砷化镓材料

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1、砷化镓材料1 引言化合物半导体材料的研究可以追溯到上世纪初，最早报导的是1910 年由 Thiel 等人研 究的InP材料。1952年，德国科学家Welker首次把III-V族化合物作为一种新的半导体族来 研究，并指出它们具有Ge、Si等元素半导体材料所不具备的优越特性。五十多年来，化合 物半导体材料的研究取得了巨大进展，在微电子和光电子领域也得到了日益广泛的应用。砷化镓（GaAs）材料是目前生产量最大、应用最广泛，因而也是最重要的化合物半导 体材料，是仅次于硅的最重要的半导体材料。由于其优越的性能和能带结构，使砷化镓材料 在微波器件和发光器件等方面具有很大发展潜力。目前砷化镓材料的先进生产技

2、术仍掌握在 日本、德国以及美国等国际大公司手中，与国外公司相比国内企业在砷化镓材料生产技术方 面还有较大差距。2 砷化镓材料的性质及用途砷化镓是典型的直接跃迁型能带结构，导带极小值与价带极大值均处于布里渊区中心， 即 K=0 处，这使其具有较高的电光转换效率，是制备光电器件的优良材料。在300 K时，砷化镓材料禁带宽度为1.42 eV,远大于锗的0.67 eV和硅的1.12 eV,因 此，砷化镓器件可以工作在较高的温度下和承受较大的功率。砷化镓（GaAs）材料与传统的硅半导体材料相比，它具电子迁移率高、禁带宽度大、 直接带隙、消耗功率低等特性，电子迁移率约为硅材料的5.7倍。因此，广泛应用于高

3、频及 无线通讯中制做IC器件。所制出的这种高频、高速、防辐射的高温器件，通常应用于无线 通信、光纤通信、移动通信、GPS全球导航等领域。除在I C产品应用以外，砷化镓材料也 可加入其它元素改变其能带结构使其产生光电效应，制成半导体发光器件，还可以制做砷化 镓太阳能电池。表1砷化傢材料的主要用途材料名称制作器件主要用途砷化镓各种微波器件雷达、微波通讯、电视、移动通讯激光器、发光器件光纤通讯、照明显示红外器件小功率红外光源霍尔元件磁场控制激光调制器激光通讯高速集成电路高速计算机、移动通讯太阳能电池太阳能发电3 砷化镓材料制备工艺从 20 世纪 50 年代开始，已经开发出了多种砷化镓单晶生长方法。目

4、前主流的工业化生 长工艺包括：液封直拉法（LEC）、水平布里其曼法（HB）、垂直布里其曼法（VB）以及垂 直梯度凝固法（VGF）等。3.1 液封直拉法（Liquid Encapsulated Czochralski，简称 LEC ）LEC法是生长非掺半绝缘砷化镓单晶（SI GaAs）的主要工艺，目前市场上80%以上的 半绝缘砷化镓单晶是采用LEC法生长的。LEC法采用石墨加热器和PBN坩埚，以B2O3作 为液封剂，在2MPa的氩气环境下进行砷化镓晶体生长。LEC工艺的主要优点是可靠性高， 容易生长较长的大直径单晶，晶体碳含量可控，晶体的半绝缘特性好。其主要缺点是：化学 剂量比较难控制、热场的温

5、度梯度大（100150 K/cm）、晶体的位错密度高达104以上且分 布不均匀。日本日立电线公司于1998年首先建立了 6英寸LEC砷化镓单晶生产线，该公司 安装了当时世界上最大的砷化镓单晶炉，坩埚直径400mm,投料量50公斤，生长的6英寸 单晶长度达到350 mm。德国Freiberger公司于2000年报道了世界上第一颗采用LEC工艺 研制的 8 英寸砷化镓单晶。3.2水平布里其曼法（Horizontal Bridgman，简称HB ）HB法是曾经是大量生产半导体（低阻）砷化镓单晶（SCGaAs）的主要工艺，使用石 英舟和石英管在常压下生长，可靠性和稳定性高。 HB 法的优点是可利用砷蒸

6、汽精确控制晶 体的化学剂量比，温度梯度小从而达到降低位错的目的。HB砷化镓单晶的位错密度比LEC 砷化镓单晶的位错密度低一个数量级以上。主要缺点是难以生长非掺杂的半绝缘砷化镓单 晶，所生长的晶体界面为 D 形，在加工成晶片过程中将造成较大的材料浪费。同时，由于 高温下石英舟的承重力所限，难以生长大直径的晶体。目前采用HB工艺工业化大量生产的 主要是2英寸和3英寸晶体，报道的HB法砷化镓最大晶体直径为4英寸。目前采用HB工 艺进行砷化镓材料生产的公司已经不多，随着VB和VGF工艺的日渐成熟，HB工艺有被逐 渐取代的趋势。3.3垂直布里其曼法（Vertical Bridgman,简称VB ）VB

7、法是上世纪80 年代末开始发展起来的一种晶体生长工艺，将合成好的砷化镓多晶、 B2O3以及籽晶装入PBN坩埚并密封在抽真空的石英瓶中，炉体垂直放置，采用电阻丝加热， 石英瓶垂直放入炉体中间。高温下将砷化镓多晶熔化后与籽晶进行熔接，然后通过机械传动 机构由支撑杆带动石英瓶与坩埚向下移动，在一定的温度梯度下，单晶从籽晶端开始缓慢向 上生长。VB法即可以生长低阻砷化镓单晶，也可以生长高阻半绝缘砷化镓单晶。晶体的平 均EPD在5 000个/cm-2以下。3.4 垂直梯度凝固法（Vertical Gradient Freeze,简称 VGF）VGF工艺与VB工艺的原理和应用领域基本类似。其最大区别在于V

8、GF法取消了晶体 下降走车机构和旋转机构，由计算机精确控制热场进行缓慢降温，生长界面由熔体下端逐渐 向上移动，完成晶体生长。这种工艺由于取消了机械传动机构，使晶体生长界面更加稳定， 适合生长超低位错的砷化镓单晶。VB与VGF工艺的缺点是晶体生长过程中无法观察与判 断晶体的生长情况，同时晶体的生长周期较长。目前国际上商用水平已经可以批量生产 6 英寸的VB/VGF砷化镓晶体，Freiberger公司在2002年报道了世界上第一颗采用VGF工艺 研制的 8 英寸砷化镓单晶。表 2 GaAs 单晶生长方法比较工艺水平生产水平工艺特点低位错位错均匀性长尺寸大直径监控位错密度（cm-2）直径（英寸）位错

9、密度（cm-2）迁移率（cm2/（vs）LEC可观察104 1053、4、61X10460007000HB中等可观察1021032、31x103VGF很好不可观察102-5x10360007000VB很好不可观察102-5x10360007000生产规模批量生产批量生产批量生产批量生产4 国内外砷化镓材料发展现状半绝缘砷化镓材料主要用于高频通信器件，受到近年民用无线通信市场尤其是手机市场的拉动，半绝缘砷化镓材料的市场规模也出现了快速增长的局面。20032008年，半绝 缘砷化镓市场需求增长了 54%。目前微电子用砷化镓晶片市场主要掌握在日本住友电工（Sumitomo Electric）、费里伯

10、格（Freiberger Compound Materials ）、日立电线（Hitachi Cable） 和美国 AXT 等四家大公司手中。主要以生产 4、6 英寸砷化镓材料为主。费里伯格公司供 应LEC法生长的3、4、6英寸半绝缘砷化镓衬底，供应VGF法生长的4、6英寸半绝缘砷 化镓衬底。住友供应VB法生长的4、6英寸半绝缘砷化镓衬底。日立电线供应LEC法生长 的2、3、4、6英寸半绝缘砷化镓衬底。AXT供应VGF法生长的2、3、4、6英寸半绝缘砷 化镓衬底。表 3 国际砷化镓材料主要生产厂商主要厂商采用工艺晶体直径所在国家住友电工(Sumitomo Electric)LEC、VB4/6日

11、本费里伯格(Freiberger Compound Materials )LEC、VGF3/4/6德国日立电线(Hitachi Cable)LEC、HB2/3/4/6日本AXT (American XTAL Technology)VGF2/3/4/6美国目前中国的砷化镓材料生产企业主要以 LED 用低阻砷化镓晶片为代表的低端市场为 主，利润率较高的微电子用46英寸半绝缘晶片还没有形成产业规模。中国大陆从事砷化 镓材料研发与生产的公司主要有：北京通美晶体技术有限公司（AXT）、中科晶电信息材料北京）有限公司、天津晶明电子材料有限责任公司（中电集团46研究所）、北京中科镓英 半导体有限公司、北京国

12、瑞电子材料有限责任公司、扬州中显机械有限公司、山东远东高科 技材料有限公司、大庆佳昌科技有限公司、新乡神舟晶体科技发展有限公司（原国营 542 厂）等九家。北京通美是美国AXT独资子公司，其资金、管理和技术实力在国内砷化镓材料行业首 屈一指，产品主要以VGF法4、6英寸半绝缘砷化镓材料为主。其在高纯镓、高纯砷、高纯 锗以及氮化硼坩埚等方面均有投资，有效地控制了公司成本，2009年销售收入8 000万美元， 短期内国内其它各公司还难以和北京通美形成真正的竞争。中科晶电成立于2006年，主要从事VGF砷化镓单晶生长和抛光片生产，该公司为民 营企业，总投资为2 500万美元，在高纯砷和高纯镓方面也已

13、投资建厂。 2009年月产2英寸 砷化镓晶片10万片， 2010年月产达到15万片。该公司是目前国内发展速度最快的砷化镓企业。天津晶明公司成立于2007 年，由中国电子科技集团公司第四十六研究所投资，注册资 本 1400 万元，总投入约 5 000 万元。主要产品为 2 英寸 LED 用 VB 法低阻砷化镓晶体及抛 光片，兼顾少量34英寸半绝缘砷化镓单晶材料。目前拥用LEC单晶炉4台，VB单晶炉 60台，已建成一条完整的单晶生长及抛光片加工生产线，目前月产约为3万片。中科镓英公司成立于2001年，晶体生长只有两台LEC单晶炉，目前主要在国内购买 HB或VGF砷化镓单晶进行抛光片加工，销售对象主

14、要是国内的LED外延企业，月产约23万片。北京国瑞公司和扬州中显公司主要生产22.5英寸HB砷化镓单晶，山东远东公司主 要生产2英寸LEC （或称LEVB）砷化镓单晶，这三家公司的产品主要针对LED市场，其 单晶质量、成品率以及整体经营状况都很稳定。这三家公司目前都没有晶片加工工序，只能 将单晶卖给其它公司进行加工。大庆佳昌原主要从事LEC砷化镓单晶生长，曾生长出8英寸LEC砷化镓单晶样品。2009 年争取到政府立项投资1.3亿元，转向以VGF工艺生产LED用低阻砷化镓材料，目前已完 成厂房建设和小试生产，其产品定位主要在4英寸市场。新乡神舟公司主要从事LEC和HB砷化镓单晶生长,近期开始进行

15、VGF法砷化镓工艺 研究，目前的市场定位还不是很明确，主要以承担军工科研任务为主。表 4 国内砷化镓材料主要生产企业主要企业中科晶电信息材料（北京）有限公司天津晶明电子材料有限责任公司（46所）北京中科镓英半导体有限公司北京国瑞电子材料有限责任公司扬州中显机械有限公司山东远东高科技材料有限公司大庆佳昌科技有限公司新乡神舟晶体科技发展有限公司采用工艺VGFVB/VGF/LECLECHBHBLEC(LEVB)LEC/VGFHB/LEC晶体直径2/42/42/42/2.52/2.52/32/42/3所在地区北京天津北京北京扬州济宁大庆新乡5 我国砷化镓材料发展趋势我国的砷化镓材料行业，虽然受到国家的

16、高度重视，但由于投资强度不足且分散，研究 基础一直比较薄弱，发展速度缓慢。只是近几年由于半导体照明产业的拉动作用，部分民营 企业开始涉足这个行业，发展速度有所加快，但也仅限于LED用的低端砷化镓材料，集成 电路和功率器件用的大直径半绝缘砷化镓材料还是掌握在少数国际大公司手中，国内所用的 4-6 英寸半绝缘砷化镓晶片仍然基本全部依赖进口。目前，国内的半绝缘砷化镓材料，在常规电学指标上与国外水平大体相当，但是材料的 微区特性、晶片精密加工和超净清洗封装方面与国外差距很大。由于现在国内正处在从多研 少产向批量生产过渡的阶段，正在逐步解决材料的电学性能均匀性差、批次间重复性差等问 题，缺乏材料和典型器

17、件关系验证。另外关键设备落后也是造成上述局面的原因之一。我国砷化镓材料发展趋势将主要体现在以下几个方面： 增大晶体直径，目前发达国家6 英寸的半绝缘砷化镓产品已经商用化，国内4 英寸 产品还没有实现商用，这方面差距还比较大； 降低单晶的缺陷密度，特别是位错，提高材料的电学和光学微区均匀性； 提高抛光片的表面质量，针对 MOCVD 和 MBE 外延需求，提供“开盒即用”(Epi-ready) 产品； 研发具有自主知识产权的新工艺，近年国内外VGF砷化镓生长技术发展很快，已经 成为砷化镓材料主流技术，但核心技术仍掌握在少数国际大公司手中，应在VGF设备和工 艺方面加大投入力度。6 结束语砷化镓材料是最重要的半导体材料之一，其应用领域不断扩大，产业规模也在急剧扩张， 在民用与军事领域发挥着不可替代的作用。由于种种原因，我国的砷化镓材料产业发展速度 迟缓，与国际先进水平的差距还很大。砷化镓材料的发展方向是大直径、低缺陷、工业化大 规模生产。欧、美、日等发达国家在此方面占有绝对优势，我国应充分发挥国家和企业的力 量，加大对砷化镓材料研发的投入力度，尽快赶上国际先进水平。