活性炭滤网技术资料课件

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1、活性炭滤网技术资料课件1CARBON FILTER活性炭滤网技术资料课件2內容nAMC的來源與分類nAMC之影響n濾材種類與形式n濾網種類n考慮事項n檢測與監測活性炭滤网技术资料课件3AMC:Airborne Molecular Contamination活性炭滤网技术资料课件4無塵室的AMC：來源n製程化學品、反應副產物n溶劑 酸 鹼n清淨室物質的outgasingn人員：氨、硫化物n災害：溢出的化學物質n外部空氣：n循環空氣：活性炭滤网技术资料课件5SEMI F21-95 分類nAcidnBasenCondensablenDopant活性炭滤网技术资料课件6ACIDn一種腐蝕性物質其化學反

2、應性質為電子接受者nHF(Hydroflouric Acid)氫氟酸、HNO3（Nitric Acid）硝酸、H3PO4（Phosphoric Acid）磷酸活性炭滤网技术资料课件7無塵室濃度-ACIDContaminantConcentration Range(ppt)HF40k250kHNO320k250kH3PO410k400kH2SO410k300k活性炭滤网技术资料课件8BASEn一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子提供者nAmmonia、NMP、Methylamine活性炭滤网技术资料课件9無塵室濃度-BASEContaminantConcentration Range(ppt)Am

3、monia10k200kNMP20k300k活性炭滤网技术资料课件10CONDENSABLEn一沸點高於室溫的物質（非水）於大氣壓力下可凝結於清潔表面nHydrocarbons VOC、DOP活性炭滤网技术资料课件11無塵室濃度-CONDENSABLE ContaminantConcentration Range(ppt)Acetone20k250kToluene10k200k活性炭滤网技术资料课件12DOPANTn一化學元素會改變半導體原料的電性nBoron（硼）、Phosphours（磷）Arsenic（砷）活性炭滤网技术资料课件13無塵室濃度-DopantContaminantConce

4、ntration Range(ppt)Boric AcidND200kPhosphorousND5kArsineND50k活性炭滤网技术资料课件14AMC之影響nT-topping of resist by organic basesnForms crusty surface on resist-ammonianDefective epitaxial growthnUnintentional dopingnUneven oxide growthnChanges in surface properties,wettability,hydrophobizationnCorrosionnDecrea

5、sed metal pad adhesionnSilicon Carbide formation活性炭滤网技术资料课件15AMC之影響-IDeep ultraviolet(DUV)photoresist T-topping PHOTO Uncontrolled boron or phosphorus doping DF Etch rate shifts and corrosion ETCH SiC formation following pre-oxidation clean DF Threshold voltage shifts QA Nucleation irregularities (C

6、VD)TF High-efficiency particulate air(HEPA)filter degradation FE Wafer and stepper optics hazing PHOTO High contact resistance QA活性炭滤网技术资料课件16活性炭滤网技术资料课件17不能解答的問題n那一個製程的風險最大n晶片在這個製程的那一個步驟有風險n需要多長時間影響污染的風險n那一個濃度AMC會影響何製程的何步驟活性炭滤网技术资料课件18比較AMC 與Particle(class 1)AMCParticle尺寸3nm100nm數量3x 1013/m329/m3質量

7、5ng/m31pg/m3活性炭滤网技术资料课件19分子性污染-In化學性污染 非粒子 氣相污染n把分子視為比細塵小數十倍至數百倍數千倍的粒子n物理性質：數量大、重量輕、擴散n化學性質：有能力與他種化學物質反應產生不同的東西活性炭滤网技术资料课件20作用的方式n吸附污染物與吸附體間的物理作用力。活性碳、Silica Gel、活性鋁（氧化鋁）n反應污染物與吸附體間產生化學反應產生不揮發性物質。活性碳、活性鋁為基質化學吸附劑-改質活性碳活性炭滤网技术资料课件21改質活性碳n一些小分子化學物質如HF、NH4+等活性碳幾乎沒有辦法處理必須使用改質碳n改質活性碳是一種反應型n過錳酸鉀約含 4%KMNO4-

8、屬於萬用型，但對含硫物質較佳n酸性約含 10%磷酸，醋酸n鹼性約含 5 10%氫氧化鈉活性炭滤网技术资料课件22一些影響活性碳的因子n活性碳的顆粒大小n溫度n溼度n污染物本身的化學性質n影響吸附型的因子不一定會影響反應型活性炭滤网技术资料课件23比較CarbonKMNO4KOH揮發性有機物826臭氧10210二氧化氮649酸 HCl,HF,氯008硫化氫1810二氧化硫789有機硫589硝酸669活性炭滤网技术资料课件24濾材的種類n顆粒型n植入不織布型n不織布包覆型活性炭滤网技术资料课件25粒形MM1000 MM3000 MM7000 MM90004%過錳酸鉀活性碳10%磷酸5-10%氫氧化

9、鉀載體活性鋁活性碳活性碳密度0.80.50.80.55壓損50 fpm/1ft bed1“1.71.81.7活性炭滤网技术资料课件26不織布包覆型853147875基種g/m2600600600使用臭氧揮發性有機物氨有機胺類酸揮發性有機物活性炭滤网技术资料课件27濾網的種類 n鐵、鋁、紙框不織布nCarbon Tray(V-Bank)nBox type活性炭滤网技术资料课件28評估-污染n污染源在何處-外氣、製程產生n何種污染：溶劑、酸、鹼或其他n製程產生可否局部外排（以排氣櫃）n目前濃度為何？數據（自己檢測或請人檢測）n需要處理到何種程度活性炭滤网技术资料课件29評估-空調系統n目前是否有使

10、用Carbon filter or Chemical Filter，但還不能解決問題n空調箱是否有預留安裝Chemical filter 的位置-空間n風車馬力（靜壓）是否足夠-濾網壓損活性炭滤网技术资料课件30評估-濾網種類選擇n安裝於何處n產塵的影響n滯留時間-風速的影響活性炭滤网技术资料课件31評估-濾網種類 Carbon Trayn箱體需要很大空間n產塵很厲害n大都裝於外氣進口n可裝大量活性碳或其他化學性吸附劑 n壓損很大n初期成本較高，但更換的價格較低活性炭滤网技术资料课件32評估-濾網種類 包覆式n壓損低，可處理風量較大。nHEPA的框架即可使用不需特別裝置n很大的過濾面積、價格很

11、高n不產塵可放的位置較多，甚至於HEPA前亦可n濾材的選擇有三種，一般活性碳、酸性、鹼性活性炭滤网技术资料课件33評估-濾網種類 Pre Typen含活性碳不織布壓損與初級濾網差不多nNonwoven Carbon 含量太低(90 120g/m2)n除非沒有空間、且風車靜壓不足、萬不得已不要用。n沒有改質碳，只有一般活性碳。n除去一般異味。n活性碳粒一定會掉出，產塵。活性炭滤网技术资料课件34評估-濾材種類選擇n何種污染n是否酸鹼必須一起解決n萬用型能否解決-Carbon Filter、KMnO4n梅花型的排法、混合床活性炭滤网技术资料课件35壽命n很難估算，通常將客戶已知濃度送至國外估算n不

12、一定準確，其他不影響製程的一些東西亦會被吸附，而影響壽命活性炭滤网技术资料课件36檢測nIon Chromatography離子層析儀：陰離子、陽離子nGC-MS氣相層析儀-質譜儀：揮發性有機氣體nICP-MS：金屬離子nTAGA(Trace Atmospheric Gas Analyzer)微量氣體分析儀nCopper&Silver Coupon活性炭滤网技术资料课件37ISA Std S71.04-1985(I)n反應性監測-非獨特定量的量測n直接測量整體腐蝕能力n包含一個事先準備的銅或銀片於操作環境的置換n至少一個月活性炭滤网技术资料课件38ISA Std S71.04-1985(II)n於暴露期間污染物會與金屬表面產生薄膜n量測薄膜厚度n電解還原薄膜n確定薄膜厚度與性質