(T-IS-016)线锯工序(东京制钢工艺规范)

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1、设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016产品型号名称太阳能硅片共11页第1页一、目的加工多晶硅片二、使用工具扭矩扳手、气动枪、丝杠（短、中、长）三个、工具车两台、刀片、布基胶带、气瓶、铲子、常用具一套、焊接机 三、必备的劳保用品：一次性医用手套、护目镜、防滑工具鞋、布围裙、防水套袖、工作服、工作帽。四、使用的主要原料：无水乙醇、钢线、滑轮外套、浆料、润滑油。五、质量控制点1 搬运装载晶棒；2 分线网切割位置调整；3 依照粘接工序工艺规范对晶棒进行定位检查。六、 工艺流程 线网整理（过线节、带跳线）切割前准备晶棒装载切割前检查热机开始自动切割整理现场 线轴更换 取片冷却硅片确认切透检

2、查切割深度切割结束监视机床运行七、机床通断电步骤 1、通电确认电器柜内已闭合无熔丝断路器（以下简称NFB）1-5 ；闭合NFB1，请将位于电器柜正下方的“”通电。长按UPS开关键3秒即开启。资料来源编制审核工艺提供部门标准化标记处数更改文件号签字日期批准设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第2页1 2 3 4 5确认主操作板的触摸屏警报菜单显示。当有任一警报显示时，确认其内容后，按压报警菜单上的“ 异常归零” ，进行警报复位。当按压主操作板上的运转准备按钮6时，按钮灯亮，变为“运转准备ON”762、 断电确认张力解除后按下紧急停止按钮7；关闭UPS电源;长按UPS开关键

3、3秒即关闭；关闭机床总电源。八、 工艺步骤1、收放线轴准备设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第3页让主操作板的触摸屏上显示为“绕线模式”。缠绕作业按照正方向（即自A 线轴至B 线轴方向）操作。点击 8、9键让线轴移动平台由里向外移动。待线轴移动到最外端时，按下10、11键将A、B轴毂固定，使用扳手将轴毂前端的六角螺母松开.101198将新线轴放在A 轴的移动滑台上，钢线旧线轴放在B 轴的移动滑台上，分别将线轴推入轴毂上，推到底即可。利用扳手拧紧六角螺母，固定线轴。拧紧即可不必用力太大。2、导轮更换（1)拆卸主辊）将轴承箱下方的压缩空气管拔出，用胶带将端口包好，防止进浆

4、料。）取下前面轴承箱的盖子。）拧松连接主辊的螺栓，将其与栓帽一起卸下。4）卸下固定前面轴承箱的螺栓（，个）。设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第4页 ）将前轴承箱后面的V 形密封圈挪到导轮处。）插入中长丝杆，在0.5Mpa气压下将气动枪调至4档，并接通气源。启动气动枪将导轮与机床里侧的轴承箱分离。反向旋转取出丝杆。这时，将轴承箱向前滑动5mm，拧紧后取下螺杆。7）插入短丝杆，同样用气动枪将前轴承箱与导轮分离，然后将轴承箱向外滑动5mm，取出短丝杆。设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第5页）放入拆卸线轴用的长丝杆。）将前侧轴承箱往前移。取下来的

5、时候，在轴承箱外围上面安装吊起螺栓，将轴承箱吊起。动作要轻，防止轴承箱壁与机床发生磕碰。）然后将导轮移至前面。）使用吊起主辊用的工具将主辊吊起，取下长丝杆。更换作业结束。的固定销.（2)主辊的安装）确认主辊以及轴瓦部分是否有损坏等，用干净的抹布蘸酒精擦拭导轮的锥形面和前后轴承箱的锥形面及外轴承箱的轴套，如果有毛刺或硬伤凸起，用1200#砂纸打磨平。（因为轴瓦等部位有脏污将会影响导轮的振动。）将长丝杆插入拧紧，让后轴承箱的两个固定销摆到竖直位置与上面的凹槽对齐，将导轮安装上，导轮的两个固定孔也转到竖直位置，注意要将有字（标记）的一面朝外。推入导轮,使导轮的固定孔准确的对入轴承箱。3）放入V 形密

6、封圈，先套在导论上，要注意V 形密封圈的方向,软边朝向外轴承箱。在安装轴承箱的轴套上均匀的抹些润滑油.(记住先上导轮后抹油)4）将擦干净的前轴承箱吊起,套入长丝杆,把固定销旋转至竖直位置,顺着丝杆轻轻推入,手动调整轴承箱的位置,使其吻合的对入轴套,若发生倾斜偏移用橡皮锤轻轻敲打使其校正.推入轴承箱使固定销对入导轮的固定孔.拔出长丝杆.设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第6页）插入连接主辊的螺栓，用气动枪拧紧。（气动枪） ： 档转矩kgfcm （空气压力）安装轴承箱的螺栓（ 个）拧紧，固定轴承箱。）安上轴承箱的盖子,插入压缩空气气管.(3)调整排线单元）排线单元幅度的确

7、认方法如果出现以下情况，则必须调整排线单元的幅度。设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第7页）排线单元的卷状出现不良时的修正方法除切割以外的时候，在机械下方的操作板上将排线单元轴设置到“里侧移动极限”。然后将线轴位置移动到线轴钢线的出线位置。接下来请按照以下说明进行操作。在切割的状态下请直接进行以下操作。设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第8页九、 切前准备1、织线网用透明胶带绕在线导轮外，有胶的一面朝外。绕3-4圈，这样可以将俩个导轮固定以防止滑动；将钢线固定在胶带上。放线张力设置为1KG低张力状态；设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-I

8、S-016共11页第9页选择绕线模式，以10m/min的速度转动线网，把第1根钢线安装在线网开始处，即推动钢线至导轮的第二个线槽，然后再拉一根线到第3个槽里，以此类推约需20根线，均匀的放到线槽里，不能有跳线和重叠；停止线网转动，把一束线固定再线网开始处，即用灰色胶带将它和8根钢线平行粘起来；. 以10m/min的速度转动线网，让机器自动生成线网，当钢线达到一定的数量（宽度为50mm），停止线网转动，移走透明胶带，继续生成线网。. 在线网块生成时，降低速度，缓慢的转动线导轮。直到钢线刚好布满所有线槽；. 停止转动，拿开胶带并截断最后一根线，把钢线拉到收线轴上，再绕上几圈，启动收线轴张力；. 快

9、速（100m/min）转动1、2分钟，停止机床，检查有无跳线、交叉现象并纠正。2、线网调整线网织好后，以高张力状态下钢线前进2000米 （线网的长度），根据晶棒的定位调整线网长度。3、装载晶棒 装载硅棒前检查托盘和工作台夹具的接触面是否干净，打开浆料看纱帘是否完整，如果有断流，用刀片刮除浆料嘴中的异物；若清除不掉，拆下浆料嘴清洗吹干后安装好；检查线网传感器是否离线网1mm至4mm之间 装载并检验线网：托盘和工作台点是擦干净后，依次把硅棒装入台面槽内，到达底部，按下蓝色固定按钮，检验确保其不晃动。检验并测量分线网切割去除顶底高度是否符合要求，底部剩余14mm，有效切割长度210mm。如果线网与砖

10、块位置的配合不适合，调整线网位置使匹配满足要求。 设零点：手动降工作台至导向条离钢线网1mm处，设零点；再手动降工作台约3.6米，设零点，最后上升工作台至6mm以上。这时应为切割模式，可变，单方向4、切前检查项目开始切割前必须检查： 钢线是否足够，在控制面板上检查钢线。 检查张力臂的水平位置是否合适，张力是否符合工艺。 排线位置是否适当并及时调整。 检查滑轮外套是否切深切斜 零点是否设置，钢线是否清零。设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第10页 浆料湿度是否合适，浆料嘴位置是否碰块，砂帘是否均匀 工艺参数是否正确。 线号传感器是否离线网1至4mm。 5、热机 线网无跳

11、线后，启动预热模式，点击绿色运转按钮，选择高 速双方向热机。 预热5分钟后，继续检查直到无跳线，第二次热机。6、开始切割当两次热机检查无异常后，准备切割。点运转按钮，选择高速，当速度达到工艺要求时，按下降按钮，选择加工模式，开始切割。7、取片操作 准备：结束前5分钟，准备好新钢线，取片小车，电筒，纸板，装护板的小车，从粘接室取出晶棒，复核崩边情况是否与记录纸一致。如果不一致做好记录。结束前1分钟，记录结束时间，结束密度。 步骤：1 ） 关闭浆料，用电筒查看硅块是否切透。若不透继续切。2 ） 打开浆料，转动线网冷却硅块10分钟。这时的钢线速度为正向慢速（24m/min）运行。待晶棒冷却完毕后，关

12、闭浆料，更改工作台速度为50mm/min,。点击“上升按钮”，并选用取工件方式 3 ） 查看取块时工作台速度和线网速度是否合适，当线网还有5mm脱离硅片时停止线网转动。（防止导向条碎片带入导轮内）。注：若在提升过程中发生钢线打滑、夹线、断线等情况时，则立即停止线网转动，慢速将硅片提起。4 ） 摘掉罩壳，两个人开始取片，一定要配合好，防止碰片。5 ） 填写质量跟踪单，并送清洗。 注意事项 驱动带运行时请不要进到设备里面 更换导轮时，活动轴承表面涂抹一层专用润滑油，固定轴承和活动轴承的锥形面同样需要擦干净，涂抹薄薄的一层专用油。 只要不让浆料流入切割室,就必须让浆料进行循环模式,不允许只开搅拌电机

13、.浆料电机不能停.设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第11页 控制手柄保持清洁，防止浆料的进入。（操作时应用一次性手套包起） 取片后清洁底部过滤网，防止浆料溢出以及浆料的供给不足。 更换导轮后，一定要调整钢丝弯曲检测装置。 中途停机后，不允许将工作台升至最高点,继续切割时，首先转动线网至工艺要求速度，然后按下下降按钮，选择加工模式继续切割。 切割之前观察浆料流量均匀、无气泡，如气泡持续存在，彻底更换浆料。 预热完成后，将钢线走向改为单方向，防止低级错误。 取片后观察切割效果，玻璃缝隙较均匀说明质量还可以，如果出现大小缝隙不均匀分布以及硅片表面的拐弯、掉片等，应及时对浆料、负载进行调整，并查找源头原因（浆料密度、更新量。）停机准备首先确认浆料缸、浆料管内有无浆料。1、 如有，请先确认有无必要进行关机，关机时压缩空气不必停！2、 在停机不超过6小时，但超过1小时以上，请将回流泵内的浆料抽出后方可停机。3、 如停机超过6小时以上，必须先将机器用悬浮液清洗管路及设备1小时左右，之后要晾干，2-3小时以上方可关机，压缩空气在关机20小时之后才可以关闭。