工艺用:A3H 系列系列冗余式冗余式 Pumping System 增加增加 yield&tool uptime 扩张的工艺处理窗口扩张的工艺处理窗口 减少的减少的CoO 影响影响安全自动化的设计概念 以 A1803H 泵为基础应用于 batch diffusion furnacesLPCVD TEOS LPCVD HCD D

49、CS现场验证的解决方案现场验证的解决方案All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3H 系列主要特点系列主要特点 主要特点:为最苛刻工艺最优化的设计为最苛刻工艺最优化的设计大流量大流量增强的温控增强的温控增强的粉尘处理能力增强的粉尘处理能力对腐蚀性化学物质的完全适应性对腐蚀性化学物质的完全适应性高的高的N2吹扫吹扫大启动扭矩大启动扭矩All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3H 系列一览系列一览 Primary pump:新的A203H functional block带旁通阀的 Roots

50、罗茨泵A803HA1503HA1803HA203H+RSV603 BWA203H+RSV1203 BWA203H+RSV1803 BWSeptember 2008-84Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAlcatel现场验证的多极罗茨技术:A203H 技术特点技术特点(1/4)September 2008-85Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology为最苛刻工艺最优化的设计为最苛刻工艺最优化的设计:大转子设

51、计大转子设计 大间隙，可以耐受更高的工大间隙，可以耐受更高的工作温度，处理更多的粉尘的能力作温度，处理更多的粉尘的能力款的集成式中间级款的集成式中间级 可以可以Trap更多的粉尘更多的粉尘而不影响泵的性能而不影响泵的性能竖向气体通路设计竖向气体通路设计 避免粉尘沉积到泵腔避免粉尘沉积到泵腔转达部分转达部分A203H 技术特点技术特点(2/4)September 2008-86Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology为最苛刻工艺最优化的设计为最苛刻工艺最优化的设计:低转速低转速 避免由于转动部分的离心力而

52、避免由于转动部分的离心力而使粉尘沉积到转到部分使粉尘沉积到转到部分马达驱动直接控制马达驱动直接控制 对应于高启动扭矩对应于高启动扭矩,保证泵在高负载时的泵的可靠性和性保证泵在高负载时的泵的可靠性和性能稳定性，能稳定性，防腐蚀材料防腐蚀材料A203H 技术特点技术特点(3/4)September 2008-87Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology为最苛刻工艺最优化的设计为最苛刻工艺最优化的设计:战略性的N2吹扫点设计，帮助稀释可凝性气体和小颗粒粉尘通过泵帮助稀释可凝性气体和小颗粒粉尘通过泵腔腔A203

53、H 技术特点技术特点(4/4)最大到最大到 120 SLMSeptember 2008-88Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA203H 技术特点技术特点新特点 跟ADP122H 比较:马达额定功率马达额定功率 4 kW 高的启动扭矩&大流量处理能力(up to 150 slm inlet gas flow)大的进口出口定子口径大的进口出口定子口径 160 mm/NW50 高的抽速&大流量处理能力 新的消音器新的消音器 多的粉尘处理能力 增强热管理功能增强热管理功能 扩展的温控范围(Hot&Col

54、d)September 2008-89Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA203H 技术特点技术特点:新消音器新消音器 管径管径 25 mm(Vs 14 mm on Series 2)September 2008-90Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology罗茨罗茨 1203BW/1803BW 主要特点主要特点 NW 160 进口定子直径，待双旁通阀跟适应于频繁抽气的应用跟适应于频繁抽气的应用增加了最大连续

55、处理流量增加了最大连续处理流量新的转子线型:同转速条件下增加+20%的抽速。September 2008-91Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology增强的热管理增强的热管理新的冷却水路和热管理技术扩张了泵的工作温度范围两定制版本:ELT versionExtended Low TemperatureEHT versionExtended High TemperatureAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology增强的热管理增强的热管理ELT versio

56、nExtended Low Temperature单独对 A203H&Roots的冷却水路附加的冷却板 对 A203H LP stage&RootsAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology增强的热管理增强的热管理ELT versionExtended Low Temperature冷却套件 集成与 A203H/RSV中间连接件中ELT Version:征对泵体表面和气体的降温幅度 Up to 80C 泵体表面温降Up to 130C 气体温降 特别应用:W PNL DepositionAll rights reserved,Alcatel Va

57、cuum Technology增强的热管理增强的热管理EHT versionExtended High TemperatureA203H:最高设定温度 up to 130CRSV1203/1803:对应需要的高温，可调的水流量EHT Version:高泵体表面温度特别应用:HARP USG/BPSG/TiN/HCD-DCS Nitride All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3H Vs Series 2 干泵比较干泵比较A3H 完全可替换Series 2:同尺寸同尺寸同样同样N2 和水接头和水接头同样电器界面同样电器界面All right

58、s reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3H 系列技术参数系列技术参数 50 HzAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3H 系列技术参数系列技术参数 60 HzAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA3H 系列抽速曲线系列抽速曲线September 2008-99Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA803H 抽速曲线抽速曲线September 2008-10

59、0Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA1503H抽速曲线抽速曲线September 2008-101Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyA1803H抽速曲线抽速曲线September 2008-102Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology应用经验A3H 系列发布于 Q2 2006，征对所有300mm苛刻工艺。已

60、经20%出货占比通过其中150台泵每日监控数据表明有很高的可靠性 (current MTBF 80 000 h)其中的一些苛刻工艺应用经验列表A3H 现场应用经验现场应用经验September 2008-103Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyAMAT Producer GT SACVD HARP/e-HARPA1503H 验证于AMAT SCLA收集泵每周的运行数据表明泵参数没有变化（如功率和排气压力）泵的使用寿命10倍于对手A3H OEM 验证验证September 2008-104Dry p

61、ump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyKOKUSAI QuixaceA1803H挑战性:超高的流量(200 SLM)通过Kokusai官方验证A3H OEM 验证验证September 2008-105Dry pump presentationAll rights reserved,Alcatel Vacuum Technology安装纪录安装纪录在韩国 超过500台主要应用工艺有:Novellus Vector PECVD SiH4Novellus Speed HDPCVDNovellus Altus W-C

62、VDGenus Lynx3 W-SixAMAT Producer:P-TEOS,HARP-USG,HARP/BPSG,HT-SiNATTO Maha200:P-TEOS,HT-SiNAMAT Tectra:TiN.ADK系列大抽速干泵系列大抽速干泵All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology大抽速干泵范围大抽速干泵范围Load Lock or T/CPhotovoltacSC(ALD,TaN,.)Harsh/CVD (PECVD Ni,)AD30KLAD70KLAD63KH/AD73KH61,700 l/mn3,700 m3/hAD40KH35,0

63、00 l/mn2,100 m3/hAD70KH61,700 l/mn3,700 m3/hAD100KH85,000 l/mn5,100 m3/hV=500 liters,1 Bar to 10-1 mbar25 s17 sEnhanced SAFETYOn a-Si/-Si-108All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyLoad-lock 解决方案-109All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology产品概况产品概况AD30KL/AD70KLAD30KL500 liters ATM 10-1 mbar

64、 25 s1 000 liters ATM 10-1 mbar 50 sAD70KL500 liters ATM 10-1 mbar 17 s1 000 liters ATM 10-1 mbar 34 s主要特征 大抽速(独一无二的Boost模式)占地面积小 低消耗q 减少功率消耗:自动待机模式q 冷却水需求量少q 不需要氮气吹扫AD70KLAD30KL-110All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology产品概况产品概况AD30KL/AD70KL主要特征 独立于干泵的第二支架*更低的维护开支更低的维护开支 50Hz和60Hz相同的性能对对 OEM而

65、言更容易系统集成而言更容易系统集成 节能:D1 option更低的能耗和更优良的极限真空更低的能耗和更优良的极限真空 排气消音器缩减噪声和对环境的热排放缩减噪声和对环境的热排放 即插即用系统(监视器,排气消音器,止回阀,快速接头,)减少系统连接时间减少系统连接时间*for AD70KL only-111All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyADKL 干泵概述干泵概述-112AD70KLAD30KLACP400RSV1803RSV2000All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyBoost/Sta

66、ndBy 概念概念自动 Boost/Standby 模式 减少能量消耗减少能量消耗BOOSTED 模式最长连续抽2分钟,STANDBY模式抽气时间:Boost/StdBy 比例=50%Ex2Soft Pumping10 s30 s20 sBOOST 模式StandBy 模式泵速低泵速低泵速高泵速高泵速低泵速低阀 开*阀 关PTime-113Ex1BOOST 模式StandBy 模式泵速高泵速高泵速低泵速低X =X*主阀All rights reserved,Alcatel Vacuum TechnologyD1 Option 功耗为原来1/3 极限压力增加极限压力增加 1 数量级数量级 减少噪音减少噪音节能节能 D1 OptionAD30KL&AD70KL可用:节能模式选择-114All rights reserved,Alcatel Vacuum Technology节能模式选择节能模式选择AD30KL,V=1500l,Boost 时间=60s总=0,7 kWh不选择 D1 Option总=0,35 kWh选择 D1 Option节约=0,35 kWh-50%-115All righ