半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引

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1、半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引1. 华民国八十九年 IOSH89T033 劳工安全卫生技术丛书 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 湿式清洗台 行政院劳工委员会劳工安全卫生研究所 华民国八十九年六月 2. 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引- 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 、熏烟系统、洗涤塔 湿式清洗台 行政院劳工委员会劳工安全卫生研究所 编印 3. 前言 半导体业近年来在国内发展迅速，不论在工厂数量或工厂规模都增长快速.安全技术虽

2、然与科技之发展共同成长，但因半导体业所使用之有害气体以及各项设备设施之本质不安全性,使得制程仍具有潜在危害。本指引乃针对晶圆厂种负压设施烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、湿式清洗台提出安全查核项目。晶圆厂制程尾气如未经由适当处理会引起火灾、卫生及环保等事故，而尾气处理牵涉熏烟排气系统、区域与央洗涤塔。烟控系统是否能发挥功能则关系到紧急应变计划与灭火防灾整体之成效。另湿式清洗台使用易燃性物质时常是晶圆厂火灾事故的源由。 国外对于半导体业设备设施之安全卫生有许多规范，较常被业者引用的有美国防火协会标准 NFPA318、半导体设备和材料国际组织之 SEMI F 标准及 SEMI S 指引、工厂互助工程公司

3、（Factory Mutual Engineering Corporation）FM 77、保险实验室（UL)、UFC（Uniform Fire Code）、UBC（Unifrom Building Code）、 UMC（Uniform Mechanical Code）等相关规范。国内法规目前尚未针对半导体业定出规范，业者则多参考国际认可之相关标准。 本指引乃参考国际之规范编撰,提供业界采购相关设备设施及工作员检查及维修时之安全标准参考,期能降低事故之发生，提升晶圆厂之安全卫生水平.本指引未臻完善之处，仍难避免，尚请诸位先进不吝指教。 本指引获工研院工安卫心之大力协助才得以完成,在此谨表谢忱。

4、 劳工安全卫生研究所 所长 华民国八十九年六月 4. 目录目录 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. i 图目录 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。ii 表目录 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.iii 壹、烟控系统（Smoke Control System）安全检核指引 。.。.。.。.。.。.。.。.。 1 、烟控系统 。.。.。

5、.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 2 、烟控系统安全检核表 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 4 贰、熏烟排气系统(Fume Exhaust System）安全检核指引 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 13 、熏烟排气系统 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 14 、熏烟排气系统安全检核表 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 15 参、洗涤塔（Scrubber)安全

6、检核指引 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 22 、区域性及央控制洗涤塔（Local and Central Scrubber） .。.。.。.。.。.。. 23 、区域性与央洗涤塔安全检核表 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 33 （）水洗式区域性洗涤塔设施安全现况检核表 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 35 （)吸附式(兼含加热）区域性洗涤塔设施安全现况检核表 。.。.。.。. 51 （）燃烧兼水洗式洗涤塔设施安全现况检核表 .。.。.。.。.。.。. 68 （）央控制洗涤塔设施安全检核表 。.。.。.。.

7、。.。.。.。.。.。.。.。.。 87 肆、湿式清洗台（Wet Bench）安全检核指引 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 93 、湿式清洗台 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 94 、湿式清洗台安全检核表 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 98 附件 安全互锁（Interlock）检核清单 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 121 附件 漏电流量测 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.

8、。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 122 附件 对电阻量测 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 123 附件 氧化碳灭火设备设置规则 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 124 附件五 超音波测漏技术 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 126 附件六 风机性能曲线分析 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 127 i 5. 图目录图 31 区域性洗涤塔在洁净室的配置图.。.。.。

9、.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 25 图 3-2 水洗式区域性洗涤塔设备图。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 28 图 3-3 吸附式(兼含加热）区域性洗涤塔设备示意图 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 30 图 4 湿式清洗台设备系统方块图 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 95 ii 6. 表目录表 11 排气与排烟兼用分析表。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.

10、。.。.。.。 3 表 1-2 烟控系统闸门查核。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 5 表 13 侦烟系统查核 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 6 表 14 排烟风机查核 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 7 表 1-5 烟控系统功能性设计查核.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 8 表 1-6 烟控系统功能及性能测试查核.。.。.

11、。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 8 表 17 洒水系统查核 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 9 表 18 电气安全查核 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 11 表 19 警急避难设备查核。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 11 表 110 紧急电源及耐燃、耐热配线查核。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。

12、.。.。.。.。.。.。. 12 表 111 烟控系统其它项目查核.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 12 表 21 熏烟排气系统设计查核。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 16 表 22 熏烟排气系统防火设计查核.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 19 表 2-3 排气风机查核 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 20 表 2-4 熏烟排气系统

13、锁/挂签查核。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 20 表 25 熏烟排气系统管路标示查核.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 21 表 2-6 熏烟排气系统双套管设备查核.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 21 表 27 熏烟排气系统管路噪音查核.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 21 表 3 区域性洗涤塔之优缺点比较 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。

14、.。.。.。 26 表 3-1-1 水洗式区域性洗涤塔设施状况.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 36 表 3-12 水洗式区域性洗涤塔电器安全.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 37 表 3-1-3 水洗式区域性洗涤塔化学品。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 39 表 31-4 紧急停机 （EMO， EMERGENCY OFF CIRCUITS）。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 41 表 31-5 安全互锁（INTER LOCK) .

15、。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 43 表 3-1-6 机械设备.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 44 表 31-7 般支持装置。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 45 表 3-1-8 文件数据.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 46 表 31-9 通风与排气.。.。.。.。.。.。.。.。

16、.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 48 表 31-10 维修.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 49 iii 7. 表 31-11 风险危害评估.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 49 表 3-112 其它.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 50 表 321 吸附式（兼含加热）区域性洗涤塔设施状况。.

17、。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 52 表 32-2 吸附式（兼含加热）区域性洗涤塔电器安全。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 53 表 32-3 化学品.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 55 表 3-24 紧急停机 EMO(EMERGENCY OFF CIRCUITS)。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 56 表 3-2-5 安全互锁（INTER LOCK) .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.

18、。.。.。.。.。. 58 表 3-2-6 机械设备.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 59 表 3-27 文件数据（DOCUMENTATION）.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 60 表 32-8 通风与排气。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 62 表 3-2-9 维修.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 6

19、4 表 32-10 风险危害评估.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 65 表 3211 其它.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 66 表 3-3-1 燃烧兼水洗式洗涤塔设施状况。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 69 表 332 燃烧兼水洗式洗涤塔电器安全。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 70 表 333 燃烧兼水洗式洗涤塔化学品.

20、。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 72 表 3-3-4 燃烧兼水洗式洗涤塔紧急停机 EMO（EMERGENCY OFF CIRCUITS）。.。.。.。. 74 表 3-3-5 燃烧兼水洗式洗涤塔安全互锁（INTER LOCK) 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 76 表 3-36 机械设备.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 77 表 3-3-7 般支持装置.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.

21、。.。.。.。 78 表 3-3-8 文件数据（DOCUMENTATION）。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 79 表 339 通风与排气.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 81 表 3-310 维修。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 83 表 3-311 风险危害评估。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.

22、。. 84 表 3312 其它。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 85 表 3-4-1 央控制洗涤塔设施状况。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 88 表 3-42 央控制洗涤塔材质.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 88 表 343 央控制洗涤塔电气安全。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 89 表 3-44 央控制洗涤塔位置。.。.。.。.。.。

23、.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 91 表 345 标示.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 91 表 3-4-6 停电复机。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 92 iv 8. 表 34-7 环保.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 92 表 41 湿式清洗台设施状况。.。.。.。.。.。.。.。.。.

24、。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 99 表 4-2 湿式清洗台电气安全。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 100 表 4-3 湿式清洗台安全互锁.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 103 表 44 湿式清洗台化学品.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 105 表 45 湿式清洗台紧急停机。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 107

25、表 4-6 湿式清洗台机器和自动化。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 108 表 47 湿式清洗台化学加热槽.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 111 表 48 湿式清洗台火灾防护。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 114 表 49 湿式清洗台通风排气。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 116 表 410 湿式清洗台风险评估.。.。.。

26、.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 118 表 411 工作场所 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。. 119 表 4-12 照明 。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 120 表 413 其它 .。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。.。 120 v 9. 壹、烟控系统（Smoke Control Sy

27、stem） 、烟控系统( ） 安全检核指引 1 10. 、烟控系统 晶圆厂内发生火灾，此时除采取紧急应变措施外，启动烟控系统除可有效排除熏烟,有利员逃离外，并可达到排烟控制减抑火灾之蔓延。烟控系统之设计需考虑火灾发生位置、传递之方式、排烟管道、排烟机耐火特性考虑等因素，部分晶圆厂以般排气系统兼用烟控系统，将无法达成火灾烟控防护之目的。 1. 系统概论 厂内烟控系统主要之功能在火警发生时，正确的连动闸门，将浓烟有效抽除，避免烟害扩散，伤及员、财物，所以烟控系统需能正确、有效作动,除考虑大火时，系统本身具备之耐燃耐热特性外,亦需可达成火灾程度变异时，火势的阻绝与烟气的防堵,当火警发生时，个设计得当

28、的烟控系统将发挥以功能： (1) 维持利于员逃生的环境。 (2） 控制并减少烟气扩散。 (3） 控制并保持未着火区域之环境,以利搜救灭火工作顺利进行。 （4） 保护员生命、减少财物损失. 希望达成述目的，因此烟控设计规划需符合列功能: （1） 保持火场为较低气压、保持火场以外区域为较高气压，如此气流由未 燃烧区域流至火场,但火场之烟气不可扩散至未燃烧区. （2） 送风管路送风至楼梯间及未燃烧区以利员逃生并维持正压，抽风系 统则自火场抽走烟气以利维持负压。 （3) 送风系统至楼梯间及未燃烧区域防烟风门开启、火场之风门关闭，抽 风系统则相反。 (4） 述控制模式为预先设定，亦可由计算机操控，此皆为

29、原则性订定，应 有现场操作系统以利消防员视状况调整操作模式. 2 11. 2。 排气与排烟兼用分析 表 1-1 排气与排烟兼用分析表 FM 7-7 2。2.2 制程区如提供列设计 除专用烟控系统外，亦可其它设置方式 无室内循环空气 无回风管 排气系统 NFPA 72A 可兼用原则: 部份室内循环空气 有排风管 同。 1。 提 供 外 气 (MA） 建 立高流量层流循环系统（侧壁 有回风管 安置闸门使回风管内 非火场区/楼层足够有回风管） 循环空气导致室外。 压差高架多孔板（perforated 安置闸门使回风管内 2.火场区/楼层提供足 raised floor)及有回风管 循环空气导致室外。

30、 够排烟能力(EX） 高架多孔板（perforated 安置闸门使回风管内 3.使用防烟闸门分 离 raised floor）、开放式夹 循环空气导致室外。 外 气 （MA) 及 火 场 排心 层 （open waffle slab） 烟(EX） 及有回风管 4. 满 足 NFPA 130 2 3。4 高流量层流循环系统(有回 回风气室 专用系统风 气 室 Return Air Plenum, RAP） 高架多孔板（perforated 专用系统 raised floor）及屋顶有回 风 气 室 Attic Return Air Plenum, ARAP) 高架多孔板（perforated 专

31、用系统 raised floor)、开放式夹心 层 （open waffle slab） 及屋顶有回风气室 Attic Return Air Plenum, ARAP） 3 12. 、烟控系统安全检核表 目的：针对国内半导体制造业晶圆厂之烟控系统，协助使用者建立系统或设备目的 于安装、试车、操作、维修保养及检验之自动检查表与指引.名词释疑:名词释疑 （1)烟控系统:凡于建筑物（包含洁净室)之防、排烟设备或软硬件设计，均统 称为烟控系统。 (2）防烟闸门:装于风管系统，于火警发生时隔断通风管路以免烟流扩散。 UL555 （3）防火闸门:装于风管系统，于火警发生时隔断通风管路以免火焰延烧,导 致灾

32、情发不可收拾.UL555 (4)寿命测试：使用电动马达、液压或气压制动器之防烟闸门应整组测试连续开 关 5000 次。若不使用制动器者应以手动操作 250 次。UL555 （5)温升测试：防烟闸门必须在额定温升环境（250、350、450） 5%于 关闭状态试 30 分钟后,应能正常操作 3 次。UL555 (6)泄漏率测试：闸门内外压差达到 1 吋及 4 吋水柱压力再量测其泄漏率。 （7)水柱冲击:为了确保防火风门于消防水柱冲激及急速冷却仍保持正常功 能，如个 3 小时时间额定平方呎大小之防火风门作水柱冲击 测试时,须以 45PSI 之水压作 12 秒之冲击测试. （8）动态测试：动态防火闸

33、门须依安装位置(风管、楼板、墙壁)及送风方向 （垂直、水平吹、水平吹），分别进行各项测试。 (9)防火墙：较般墙壁能够抗火，通常至少可达 24 小时，其结构通常为较坚 固的混凝土、砖或石膏等。 （10）回风系统：洁净室之垂直气流经高架板之回风气室,再送回 HEPA 或 ULPA 过滤器方气室（plenum)之循环系统。 (11）K 值资料表：为洒水系统之设计参数，与洒水头之型式、大小、使用水源之 流量范围等有关。 (12）水力计算书: 洒水系统管路输送水量、洒水头喷出水压、系统压损及 pump 动力源等设计相关数据。勾选字段定义:勾选字段定义 (1）符合：该设备满足且符合此法规标准。 （2）不

34、适用：指出该设备未采用该项法规标准或其它可应用安全基准评估. （3）信息不足：必须提供进步数据才能决定该设备是否满足且符合此法规标准. （4)不符合：该设备不符合此法规标准。 (5）现况描述：有符合与不符合状况的争议时，亦或是设备无符合、不符合判 定,仅就现况进行记载。 4 13. 表 12 烟控系统闸门查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 1.1 防烟闸门（Smoke Damper)之各项 UL555S 风量泄漏 文件审查 符合 功能测试如寿命测试、温升测 闸 门 开 闭 功 配 合 相 关 工 程 不适用 试、泄漏率测试、操作测试及安 能失效 员检验 信息不足

35、装方式、材质选用是否符合法规 不符合 标准？ 现况描述 1.2 防火闸门（Fire Damper）之各项功 UL555 文件审查 符合 能测试如加温、水柱冲击、动态 配 合 相 关 工 程 不适用 测试(安装位置及送风方向）及材 员检验 信息不足 质选用是否符合法规标准？ 不符合 现况描述 1。3 除制程排气任何风管通过防火墙 1.UBC 烟流/火源范 配 合 相 关 工 程 符合 或走 廊是 否 有装 设防 火 / 防烟 闸 2.FM 77 围扩散 员检验 不适用 门? 3。建筑技术规则 信息不足 4。各类场所消防安 不符合 全设备设置标准 现况描述 1。4 防火闸门不应装设在制程排气管 1

36、。NFPA 318 配 合 相 关 工 程 符合 内. 2。UFC 员检验 不适用 信息不足 不符合 现况描述 5 14. 表 1-3 侦烟系统查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 2。1 是否于补充空气游处与回风系统 1.FM 77 烟 流 污 染 清 净 配 合 相 关 工 程 符合 游(补充空气稀释之前）设置侦烟 2.NFPA 318 室 机 台 及 产 员检验 不适用 系统? 品,有危害 信息不足 员安全之虑。 不符合 现况描述 2.2 侦烟系统是否能发出警报、关闭回 系 统 功 能 失 配 合 相 关 工 程 符合 风闸门,及打开排气闸门将清净室 效 ，

37、有 危 害 员检验 不适用 内烟及其它污染物排出？ 员安全之虑。 信息不足 不符合 现况描述 2。3 对于不同洁净等级之场所是否设置 侦 烟 器 功 能 无 文件审查 符合 不同灵敏度或分布密度之侦烟设备？ 法正常发挥， 配 合 相 关 工 程 不适用 有 危 害 员 安 员检验 信息不足 全之虑 不符合 现况描述 6 15. 表 14 排烟风机查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 3.1 排烟风机是否相关之认证数据（如性 排烟系统失效 文件审查 符合 不适用 能曲线图） 信息不足 不符合 现况描述 3.2 排烟风机之起动器及其控制装置是 NFPA 130 火 源

38、破 坏 排 烟 文件审查 符合 不适用 否安装于具有防火等级至少小时 风机功能 配合相关工程 信息不足 之材质或箱体隔离？ 员检验 不符合 现况描述 3.3 是否有至少台连接紧急电源之备 FM 77 主 要 排 烟 风 机 配 合 相 关 工 程 符合 不适用 用排烟风机？ 失 效 影 响 排 烟 员检验 信息不足 性能 不符合 现况描述 3.4 是否有装设烟/污染源控制系统之自 员安全 配 合 相 关 工 程 符合 不适用 动开关与清净室外明显处之手动开 员检验 信息不足 关？ 不符合 现况描述 3。5 排烟风机与风管接合处是否使用耐 烟 控 排 烟 效 率 现场目视 符合 不适用 燃、耐热

39、材质作接合? 大减 信息不足 不符合 现况描述 7 16. 表 15 烟控系统功能性设计查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 4.1 排烟设备如排烟量估计、进风及排 各类场所消防 排 烟 系 统 功 能 文件审查 符合 烟口面积、位置与数量、防烟垂壁 安全设备设置 不佳 配 合 相 关 工 程 不适用 信息不足 设计、排烟机能力等是否有参考国 标 准 第 员检验 不符合 内外法规及其功能性设计？ 188190 条 现况描述 4。2 空间区隔是否恰当？ 排 烟 系 统 功 能 文件审查 符合 不佳 配 合 相 关 工 程 不适用 信息不足 员检验 不符合 现况描述 4

40、。3 防烟垂壁的设置是否恰当? 符合 不适用 信息不足 不符合 现况描述 表 16 烟控系统功能及性能测试查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 5。1 是否有定期对烟控系统如侦烟器、 FM 设备无法/不正 文件审查 符合 感知器、闸门及排烟风机等进行测 常运作 配 合 相 关 工 程 不适用 信息需求 试？ 员检验 不符合 现况描述 8 17. 表 17 洒水系统查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 6。1 清净室或清净区是否装设核准使用 烟流/火源快速 配 合 相 关 工 程 符合 的快速反应洒水器? 扩散 员检验 不适用 信息不足 不

41、符合 现况描述 6。2 洒水器之分布面积及密度是否有参 1。NFPA 318 灭火功能不彰 配 合 相 关 工 程 符合 考相关国内外法规安装？是否有 K 值 2。各类场所消 员检验 不适用 数据表及水力计算书? 防安全设备 信息不足 设置标准 不符合 现况描述 6.3 可燃性排气管道（内部截面直径等于 1。NFPA 318 烟流/火源于管 配 合 相 关 工 程 符合 或大于 10 英吋）应有内部自动洒水 2。FM 7-7 路窜烧 员检验 不适用 器 3。UFC 信息不足 不符合 现况描述 9 18. 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 6.5 在运送可燃性化学物质之

42、传递出口 烟流/火源范围 配 合 相 关 工 程 符合 (passthrough）应装设自动洒水器 扩散 员检验 不适用 信息不足 不符合 现况描述 6.6 洒水器应易于作周期性检查及维修 紧 急 状 况 洒 水 文件审查 符合 器无法作动 不适用 信息不足 不符合 现况描述 6.7 自燃性、可燃性气体钢瓶柜内应安 1。FM 77 员安全 文件审查 符合 装作动温度 165(74）洒水器. 2。NFPA 318 气 体 钢 瓶 储 存 配 合 相 关 工 程 不适用 ClF3 与 水 会 产 生 激 烈 反 应 ， 因 此 3.UFC 之安全性 员检验 信息不足 ClF3 钢瓶不可安置洒水器。

43、 不符合 现况描述 10 19. 表 18 电气安全查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 7。1 设 备 需 有 符 合 法 规 之 锁 / 标 签 1。OSHA 29 CFR 感电及触电之 配 合 相 关 工 程 符合 不适用 （lockout/tagout)之装置，及锁/ 1910.147 危险 员检验 2。OSHA 29 CFR 信息需求 卷标之程序与说明，以备安装保养 1910。331 不符合 之需。 335 现况描述 表 19 警急避难设备查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 8.1 是否有火警探测器、火警警铃、紧 影响员火警

44、配 合 现 场 工 安 符合 不适用 急广播及紧急照明灯？ 逃生 员检验 信息需求 不符合 现况描述 8.2 是否有完善的标示设备(如出口标示 各 类 场 所 消 防 影响员火警 配 合 现 场 工 安 符合 不适用 灯、通道指示灯)及避难器具？ 安 全 设 备 设 置 逃生 员检验 信息需求 标准 不符合 现况描述 8。3 是否有紧急电源插座? 影响消防员 配 合 现 场 工 安 符合 不适用 灭火工作 员检验 信息需求 不符合 现况描述 11 20. 表 110 紧急电源及耐燃、耐热配线查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 9.1 各项消防设备（如洒水设备、自动

45、/ 1.各类场所消 员逃生安全 文件审查 符合 手动警报设备、指示设备、排烟设 防安全设备 消 防 设 备 功 能 耐热温度75 不适用 备等）是否有设置紧急电源?与这些 设置标准 失效 FPI6 信息需求 消防设备有关之电气配线是否有依 2。屋内配线规 不符合 其重要性使用耐燃或耐热配线及按 则第 16 条 现况描述 电缆装置法施工？ 3.FM 77 表 111 烟控系统其它项目查核 查核项目 标准依据 危害分析 检验方法 检查状况 现场实况 10。1 是 否 有 完 整 之 烟 控 系 统 （ 如 设备功能失效 文件审查 符合 smoke/fire damper 、 smoke 员安全 不

46、适用 curtain 、 detector/sensor 、 消 防 信息需求 设备及排烟风机等）安装 、定期维 不符合 修、保养及检测之文件记录数据? 现况描述 12 21. 贰、熏烟排气系统（Fume Exhaust System） 、熏烟排气系统（ ） 安全检核指引 13 22. 、熏烟排气系统 半导体晶圆厂废气之排放般分为 4 大类型，分别为般排气系统，有机排气系统，碱性排气系统,毒酸排气系统，其般排气因输送空气，不列入熏烟排气系统，毒性、酸性物质般纳入相同管路，称毒酸排气系统。 在半导体晶圆厂通风排气系统，如无法达到最小输送速度及压力平衡要求，会产生系统不稳(甚至污染物回流）、震动及

47、噪音过大、粉尘沉积及有害气体聚集潜藏火灾爆炸之疑虑，虽然是负压系统，在系统维修、施工、检测不当也极易发生有害气体之泄漏，造成工作员暴露。 此外，压力平衡及稳定与良率有直接关系，但常因晶圆厂内空间有限,排气系统管路多弯折，造成排气效率降，此时增加排气量又易造成管内压力不平衡现象，而产生许多的困扰与不安全因素，所以熏烟排气系统安全与效能兼顾之首要重点即是整体性之设计施工. 在晶圆厂除般冷气空调、通风换气系统外,晶圆厂制程排气系统般通称为熏烟排气系统，因许多制程废气多属危险性、有害性物质,容易造成员健康、毒害或火灾爆炸、环境公害等诸多问题,所以在熏烟排气系统安全设计与查核是晶圆厂重要工作。 晶圆厂熏

48、烟排气般多概分为酸、碱、毒、可燃性等不同类型排气系统、针对不同的功能与需求考虑依风管口径、材质、排风机性能等因素判断熏烟排气系统可否安全、有效的运作. 14 23. 、熏烟排气系统安全检核表目的：针对国内半导体制造业晶圆厂之熏烟排气系统，协助使用者建立系统或设备于目的 -安装、试车、操作、维修保养及检验之自动检查表与指引。 名词释疑：名词释疑 （1)制程排气系统:凡由制程设备机台所产生之酸、碱、有机溶剂或毒性化学物质 等，经风管进入管路排气系统，此类管路系统称为制程排气系 统。 (2）兼容性:指种或种以之化学物质,互相接触或混合不会产生化学反应者. （3）锁/挂签装置（lockout/tago

49、ut)：当系统或设备进行维护保养时，为防止电源开 关之误动或化学物质之逸散等情况发生，对 员产生危害，因此必须附有正在进行修护的标 示，及不准非专业员误启动的锁装置. (4)可燃性蒸体(Flammable Vapors)：存在气体之浓度超出此气体爆炸限浓度百分 之十。NFPA 318 （5）防火闸门：装于风管系统，于火警发生时隔断通风管路以免火焰延烧，导致灾 情发不可收拾。UL555 （6）安全互锁:当设备之制程参数异常时，感知器可侦测到并传送电气讯号(4-20Ma 或 315psi)至另项设备,且将该设备或仪器启动告知使用者或关断某 些进入制程之物质。确保设备不会导致进步的危害。 (7)最小搬运速度：局部排气系统，欲输送风管粉尘或有机溶剂之最小速度值。