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1、废气处理方案太阳能电池线的生产过程中涉及制绒、扩散、镀膜、印刷等工艺， 在生产过 程中会使用大量的化学试剂，如盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸、 氢氧化钾（或氢氧 化钠） 、硅烷、氨气、醇类等，这些化学试剂在使用过 程中会释放出大量的有 害废气，所排放的废气主要为氯化氢、氟化氢、 氯气、氮氧化物、氨气、硅烷、 醇类废气等，这些废气需要被有效的处 理，完全达到国家和地方的排放标准后才 能排入大气中。（一）废气分析1 、制绒工艺废气分析在制绒工艺过程中， 废气源主要为制绒及清洗设备， 废气种类因工艺 不同 而有区别，主要废气为氮氧化物、氟化氢气体（多晶工艺） ；碱蒸汽 及醇类 （单晶）。2、扩散工艺废气分
2、析扩散工艺涉及废气排放的设备主要是： 扩散炉、 石英管清洗机、 石墨 舟 清洗机等。扩散炉排出的废气是酸性废气及热废气，本项目酸性废气 主要为含氯 废气，如氯气等。石英管清洗机、石墨舟清洗机产生的废气 主要为含氟化氢及氯 化氢成分的酸性气体。3、镀膜工艺废气分析镀膜工艺涉及的主要设备为去磷硅玻璃清洗机及 PECV 等。去磷硅玻 璃清洗机产生的废气主要成分为氟化氢及氯化氢等；PECVD1气主要包含硅烷氨气 等。4印刷工艺废气分析 印刷工艺涉及的主要设备为印刷机和烧结炉， 产生的废气主要是一些 以脂 类和醇类废气为主的有机废气。二）废气抽风量设计及设备选择根据上述废气分析，太阳能电池生产线产生的废
3、气以处理方式来分可 分为三 类：酸碱废气、硅烷及氨气等特气、有机废气。1、酸碱废气净化系统 本项目涉及的酸碱废气来自制绒清洗机、扩散炉、去磷硅玻璃清洗机、 石英 管清洗机及石墨舟清洗机等，主要成分为HF/HCI/CI2/碱蒸汽等，这些废气均可 溶于水，可以采用酸碱中和的方式进行废气处理。一般采用 碱液喷淋方式进行废 气净化。本项目废气处理分为二部分：扩散间及其 他废气。扩散间的酸碱废气为 15OO0m3/h,选一套DGS-B-15型废气洗涤 塔进行处理；其他的酸碱废气采用一套 DGS-B-40型废气洗涤塔进行处理 其处理风量为4O00Om3/h。废气洗涤塔主要有以 下几部分组成：洗涤塔、 自动
4、加药系统、玻璃钢离心风机、玻璃钢风管、排风烟 囱及保护钢架、 电气控制柜等组成。设备工艺流程如下图：PH值泌计量泵口动加药箱废气洗涤塔离心风机（一用一备）排放烟囱水泵控制负压敎撫釆集一电控系统恒压变频控制流程图从车间工艺段抽出的酸碱废气在离心风机的作用下进入洗涤塔。在 洗涤塔内 部，中和液经喷淋系统喷洒而下，与废气中的酸性气体发生中 和反应从而起到净 化效果。为了提高净化塔的净化效率废气洗涤塔填料 采用特殊 PP 海胆型保尔环 以增大气液接触面积。 为了使中和液处于一个 最佳的吸收浓度并减少人力操 作，本系统采用自动加药系统对洗涤塔进 行氢氧化钠补充， 每套系统包括 1 个 自动加药箱，每个自
5、动加药箱包括1个PH计，1个计量泵，PH计根据净化塔箱 体内吸收液的PH值来控制计量泵的开关，从而实现自动加药。经废气洗涤塔净 化后的废气通过排放烟囱达标排放，排放标准为GB16297-1996大气污染物综 合排放标准二级标准。废气洗涤塔处理废气的主要化学反应为：NaOH+HF - N aF + 出 0N aOH+HCL N aCL+ H02Cl2 + H 20- HCl0 + HCl2HClO - 2HCl + O22、有机废气净化系统本项目有机废气以含脂类、醇类等挥发物为主，这些有机物微溶于水，不 能用常规的洗涤法处理。根据这些特点，本项目有机废气采用我公司研制生产的 活性炭纤维有机废气净
6、化器进行吸附净化。根据贵公司提供的工艺设备废气排放 量并结合我公司多年的实际经验，本项目选择一套SYWFL-4 NO.8 型*2组合式活 性炭纤维有机废气净化器，该组合式设备 处理能力为32O00m3/h。本设备主要有 净化器、离心风机及排风烟囱组成。净化器中吸附装置的主要成分是活性炭纤 维。活性炭纤维是超越活性炭(GAC)的咼效吸附材料，它具有咼度发达的微孔结构，吸脱附速度 快，净化效果好，在简单条件下，可以完全脱附等特点。他易于加工成毡、丝、 布等形状，成型较好，不易粉化，在振动下不会产生装填松动和过分密实现象。 活性炭纤维吸附容量大，耐热耐酸碱：ACF对汽油、醛类、酚类、烯烃等 有机蒸汽
7、吸附比GAC大几倍，对无机气体有很好的吸附能力(如NO， NO2， SO2， H2S HF HCL 等)吸附量比 GAC高的多它对微生物、细菌也有优良的吸附能力。工作流程如下:差压检测（更换滤料信号）离心风机（二用.备）:净化器*电控系统从车间工艺段抽出的工艺废气首先进入有机废气器， 在净化器内部废气经过多层活性炭纤维过滤吸附，吸附净化后的废气在离心风机的作用下，经过排放烟囱达标排放，排放标准为GB16297-1996大气污染物 综合排放标准二级标准。3、硅烷系统从 PECVD 工艺设备出来的废气主要为硅烷及氨气。硅烷是一种可燃 性气 体，并且易自燃（接触空气后就会燃烧），而氨气是一种可溶性气
8、体， 处理这些 混合废气分两步走：先燃烧后喷淋吸收。本项目选择一套 HWR-6 型不锈钢硅烷燃 烧塔，PECVD的工艺废气设备具体处理过程如下：含有硅烷及氨气等成分的混合废气通过管道进入不锈钢硅烷燃烧塔 中，在 燃烧塔内部的燃烧室内硅烷气体与通入的压缩空气接触燃烧，燃 烧后产生的二氧 化硅粉尘沉积从燃烧室底部的排渣口排出，而含有氨气 的其他废气进入喷淋洗涤 室。在喷淋洗涤室中，氨气与循环液发生反应 而被处理掉，处理完的气体经脱液 室脱液处理后由抽风机抽出，最后通 过排放烟囱排入大气，排出气体达到GB14554-93恶臭污染排放标准标准。当PECVD发生故障而出现应急排放时会 排出大量的纯硅烷，
9、为了 提高系统处理应急排放时的废气处理能力，本系统在燃烧塔前接二个不 锈钢硅烷应急燃烧筒。具体处理如下图:不用钢联坑爍烧塔燃烧塔燃缺窣 1 燃烧塔唏淋系纯不锈钢硅烷应急燃烧扁1d射02妗押1挥出拧剧&环星电控系纸离心风机（一用一备）|皿；史：畀.为了提高设备安全性，在进气方面采用压缩空气加新风补气的双进 风形 式；在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法；风 机采用一用一 备形式。这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到 极大保证。内部燃烧室 采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大 的情况下仍能正常工作，同时配 备了氮气吹扫保护系统，更加大了设备 的安全性，其中每台硅烷燃烧塔的氮气用 量为1.5m3/h。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣 口排出，这使粉尘收集 处理变得更容易、更有效。净化设备有限公司
废气处理技术方案复习过程
