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1、会计学1晶体晶体(jngt)薄膜的衍衬薄膜的衍衬第一页，共26页。Inconel 740 Inconel 740 合金合金(hjn)(hjn)中的中的 相相和晶内魏氏组织和晶内魏氏组织 相相第1页/共25页第二页，共26页。第2页/共25页第三页，共26页。明场像：明场像：物镜光阑挡住衍射物镜光阑挡住衍射(ynsh)束成像束成像暗场像：暗场像：物镜光阑挡住透射束成像物镜光阑挡住透射束成像14.1 衍衬成像原理(yunl)第3页/共25页第四页，共26页。hklhklBIIII0 I 0hkl0而hklhklAIIII对于对于(duy)B(duy)B晶粒：晶粒：对于对于(duy)A(duy)A晶
2、粒，由于位向不同：晶粒，由于位向不同：假设：假设：1 1）B B晶粒的某晶粒的某(hkl)(hkl)晶面与入射方向晶面与入射方向(fngxing)(fngxing)恰好成精确布拉格角恰好成精确布拉格角；或满足；或满足“双光束条件双光束条件”；2 2）A A晶粒与内所有晶面均不满足布拉格条件，于是晶粒与内所有晶面均不满足布拉格条件，于是第4页/共25页第五页，共26页。物镜光阑明场像：用物镜明场像：用物镜(wjng)(wjng)光阑挡住光阑挡住B B晶粒衍射束晶粒衍射束. .图象衬度为：图象衬度为：hklBAIIIII00第5页/共25页第六页，共26页。中心中心(zhngxn)(zhngxn)
3、暗场像：用物镜光阑挡住暗场像：用物镜光阑挡住B B晶粒透射束晶粒透射束. .图象衬度为：图象衬度为：hklBAIII 0第6页/共25页第七页，共26页。第7页/共25页第八页，共26页。第8页/共25页第九页，共26页。14.2 消光距离(jl)（了解）从动力学的角度考虑透射从动力学的角度考虑透射波和衍射波之间的相互作波和衍射波之间的相互作用。用。反映了衍射波随样品深度反映了衍射波随样品深度的变化规律。的变化规律。定义：透射波和衍射波强定义：透射波和衍射波强度在晶体度在晶体(jngt)深度方向深度方向上发生周期性震荡。震荡上发生周期性震荡。震荡的深度周期定义为消光距的深度周期定义为消光距离。
4、离。第9页/共25页第十页，共26页。14.3 衍衬运动学简介（从衍衬运动学的角度(jiod)了解衍衬图象的形成原因）利用衍衬运动学原理可以计算各像点的衍射强度利用衍衬运动学原理可以计算各像点的衍射强度, ,定性定性(dng xng)(dng xng)解释透射电镜衍衬图象的形成原因解释透射电镜衍衬图象的形成原因. .基本内容基本内容(nirng):(nirng):1)1)基本假设基本假设2)2)理想晶体的衍射强度理想晶体的衍射强度3)3)理想晶体衍衬运动学方程的应用理想晶体衍衬运动学方程的应用第10页/共25页第十一页，共26页。1)1)基本假设基本假设 不考虑衍射束和入射束之间的相互作用不考
5、虑衍射束和入射束之间的相互作用; ; 不考虑电子束穿过不考虑电子束穿过(chun u)(chun u)晶体时的多次反射和吸收晶体时的多次反射和吸收 A) A)双光束近似双光束近似 B) B)柱体近似柱体近似第11页/共25页第十二页，共26页。2)2)理想理想(lxing)(lxing)晶体的衍射强度晶体的衍射强度2222222222)()(gggeffgeffgggstsSinstsSin理想晶体的衍射强度随样品的厚度理想晶体的衍射强度随样品的厚度(hud)t(hud)t及衍射面与精确布拉格位向之间的偏离矢量及衍射面与精确布拉格位向之间的偏离矢量s s而变化而变化. .第12页/共25页第十
6、三页，共26页。3)3)理想理想(lxing)(lxing)晶体衍衬运动学方程的应用晶体衍衬运动学方程的应用A) A) 等厚条纹等厚条纹( (偏离偏离(pinl)(pinl)矢量矢量S S恒定）恒定）第13页/共25页第十四页，共26页。第14页/共25页第十五页，共26页。第15页/共25页第十六页，共26页。B) 等倾条纹（样品(yngpn)厚度t恒定）第16页/共25页第十七页，共26页。4) 晶体缺陷的衍衬成像特征(tzhng)与理想晶体相比，缺陷矢量与理想晶体相比，缺陷矢量R R引入附加位相角引入附加位相角，从而造成不同晶柱对应，从而造成不同晶柱对应(duyng)(duyng)的衍射
7、强度不同，可以反映晶体缺陷引起的衬度。的衍射强度不同，可以反映晶体缺陷引起的衬度。第17页/共25页第十八页，共26页。A）层错第18页/共25页第十九页，共26页。倾斜倾斜(qngxi)于薄膜样品表面的层错（与等厚条纹类似）：于薄膜样品表面的层错（与等厚条纹类似）：第19页/共25页第二十页，共26页。第20页/共25页第二十一页，共26页。B）位错第21页/共25页第二十二页，共26页。第22页/共25页第二十三页，共26页。C) 第二(d r)相粒子第23页/共25页第二十四页，共26页。D) 孪晶第24页/共25页第二十五页，共26页。感谢您的观看感谢您的观看(gunkn)。第25页/共25页第二十六页，共26页。
晶体薄膜的衍衬学习教案
