洁净室噪音要求和检测规程完整

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1、洁净室噪音要求及检测规程洁净室不仅仅对室内空气洁净度有严格的要求，针对运行环境的噪音也有一定的国家标准参数，因为洁净室车间是一个相对密闭的、比较压抑的一个环境，如果噪音控制不当，很容易造成车间工作人员以及生产环境的恶化。 噪声的测定方法：当房间的面积不大于50m2时，仅测定房间中心一个点。当房间的面积较大时，每增加50m2增加一个测点。测点距离地面1.0m。当有条件时，宜测房间静态工况的噪声和本底噪声。 合格标准：应符合设计要求，根据（洁净厂房设计规范）的要求，洁净室空态情况下非单向流洁净室的噪声不应大于60dB（A）。单向流和混合流洁净室的噪声不应大于65dB（A）。洁净厂房设计规范4.4.

2、 噪声控制1洁净室内的噪声级（空态），非单向流洁净室不应大于60dB（A），单向流、混合流洁净室不应大于65dB（A）。洁净厂房的平、剖面设计应考虑控制要求。洁净室的维护结构应具有良好的隔声性能，并使各部分隔声量相接近。洁净室内的各种设备应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。5净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。洁净室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计。6净化空调系统，根据室内容许噪声级要求，风管内风速宜按下列规定选用总风管：6-10m/s；无送、回风口的支风管为4-6m/s；有送、回风口的支风管为2-

3、5m/s洁净室噪声控制洁净室噪声标准的制订主要考虑噪声的烦恼效应、语言通讯干扰和对工作效率的影响。国内对于噪声对于健康影响的研究表明，低于80dB（A）的一般工业噪声对健康的影响不太大。国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代。1966年制定的美国联邦标准209a和1974修订的209b规定“洁净室的噪声控制在可能进行必要的通话，满足操作或产品的要求，并使人员保持在舒适和安全的范围内”。在ISO/DIS14644-4标准（草案）中规定：“应根据洁净室内人的舒适和安全要求及环境（如其它设备）的背压级来选择适宜的声压级。洁净室的声压级范围为40-65dB（A）”。从搜集的国内外洁净室的噪

4、声标准来看，有以下几个特点：洁净室的噪声标准一般均严于保护健康的标准。在洁净室的环境下，噪声条件主要在于保障正常操作运行，满足必要的谈话联系，提供舒适的工作环境。绝大多数标准给出的允许值在65-70dB（A）范围，医疗行业更低。现行的大多数标准均以A声级作为评价指标，也有少数标准对于各频带声压级提出限制。少数标准按不同的空气洁净度等级分别给出噪声容许值，而大多数标准对不同的空气洁净度等级洁净室提出一个统一的容许值。对国内几个行业不同气流流型洁净室的静态和动态噪声所进行的分析表明，不同气流流型的静态噪声有较大的差异。非单向流洁净室的静态噪声实测值在41-64dB（A），平均为54dB（A）；单向

5、流、混合流洁净室的静态噪声实测值在51-75dB（A），平均为65dB（A）。非单向流洁净室较之单向流洁净室的静态噪声平均值约低11dB（A）o非单向流洁净室和单向流、混合流洁净室静态噪声的差异与其送风量（或换气次数）和净化空调系统的特征有关。控制设备噪声首先应从声源上着手，设计时应选用低噪声设备。在某些情况下，由于技术或经济的原因而难于做到时，则应从噪声传播途径上来采取降噪措施。例如，把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。必须置于洁净室内的高噪声设备，亦可采用隔声罩隔绝噪声。国内有些洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间，或技术夹道或服务区内，洁净室噪声有明显的降低。洁净室的

6、静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声，静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的合理布置及合理的降噪措施。关于降低洁净室净化空调系统噪声的措施，国内外有关资料提出一些有效措施：现代洁净室概念一文中强调“选择那种能满足气流要求的噪声最低的风机，还应该采用弹性减振基础”。关于消声器的使用，文中说：“管道消声器在高频和中频范围内降低噪声是有效的，当风管敷设长度在15m内时，就应考虑采用消声器”关于风管的连接，文中说：“通风机和送风管道与回风管道之间，应采用柔性连接管隔开”还要求“将通风机外壳、静压箱和管道加上衬里”对风道系统采取消声和防止管道固体传声

7、等措施，洁净室噪声可以大幅度地降低。排风系统噪声对洁净室影响极大。以集成电路生产为例，在生产过程中，外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需要设排风系统。近年来，对于洁净厂房排风系统噪声治理日益受到重视，注意选用低噪声风机等。洁净室的密封性能比较好，噪声不易衰减，由于洁净室内的工作环境要求比较安静，按规定减少风管风速，既减少了净化空调系统的阻力，降低了风机压头和转速，减弱了风机噪声，又防止了风速过大而产生的附加噪声。人和净化洁净室噪音标准和洁净室噪音控制方法洁净室在使用期间，除了要对你洁净度、温湿度做测试和控制之外，对噪音标准也需要控制。人和净化解析洁净室噪音标准和洁净室噪音控制方法。人和净化洁净

8、室噪音标准洁净室噪声标准的制订主要考虑噪声的烦恼效应、语言通讯干扰和对工作效率的影响。国内对于噪音对于健康影响的研究表明，低于80dB(A)的一般工业噪声对健康的影响不太大。国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代。1966年制定的美国联邦标准209a和1974修订的209b规定：“洁净室的噪声控制在可能进行必要的通话，满足操作或产品的要求，并使人员保持在舒适和安全的范围内”。在ISO/DIS14644-4标准(草案)中规定：“应根据洁净室内人的舒适和安全要求及环境(如其它设备)的背压级来选择适宜的声压级。洁净室的声压级范围为40-65dB(A)”。从搜集的国内外洁净室的噪音标准来看

9、，有以下几个特点：洁净室的噪音标准一般均严于保护健康的标准。在洁净室的环境下，噪声条件主要在于保障正常操作运行，满足必要的谈话联系，提供舒适的工作环境。绝大多数标准给出的允许值在65-70dB(A)范围，医疗行业更低。现行的大多数标准均以A声级作为评价指标，也有少数标准对于各频带声压级提出限制。少数标准按不同的空气洁净度等级分别给出噪声容许值，而大多数标准对不同的空气洁净度等级洁净室提出一个统一的容许值。对国内几个行业不同气流流型洁净室的静态和动态噪声所进行的分析表明，不同气流流型的静态噪音有较大的差异。非单向流洁净室的静态噪声实测值在41-64dB(A)，平均为54dB(A);单向流、混合流

10、洁净室的静态噪声实测值在51-75dB(A)，平均为65dB(A)0非单向流洁净室较之单向流洁净室的静态噪声平均值约低11dB(A)o非单向流洁净室和单向流、混合流洁净室静态噪声的差异与其送风量(或换气次数)和净化空调系统的特征有关。控制设备噪声首先应从声源上着手，设计时应选用低噪声设备。在某些情况下，由于技术或经济的原因而难于做到时，则应从噪声传播途径上来采取降噪措施。例如，把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。必须置于洁净室内的高噪声设备，亦可采用隔声罩隔绝噪声。国内有些洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间，或技术夹道或服务区内，洁净室噪声有明显的降低。洁净室的静态噪声主

11、要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声，静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的合理布置及合理的降噪措施。关于降低洁净室净化空调系统噪声的措施，国内外有关资料提出一些有效措施：现代洁净室概念一文中强调“选择那种能满足气流要求的噪声最低的风机，还应该采用弹性减振基础”关于消声器的使用，文中说：“管道消声器在高频和中频范围内降低噪声是有效的，当风管敷设长度在15m内时，就应考虑采用消声器”关于风管的连接，文中说：“通风机和送风管道与回风管道之间，应采用柔性连接管隔开”。还要求“将通风机外壳、静压箱和管道加上衬里”。对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施，

12、洁净室噪声可以大幅度地降低。排风系统噪声对洁净室影响极大。以集成电路生产为例，在生产过程中，外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需要设排风系统。近年来，对于洁净厂房排风系统噪声治理日益受到重视，注意选用低噪声风机等。洁净室的密封性能比较好，噪声不易衰减，由于洁净室内的工作环境要求比较安静，按规定减少风管风速，既减少了净化空调系统的阻力，降低了风机压头和转速，减弱了风机噪声，又防止了风速过大而产生的附加噪声。洁净厂房设计规范里的噪音控制标准人和净化洁净室噪音控制1、洁净室内的噪声级(空态)，非单向流洁净室不应大于60dB(A)，单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)o2、洁净厂房的平、剖面设计

13、应考虑控制要求。洁净室的维护结构应具有良好的隔声性能，并使各部分隔声量相接近。3、洁净室内的各种设备应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。4、净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。洁净室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计。5、净化空调系统，根据室内容许噪声级要求，风管内风速宜按下列规定选用总风管：6-10m/s;无送、回风口的支风管为4-6m/s;有送、回风口的支风管为2-5m/s。城市区域环境噪声测量方法GB/T14623-93批准日期1993-08-10实施日期1993-08-10城市区域环境噪声测量

14、方法GBT14623-93本标准为执行GB3096城市区域环境噪声标准而制定本标准规定了城市区域环境噪声的测量方法。2引用标准GB3785声级计的电、声性能及测试方法JJG699积分声级计检定规程JJG176声校准器检定规程JJG778噪声统计分析仪检定规程3名词术语A声级用A计权网络测得的声级，用LA表示，单位dB。等效声级在某规定时间内A声级的能量平均值，又称等效连续A声级，用LAeq表示，单位为dB。式中：LA（t）棗t时刻的瞬时声级；T棗规定的测量时间。当测量是采样测量，且采样的时间间隔一定时，式（1）可表示为：式中：LAi棗第i采样测得的A声级n采样总数。昼问等效声级昼间A声级的能量

15、平均值，用Ld表示，单位dB。夜间等效声级夜间A声级的能量平均值，用Ln表示，单位dB。4.1.1 4测量条件4.1测量仪器测量仪器精度为2型以上的积分式声级计及环境噪声自动监测仪器，其性能符合GB3785的要求。测量仪器和声校准器应按JJG699、JJG176及JJG778的规定定期检4.2气象条件测量应在无雨、无雪的天气条件下进行，风速为5.5m/s:以上时停止测量。测量时传声器加风罩。5测量方法5.1测点选择测量点选在居住或工作建筑物外，离任一建筑物的距离不小于1m。传声器距地面的垂直距离不小于1.2m。测量时间测量分昼间和夜间两部分分别进行。采样方式仪器的时间计权特性为“快”响应，采样

16、时间间隔不大于1s。5.2 不得不在室内测量时，室内噪声限值低于所在区域标准值10dB。测点距墙面和其他主要反射面不小于1m,距地板1.21.5m,距窗户约1.5m。开窗状态下测量。5.3 铁路两侧区域环境噪声测量，应避开列车通过的时段。5.4 区域环境噪声的普查方法依照附录A.附录A城南区域环境噪声普查方法（补充件）A1适用范围本方法适用于为了解某一类区域或整个城市的总体环境噪声水平，环境噪声污染的时间与空间分布规律而进行的测量。A2网格测量法A2.1网格的划分方法将要普查测量的城市某一区域或整个城市划分成多个等大的正方格，网格要完全覆盖住被普查的区域或城市。每一网格中的工厂、道路及非建成区

17、的面积之和不得大于网格面积的50%,否则视为该网格无效。有效网格总数应多于100个。A2.2布点方法测点布在每一个网格的中心。若网格中心点不宜测量（如为建筑物、厂区内等），应将测点移动到距离中心点最近的可测量位置上进行测量。A2.3测量方法分别在昼间和夜间进行测量。在规定的测量时间内，每次每个测点测量10min的连续等效A声级（LAeq）。A2.4评价方法A2.4.1噪声平均水平将全部网格中心测点测得的10min的连续等效A声级做算术平均运算，所得到的平均值代表某一区域或全市的噪声水平。A2.4.2评价如所测量的区域仅执行某一类区域环境噪声标准，那么该平均值可用该区域适用的区域环境噪声标准进行

18、评价。A2.4.3噪声污染空间分布将测量到的连续等效A声级按5dB档分级（如6065，6570，7075）。用不同的颜色或阴影线表示每一档等效A声级，绘制在覆盖某一区域或城市的网格上，用于表示区域或城市的噪声污染分布情况。A3定点测量方法A3.1测点选择在标准规定的城市建成区中，优化选取一个或多个能代表某一区域或整个城市建成区环境噪声平均水平的测点，进行长期噪声定点监测。A3.2测量方法进行24h连续监测。测量每小时的LAeq及昼间的Ld和夜间的Ln。亦可按本标准A2.3的测量方法测量。A3.3评价方法A3.3.1噪声平均水平某一区域或城市昼间（或夜间）的环境噪声平均水平由式（A1）计算：（A1）式中：Li棗第i个测点测得的昼间（或夜间）的连续等效A声级；Si第i个测点所代表的区域面积；S整个区域或城市的总面积。A3.3.2评价噪声平均水平的评价参照A2.4.2。”A3.3.3噪声污染时间分布将每一小时测得的连续等效A声级按时间排列，得到24h的声级变化图形，用于表示某一区域或城市环境噪声的时间分布规律。附加说明：本标准主要起草人郭静男、郭秀兰、孙家腆、陈光华、赵仁兴。本标准由国家环境保护局负责解释。